相移光掩模制作方法技术

本发明专利技术提供了一种相移光掩模制作方法。在含有可成形硬膜的第一光刻胶的相移光掩模基板上，通过第一光刻在第一光刻胶中形成第一版图图形结构；在第一光刻胶上涂布硅烷化材料以固化第一光刻胶中第一版图图形的结构，加热使硅烷化材料与第一光刻胶表面反应以形成不溶于第二光刻胶的隔离膜，通过加热蒸发去除多余的硅烷化材料；在固化后的第一光刻胶上涂布第二光刻胶；进行第二光刻从而在第二光刻胶膜中形成第二版图图形的结构；通过刻蚀将光刻胶中的第一版图图形和第二版图图形分别转移到部分透光的硅化鉬薄膜和不透光的铬薄膜中,完成相移光掩模制作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，更具体地说，本专利技术涉及一种。
技术介绍
光刻工艺是制作大规模集成电路的关键工艺之一。光刻工艺是将光掩模板上的版形转移到光刻胶薄膜中，含有版形的光刻胶膜被用于后续离子注入或刻蚀制程的掩模。光掩模在光刻工艺中承担了重要的角色。随着半导体芯片的集成度不断提高，晶体管的特征尺寸不断缩小，对光刻工艺的要求越来越高，相移光掩模逐渐成为高端光刻工艺的主流光掩模。如图IA所不,相移光掩模是通过对相移光掩模基板的光刻一刻蚀一光刻一刻蚀过程来制作。相移光掩模基板由石英基片I、部分透光的硅化鉬薄膜2、不透光的铬薄膜3、第一光刻胶4构成。图1B-1D展不了主流的相移光掩模制作工艺流程。通过第一光刻和刻 蚀在硅化鉬薄膜2和铬薄膜3中形成第一版形5结构，如图IB所示。在第一版形5结构上涂布第二光刻胶6，如图IC所示，通过第二光刻和刻蚀在硅化鉬薄膜2中第一版形5结构上形成第二版形7结构，如图ID所示，完成相移光掩模制作。在器件尺寸微缩进入到32纳米技术节点后，单次光刻曝光无法满足制作密集线阵列图形所需的分辨率。双重图形(double patterning)成形技术作为解决这个技术难题的主要方法被大量研究并被广泛应用于制作32纳米以下技术节点的密集线阵列图形。图2A-2E图示了双重图形成形技术制作密集线阵列图形的过程。在需要制作密集线阵列图形的衬底硅片20上，沉积衬底膜21和硬掩膜22，然后涂布第一光刻胶23 (图2A)，曝光、显影、刻蚀后，在硬掩膜22中形成第一光刻图形24(图2B)，其线条和沟槽的特征尺寸比例为1:3。在此硅片上涂布第二光刻胶25 (图2C)，曝光和显影后在第二光刻胶25膜中形成第二光刻图形26 (图2D)，其线条和沟槽的特征尺寸比例也是1:3，但其位置与第一光刻图形24交错。继续刻蚀在衬底硅片上形成与第一光刻图形24交错的第二光刻图形26 (图2E)。第一光刻图形24与第二光刻图形26的组合组成了目标线条和沟槽特征尺寸比例为I: I的密集线阵列图形。双重图形成形技术需要两次光刻和刻蚀，即光刻一刻蚀一光刻一刻蚀。其成本远远大于传统的单次曝光成形技术。降低双重图形成形技术的成本成为新技术开发的方向之一。美国专利US20110081618报道了在第一光刻图形24显影之后，在同一显影机台内，使用硅烷化材料固化第一光刻胶23中第一光刻图形24的方法。采用此方法后的双重图形成形工艺过程为光刻(显影固化)一光刻一刻蚀。省略了原工艺中的第一刻蚀步骤，从而有效地降低了双重图形成形技术的成本。这种方法也称作双重曝光技术。相移光掩模制作过程包括光刻-刻蚀-光刻-刻蚀等步骤。将两次刻蚀合并成一步刻蚀，替代原工艺中两步独立工艺，可以有效地降低相移光掩模制作的成本，并且可以提高生产产出量。但是，根据现有技术的相移光掩模制作过程的步骤仍不够简化。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种能够有效减少相移光掩模的制作工艺中的刻蚀步骤，从而有效地提高产能和减少制作成本的。为了实现上述技术目的，根据本专利技术，提供了一种相移光掩模制作，其包括第一步骤在含有可成形硬膜的第一光刻胶的相移光掩模基板上，通过第一光刻在第一光刻胶中形成第一版形结构；第二步骤通过硅烷化材料固化固化第一光刻胶中第一版形的结构，加热使娃烧化材料与第一光刻胶表面反应以形成不溶于第二光刻胶的隔离膜，通过加热蒸发去除多余的硅烷化材料；第三步骤在固化后的第一光刻胶上涂布第二光刻胶；第四步骤进行第二光刻从而在第二光刻胶膜中形成第二版形的结构；第五步骤通过刻蚀将光刻胶中的第一版形和第二版形分别转移到部分透光的硅化鉬薄膜和不透光的铬薄膜中，完成相移光掩模制作。优选地,第一光刻包括第一次曝光和显影。 优选地，第二光刻包括第二次曝光和显影。优选地，第一光刻胶是含硅烷基、硅烷氧基和笼形硅氧烷的光刻胶。