一种用于异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统技术方案

本实用新型专利技术目的一种用于异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统，分别设置在不同的两个区域，第一区域及第二区域，其中第一区域的洁净度要求高于第二区域；该异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第一卸载室、第二承载室、第二卸载室及多个镀膜反应室和卸载区，由于整体呈半H型设置，有效降低占地面积，无需设置洁净度要求较高的回传机构，同时，也有效降低承载盘不受环境的污染。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ー种用于异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统，此类设备可广泛应用于任何需要于真空下进行加工的制程且加工需要一定时间的制程，例如太阳能硅片镀膜加工。
技术介绍
传统的真空镀膜设备，由于制程的原因，皆采用直线式真空镀膜设备，在操作时皆由最前方的承载室一直进行到最后的卸除室，对量产而言，此种系统安排速度快，设备投入成本低，但相对而言此种系统长度最长，若配上回传机构则横幅占地面积又更加大，所以 对生产者此种安排并不经济，且若遇某一腔室故障吋，需要整线停产进行维护保养。对于异质结太阳能电池间歇式镀膜的方式，直线式系统配置会増大占地面积，若搭配回传系统则占地面积更大，因此有必要发展从集式镀膜系统来达到降低成本減少占地面积的投入。
技术实现思路
本技术主要目的系提供一种用于异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统，来改善现有直线式真空镀膜设备占地面积大、制造成本高的问题。为了达成上述技术目的，本技术的技术方案是提供一种用于异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统分别跨越两种不同洁净区域的第一区域及第ニ区域，其中第一区域的环境洁净度高于第二区域；该异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统依序包含加载区、自动交換区、第一承载室、第一卸载室、第二承载室、第二卸载室及多个镀膜反应室和卸载区，其中特点是所述之等离子化学气相沉积系统呈一半的H型设置，其中加载台、自动交換区及卸载台设置在洁净度要求较高的第一区域；所述之等离子化学气相沉积系统第一承载室、多个镀膜反应室及第一卸载室设置在洁净度要求较低的第二区域，构成半H型的左翼部分；所述之等离子化学气相沉积系统第二承载室、多个镀膜反应室及第ニ卸载室设置在洁净度要求较低的第二区域，构成半H型的右翼部分；所述之等离子化学气相沉积系统的维修区域设置在半H型的左翼及右翼中；在上述异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统整体设制成半H型，加载台、自动交換区及卸载台设置在洁净度要求较高的第一区域，无需再另行设置洁净度高的回传机构将沉积的异质结太阳能电池回传，透过本身腔室的内部传动将异质结太阳能电池回传至第一区域既可交換及卸载的动作，有效降低生产成本，同时可以保证异质结太阳能电池不受环境污染，同时整体承半H型设置有效降低所述异质结太阳能电池系统占地面积，同时利用半H型左翼及右翼中的区域设置维修区域，能在进ー步降低占地面积，无需另外再设置维修区域，做到更有效节省生产占地面积达到从集式的要求。附图说明图I系为本技术示意图。主要组件符号说明。101...第一区域。102...第二区域。103...加载区。104...自动交换区。105...卸载区。 106...第一承载室。107...第一反应室。108...第二反应室。109...第二承载室。110...第三反应室。111...第四反应室。112...维修区。113...隔离阀门。具体实施方式为使方简捷了解本专利技术之其他特征内容与优点及其所达成之功效能够为显现，兹将本技术配合附图，详细明如下请阅图1，本技术之主要目的系ー种用于异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统，该等离子化学气相沉积系统呈半H型设置，包括依序连接的加载区103、自动交換区104和卸载区105构成的第一部分为半H型设置的横向结构；其中所述之第一承载室106、第一反应室107、第二反应室108构成第二部分为半H型设置的左翼部分；其中所述之第二承载室109、第三反应室110、第四反应室111构成第三部分为半H型设置的右翼部分。同时，所述之等离子化学气相沉积系统分别跨越两种不同洁净区域的第一区域101及第ニ区域102，其中第一区域的环境洁净度高于第二区域，因此加载区103、自动交換区104和卸载区105设置在洁净度要求高的第一区域101内，而半H型设置的左翼及右翼部分设置在洁净区要求较低的第二区域102内，其中左翼部分透过隔离阀门113与第一区域101连接；右翼部分透过隔离阀门113与第一区域101连接；所述之第二区域102内设置维修区域112，该维修区域112设置于半H型左翼及右翼内。在异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统沉积过程中，承载盘首先由加载区103传送到自动交換区104，再透过隔离阀门113进入第一承载室106进行预处理，包括对承载盘进行抽真空及加热的动作；再通过隔离阀门113进入第一反应室107进行真空反应；再通过隔离阀门113进入第二反应室108进行真空反应，所述之真空反应也就是在真空一定压腔下由高频电源解离由喷头进入的反应气体而产生等离子体进行薄膜沉积，完成后，承载盘再透过隔离阀门113进入第一反应室107及第一承载室106回传至自动交换区104 ；再由自动交換区104透过隔离阀门113传送到第二承载室109进行预处理，包括对承载盘进行抽真空及加热的动作；再通过隔离阀门113进入第三反应室110进行真空反应；再通过隔离阀门113进入第四反应室112进行真空反应，沉积完成后，承载盘再透过隔离阀门113进入第三反应室110及第ニ承载室109回传至自动交换区104 ;之后传送至卸载区105进行承载盘卸载。在上述异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统中，由于该系统整体设置呈半H型，因此加载区103及卸载区105设置在洁净度要求较高的第一区域101，透过内置的传动系统将承载盘在送回第一区域101，无需再另行设置回传构送回承载盘，有效降低设备设置成本，同时，半H型设置也有效的降低占地面积及过程中的污染。综上所述，本技术在突破先前之技术结构下，确实已达到所欲增进之功效，且 也非熟悉该项技艺者所于思及，其所具之进步性、实用性，显已符合技术之申请要件，惟上详细明系针对本技术之一可实施之具体明，该实施并非用以限制本技术之专范围，而凡未脱本技术技艺所为之等效实施或变，均应包含于本案之专范围中。权利要求1.一种用于异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统分别跨越两种不同洁净区域的第一区域及第ニ区域，其中第一区域的环境洁净度高于第二区域；该异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统依序包含加载区、自动交換区、第一承载室、第一卸载室、第二承载室、第二卸载室及多个镀膜反应室和卸载区。2.根据权利要求I所述之ー种用于异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统，其中该加载区、自动交換区和卸载区设 置于第一区域内。3.根据权利要求第I项所叙述之一种用于异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统< >，其中该第一承载室、第一卸载室、第二承载室、第二卸载室及多个镀膜反应室设置于第ニ区域内。专利摘要本技术目的一种用于异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统，分别设置在不同的两个区域，第一区域及第二区域，其中第一区域的洁净度要求高于第二区域；该异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第一卸载室、第二承载室、第二卸载室及多个镀膜反应室和卸载区，由于整体呈半H型设置，有效降低占地面积，无需设置洁净度要求较高的回传机构，同时，也有效降低承载盘不受环境的污染。文档编号C23C16/44GK202643839SQ20122029675公开日2013年1月2日 申请日期2012年6月25日 优先权日2012年6月25日专利技术者周本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统分别跨越两种不同洁净区域的第一区域及第二区域，其中第一区域的环境洁净度高于第二区域；该异质结太阳能电池等离子化学气相沉积系统依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第一卸载室、第二承载室、第二卸载室及多个镀膜反应室和卸载区。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：