高纯安全特气柜系统技术方案

本发明专利技术公开了一种气柜系统，尤其是一种高纯安全特气柜系统。本发明专利技术提供了一种在更换钢瓶时保证钢瓶管接头的密封连接部清洁的高纯安全特气柜系统，包括特气柜、设置在特气柜内的特气系统，所述特气系统包括钢瓶和管路系统，所述管路系统包括供气管路、稀释气体管路以及抽真空管路，所述供气管路上设置有钢瓶管接头，所述供气管路通过钢瓶管接头与所述钢瓶相连，所述稀释气体管路和抽真空管路均连在所述供气管路上，还包括吹扫管路，所述钢瓶管接头包括气体通道、依次设置的密封接口部、紧固部和进气部，还包括吹扫部，所述吹扫部上设置有一定数量的吹扫通孔，所述吹扫通孔的出口朝向所述密封接口部的外壁，所述吹扫管路与所述吹扫通孔相连通。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种气柜系统，尤其是ー种高纯安全特气柜系统。
技术介绍
目前的压缩气体几乎都是采用钢瓶进行承装，钢瓶的出气ロ通常设置有阀门和钢瓶接ロ，管道需利用钢瓶管接头才能密封连接在钢瓶接口上，现有的钢瓶管接头均是采用如下方式进行连接，钢瓶接口上的外壁上设置有外螺纹，钢瓶接ロ上设置有与钢瓶管接头密封面相匹配的密封面，在两个密封面之间安装好垫片，然后将螺母穿在管道接口上 与管道接ロ的外螺纹相连接，螺母在紧固过程中压住钢瓶管接头上的紧固部，使得钢瓶管接头牢牢的连接在钢瓶接口上，从而实现两者的密封。在钢瓶的使用过程中，一旦钢瓶中的气体使用完毕，则必须要更换钢瓶，对比普通气体来说，只需直接将钢瓶管接头拆下，然后换上新钢瓶连接即可。然而对于易燃、易爆、有毒之类的气体，则在换钢瓶前需要进行一系列エ艺，以排出管道中残余的特殊气体，以防止气体在换钢瓶中泄露出来。这种エ序一般采用如下方式，在拆下钢瓶管接头前，首先对供气管路抽真空，在抽真空后再向供气管路中充氮气之类的稳定气体进行稀释，然后再抽真空，再充氮气稀释，如此反复若干次，然后时供气管路保压确保钢瓶阀关闭可靠后，再拆下钢瓶管接头以更换钢瓶。然而在更换钢瓶时，钢瓶管接头的密封连接部必然暴漏在空气中，这就使得密封连接部受到灰尘和微生物的污染，这就很可能从管道中污染气体，这在电子行业中尤其突出，电子行业中使用的气体一般为易燃、易爆、有毒的气体，其对无尘度的要求非常高，一旦气体中混入灰尘则会对产品的质量造成严重的影响。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种在更换钢瓶时保证钢瓶管接头的密封连接部清洁的高纯安全特气柜系统。本专利技术解决其技术问题所采用的高纯安全特气柜系统，包括特气柜、设置在特气柜内的特气系统，所述特气系统包括钢瓶和管路系统，所述管路系统包括供气管路、稀释气体管路以及抽真空管路，所述供气管路上设置有钢瓶管接头，所述供气管路通过钢瓶管接头与所述钢瓶相连，所述稀释气体管路和抽真空管路均连在所述供气管路上，还包括吹扫管路，所述钢瓶管接头包括气体通道、依次设置的密封接ロ部、紧固部和进气部，还包括吹扫部，所述吹扫部上设置有吹扫通孔，所述吹扫通孔的出口朝向所述密封接ロ部的外壁，所述吹扫管路与所述吹扫通孔相连通。进ー步的是，所述吹扫部上还设置有进气腔，所述进气腔与所述吹扫管路连通，所述进气腔与所述吹扫通孔的进ロ相连通。进ー步的是，所述吹扫部还包括密封盖板，所述密封盖板设置在进气腔顶部并将所述进气腔密封，所述密封盖板上设置有与所述进气腔相连通的进气嘴，所述进气嘴与所述吹扫管路连通。