优选地，第一光刻胶和第二光刻胶的抗刻蚀能力比大于等于I. 5: I。优选地，硅烷化材料为六甲基二硅胺、三甲基氯硅烷、或六甲基二硅氮烷。优选地，第一光刻胶固化加热温度的范围为90°C至300°C。优选地，第一光刻胶固化加热温度的范围为100°C至200°C。优选地，在第二步骤中，在第一光刻胶上涂布硅烷化材料以固化第一光刻胶中第一版形的结构，加热使娃烧化材料与第一光刻胶表面反应以形成不溶于第二光刻胶的隔离膜，通过加热蒸发去除多余的硅烷化材料。优选地，在第二步骤中，将在第一光刻胶膜中有第一版形结构的相移光掩模基板放置于充满硅烷化材料气体的腔体中以固化第一光刻胶中第一版形结构，加热使娃烧化材料与第一光刻胶表面反应形成不溶于第二光刻胶的隔离膜。根据本专利技术，利用双重曝光技术和可成形硬膜光刻胶，减少了相移光掩模制作工艺中的刻蚀步骤，可以有效地提高产能和减少制作成本。附图说明结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本专利技术有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中图IA示意性地示出了相移光掩模的结构。图1B-1D示意性地示出了现有技术的相移光掩模制作工艺流程。图2A - 2E示意性地示出了双重图形成形技术制作密集线阵列图形的过程。图3A - 3E示意性地示出了根据本专利技术实施例的的各个步骤。需要说明的是，附图用于说明本专利技术，而非限制本专利技术。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。具体实施例方式为了使本专利技术的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本专利技术的内容进行详细描述。本专利技术提出一种利用双重曝光技术和可成形硬膜光刻胶制作相移光掩模的工艺。具体地说，图3A-3E示意性地示出了根据本专利技术实施例的的各个步骤。如图3A-3E所示，根据本专利技术实施例的包括第一步骤在含有可成形硬膜第一光刻胶4的相移光掩模基板上(如IA所示)，通过第一光刻(具体地说，第一次曝光和显影)在第一光刻胶4中形成第一版形5结构，如图3A所示。 第二步骤通过硅烷化材料固化第一光刻胶4中第一版形5结构，加热使硅烷化材料与第一光刻胶4表面反应形成不溶于第二光刻胶6的隔离膜8 ；具体地说，例如，在第二步骤中，可将在第一光刻胶4膜中有第一版形5结构的相移光掩模基板放置于充满硅烷化材料气体的腔体中以固化第一光刻胶4中第一版形5结构,加热使娃烧化材料与第一光刻胶4表面反应形成不溶于第二光刻胶6的隔离膜8，如图3B所示。可替换地，例如，在第二步骤中，在第一光刻胶4上涂布硅烷化材料液体以固化第一光刻胶4中第一版形5的结构,加热使娃烧化材料与第一光刻胶4表面反应以形成不溶于第二光刻胶6的隔离膜8，通过加热蒸发去除多余的硅烷化材料，如图3B所示。第三步骤在固化后的第一光刻胶4上涂布第二光刻胶6，如图3C所示。第四步骤进行第二光刻(具体地说，第二次曝光和显影)从而在第二光刻胶6膜中形成第二版形7结构，如图3D所示。第五步骤通过刻蚀将光刻胶中的第一版形5和第二版形7分别转移到部分透光的硅化鉬薄膜2和不透光的铬薄膜3中，完成相移光掩模制作，如图3E所示。本工艺减少了制作相移光掩模工艺中的刻蚀步骤，可以有效地提高产能和减少制作成本。优选地，第一光刻胶4可选用可形成硬膜的光刻胶，进一步优选的，第一光刻胶4是含娃烧基(silyl)、娃烧氧基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种相移光掩模制作方法，其特征在于包括：第一步骤：在含有可成形硬膜的第一光刻胶的相移光掩模基板上，通过第一光刻在第一光刻胶中形成第一版图图形结构；第二步骤：通过硅烷化材料固化第一光刻胶中第一版图图形结构，加热使硅烷化材料与第一光刻胶表面反应形成不溶于第二光刻胶的隔离膜；第三步骤：在固化后的第一光刻胶上涂布第二光刻胶；第四步骤：进行第二光刻从而在第二光刻胶膜中形成第二版图图形的结构；第五步骤：通过刻蚀将光刻胶中的第一版图图形和第二版图图形分别转移到部分透光的硅化鉬薄膜和不透光的铬薄膜中,完成相移光掩模制作。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毛智彪，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：