感应式耦合电浆源设备的天线调整装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种感应式耦合电浆源设备的天线调整装置，该装置装设于一的基座上，包括固定基板；至少两个环圈状天线单元，该环圈状天线单元包括至少一天线单体，且其中至少一环圈状天线单元须由至少两个天线单体所构成，该天线单体具有缺口部以及一电性输入端、一接地端；设置于天线单体缺口部的电性连接部，电性连接部顶端组设于固定基板；串、并联组件，能够使环圈状天线单元及天线单体呈串联式电性连结或断开状态，亦能控制其并联状态；调整串联组件及并联构件控制各层环圈状天线单元电性分布环圈数，以控制电浆源的强度，进而提升天线调整控制的方便性，且能够精准调整制备成品表面处理均匀度，降低成品不良率，节省制造成本。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一感应式耦合电浆源设备的天线调整装置，特别是指能控制串联、并联电性连结状态而调整电浆源强弱的天线调整装置。
技术介绍
按，电浆设备使用于制造加工产业中已有相当时间，业界为了满足使用上的需求，在此专业领域仍是陆续研发出各种类型电浆设备以符合市场上需求，近年电浆设备产品及种类已有日益增加的趋势。而本技术所欲针对者，即是针对电浆设备的天线调整装置结构加以探讨改良；习知电浆设备通常通过真空电浆反应器上设置一介电窗，利用介电窗与电浆设备所设 的天线装置感应，使真空室内的真空气体解离产生电浆源；市面上电浆设备结构设计上虽有多种型态，但综观而论，其电浆设备的天线调整装置设计上仍旧存在电浆源强度调整控制方便性不佳的问题，以及难以精准调整制备成品表面处理的均匀度，进而影响加工质量、导致成品不良率提高，增加制造成本的问题与缺憾，因此，电浆设备的天线调整装置目前仍有相当大的改良突破空间存在。
技术实现思路
针对现有技术存在的缺陷和不足，本技术的主要目的在于提供一种感应式耦合电浆源设备的天线调整装置；为达到上述目的，本技术采用以下技术方案一种感应式耦合电浆源设备的天线调整装置，主要通过一天线调整装置，该天线调整装置装设于一既有感应式耦合电浆源设备所设的基座上，该电浆源设备包括有一介电窗、一射频电源匹配单元以及能够提供气体的一气体输入单元；所述的天线调整装置包括固定基板，通过至少两个连接件设置于电浆源设备基座的顶端，且与基座呈间隔相对的型态；至少两个环圈状天线单元，呈内外间隔配置组设于电浆源设备的基座，环圈状天线单元包括至少一天线单体，且其中至少一环圈状天线单元须由至少两个天线单体所构成，各独立天线单体均具有缺口部，该缺口部一端与一电性输入端相连接，又该缺口部另一端与一接地端相连接；电性连接部，呈间隔分开的型态，该电性连接部底端组接于天线单体的缺口部二端，又该电性连接部的顶端组设于固定基板；串联组件，呈可拆卸、组装的型态，用以连接环圈状天线单元中所设相邻天线单体的电性连接部，以令各天线单体之间能够呈串联式电性连结状态或断开状态；并联构件，连接设置于至少两个环圈状天线单元的一端，该并联构件包括有与电性输入端相连接的组接部以及连接该组接部的并联控制部；利用拆卸或组装串联组件，来控制间隔各层环圈状天线单元的电性分布环圈数，且通过调整该并联构件组接部的电性输入端，以改变各该环圈状天线单元的间呈并联式电性连结状态或断开状态，进而控制电浆源加强或减弱。本技术对照先前技术而言，可达到提升天线调整控制的方便性，且能够精准调整制备成品表面处理均匀度，进而降低成品不良率，节省制造成本的产业实用进步性。本技术的另一目的，主要通过串联组件的组成技术特征，包括有能与电性连接部顶端相互套合的套合部、提供串联组件套合状态固定限位的限位部所构成，以增加套合状态的稳固性、且能够使拆卸、组装动作更为简单。附图说明图I为本技术电浆源设备整体的立体图。图2为本技术天线调整装置组设于电浆源设备的立体示意图。图3为本技术天线调整装置整体构件的立体图。图4为本技术天线调整装置整体构件的上视图。 图5为本技术串联组件组接于电性连接部的状态示意图。图6为本技术串联组件拆解分离电性连接部的动作状态示意图。图7为本技术环圈状天线单元串、并联电路示意图。图8为本技术调整电浆源感应调整组件以控制环圈状天线单元的动作示意图。具体实施方式请参阅图I至4，本技术感应式耦合电浆源设备的天线调整装置05装设于一既有感应式稱合电衆源设备10所设的基座11上，电衆源设备10包括有一介电窗12、一射频电源匹配单元13以及够提供气体的一气体输入单元16，其中天线调整装置05外部通过一罩体06所遮盖，该罩体06包括提供天线调整装置05冷却的至少一进气部07，以及提供气体排出的至少一散热部08 ;所述天线调整装置05包括固定基板20，通过至少两个连接件21设置于电浆源设备10基座11的顶端，且与基座11呈间隔相对的型态，固定基板20材质以金属、硬质塑料为佳，但不限定于此种型态；至少两个环圈状天线单元30，呈内外间隔配置组设于电浆源设备10的基座11，环圈状天线单元30包括至少一天线单体31，且其中至少一环圈状天线单元30须由至少两个天线单体31所构成，如图4所示，本实施例的各环圈状天线单元30分别包含有二、三及五组天线单体31为较佳，但不限定于此种组成数量，且各独立天线单体31均具有缺口部32 (如图4、6所示)，缺口部32 —端与一电性输入端33相连接，又缺口部32另一端与一接地端34相连接，其中环圈状天线单元30可为圆形、方形、多边型任其中一种型态；电性连接部40 (材质以金属等导电材质为佳)，呈间隔分开的型态，电性连接部40底端组接于天线单体31的缺口部32 二端，又电性连接部40的顶端组设于固定基板20，其中电性连接部40内部为中空型态且与天线单体31内部相连通；串联组件50，呈可拆卸、组装的型态，藉以连接环圈状天线单元30中所设相邻天线单体31的电性连接部40，串联组件50包括能与电性连接部40相互套合的套合部51、提供串联组件50套合状态固定限位的限位部52 (仅标示于图6)，以令各天线单体31的间能够组装呈串联式电性连结或拆卸呈断开的状态；并联构件60，连接设置于至少两个环圈状天线单元30的一端，并联构件60包括有与电性输入端33相连接的组接部61以及连接该组接部61的并联控制部62 ；其中，三组环状天线单元30可通过并联构件60电性连结形成并联状态(请配合参考图3,7) ο通过上述的结构、组成设计，兹就本技术的使用作动情形说明如下请配合参考图2、4、5、6，首先将工件放置于电浆源设备10所预设的一真空室14中，此时通过组装、拆卸串联组件60以将环圈状天线单元30的电性分布环圈数调整至所需状态，后启动电浆源设备10进行工件加工作业(本实施例未表示工件加工过程状态)，利用气体通过介电窗12与电浆设备10所设的天线调整装置05，使进入真空室14内的气体解离产生电浆，以对工件进行所谓蚀刻、镀膜、清洁或沉积等加工动作，而电性连接部40与天线单体31内部容设有冷却液，通过电浆源设备10所设的一冷却单元15以使循环于电性连接部40与天线单体31内部的冷却液降温，当加工完毕后，操作者可视工件完成状态，若需加 强或减弱电浆源强度，即可通过拆卸或组装串联组件50来控制各独立天线单体31电性分布环圈数，进而控制电浆分布状态，且通过调整并联构件60组接部61的电性输入端33，以改变各环圈状天线单元30之间呈并联式电性连结状态或断开状态，进而控制电浆源加强或减弱，藉此能够达到精准控制制备成品表面处理的均匀度的功效。如图7所示，为本技术环圈状天线单元30串、并联电路示意，通过将二、三或五独立天线单体31串联后，即构成一环圈状天线单元30，然后可将各环圈状天线单元30加以并联。配合参考图4、8，其中环圈状天线单元30的各独立天线单体31更设有呈分布状的至少二电浆源感应调整组件70 (本实施例为分布有三电浆源感应调整组件70的实施例)，且电浆源感应调整组件70通过螺栓组件71组设于于固定基板20，螺栓组件71包括至少二螺帽72以及螺本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感应式耦合电浆源设备的天线调整装置，该天线调整装置装设于一既有感应式耦合电浆源设备所设的基座上，电浆源设备包括有一介电窗、一射频电源匹配单元、以及能够提供气体的一气体输入单元；所述的天线调整装置包括：固定基板，通过至少两个连接件设置于电浆源设备基座的顶端，且与基座呈间隔相对的型态；至少两个环圈状天线单元，呈内外间隔配置组设于电浆源设备的基座，该环圈状天线单元包括至少一天线单体，且其中至少一环圈状天线单元须由至少两个天线单体所构成；该天线单体具有缺口部，该缺口部一端与一电性输入端相连接，另一端与一接地端相连接；电性连接部，呈间隔分开的型态，该电性连接部底端组接于天线单体的缺口部二端，电性连接部的顶端组设于固定基板；串联组件，呈可拆卸、组装的型态，用以连接环圈状天线单元中所设相邻天线单体的电性连接部，以令各天线单体之间能够呈串联式电性连结状态或断开状态；并联构件，连接设置于至少两个环圈状天线单元的一端，该并联构件包括有与电性输入端相连接的组接部以及连接该组接部的并联控制部；利用拆卸或组装串联组件，控制间隔各层环圈状天线单元的电性分布环圈数，且通过调整并联构件组接部的电性输入端，以改变各环圈状天线单元之间呈并联式电性连结状态或断开状态，以控制电浆源加强或减弱，以精准调整制备成品表面处理均匀度。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：陈典廷，刘中平，张咏铭，
申请(专利权)人：帆宣系统科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：