进ー步的是，所述吹扫通孔至少设置两个并均匀分布在所述吹扫部上。进ー步的是，所述吹扫部设置在所述进气部和所述紧固部之间，所述吹扫通孔穿过所述紧固部。进ー步的是，所述吹扫管路的两端分别与所述吹扫通孔和稀释气体管路相连通。进ー步的是，所述特气系统设置有两组，并且两组特气系统并联。进ー步的是，所述稀释气体管路上设置有单向阀，所述单向阀的方向为气体从稀释气体管路进入到供气管路中。进ー步的是，所述供气管路上设置有压カ测量器，所述压カ測量器设置在供气管 路与稀释气体管路的连接点和钢瓶管接头之间。进ー步的是，所述特气柜上设置有进气口和出气ロ，所述出气ロ设置在特气柜的下部，所述进气ロ设置在特气柜的上部，所述进气口上连接由排风管路，所述特气柜除进气口和出气口外整体密封，所述进气口上设置有电磁阀，所述特气柜的柜座上设置有防震结构。本专利技术的有益效果是由于在钢瓶管接头上设置有吹扫部，因此在更换钢瓶时，利用吹扫管路从吹扫通孔中吹出气体，使得气体在密封接ロ部表面形成风帘，从而阻止灰尘或其它物质污染密封接ロ部，同时气体产生的动カ也能吹走密封接ロ部已有的灰尘，这样就保证了密封接ロ部的清洁程度，防止因为更换钢瓶使得管道受到污染，这为精密的加工提供了可靠的保障。在吹扫部内还可以设置进气腔，供气装置提供的气体首先进入到进气腔，在进气腔中缓冲均匀后再均匀的从吹扫通孔中喷出，这样使得风帘更加均匀，更好的保护密封接ロ部表面。特气系统可以设置两组，从而形成一备ー用，这在维修或更换钢瓶时就能持续的供气。附图说明图I是管路布置示意图；图2是钢瓶接口和钢瓶管接头装配时的爆炸示意图；图3是钢瓶管接头的结构示意图；图4是钢瓶管接头的内部结构示意图；图5是钢瓶管接头的主视图；图6是图5的左视图；图中零部件、部位及编号钢瓶接ロ I、连接结构11、密封连接面12、气体出口 12、钢瓶管接头2、气体通道21、密封接ロ部22、紧固部23、吹扫部24、进气部25、吹扫通孔26、进气腔27、密封盖板28、进气嘴29、螺母3、垫片4、钢瓶5、供气管路61、稀释气体管路62、抽真空管路63、吹扫管路64、排空管路65、单向阀66、压カ测量器67。具体实施例方式下面结合附图对本专利技术作进ー步说明。如图I所示，本专利技术包括特气柜、设置在特气柜内的特气系统，所述特气系统包括钢瓶5和管路系统，所述管路系统包括供气管路61、稀释气体管路62以及抽真空管路63，所述供气管路61上设置有钢瓶管接头2，所述供气管路61通过钢瓶管接头2与所述钢瓶5相连，所述稀释气体管路62和抽真空管路63均连在所述供气管路61上，还包括吹扫管路64，所述钢瓶管接头2包括气体通道21、依次设置的密封接ロ部22、紧固部23和进气部25，还包括吹扫部24，所述吹扫部24上设置有一定数量的吹扫通孔26，所述吹扫通孔26的出ロ朝向所述密封接ロ部22的外壁，所述吹扫管路64与所述吹扫通孔26相连通。本管路系统中以供气管路61为主干管路，其它管路除吹扫管路64外均分支连接在供气管路61上，通过三通等管件即可实现连接，各个管路上均按需要设置阀门，其阀门布置可以參见图I设置，在供气管路61上最好设置过滤器，其数量按需求设置，以防止杂质进入后续设备。吹扫管路64直接与吹扫通孔26连通，吹扫管路64可以直接与吹扫通孔26连通，也可以通过其它机构缓冲后于吹扫通孔26连通，在连通好后除维修外就不必再拆开两者。在组装钢瓶和供气管路61吋，与普通的钢瓶管连接结构相同，将垫片4安装在密封接ロ部22和密封连接面12之间，然后将钢瓶管接头2上的紧固部23与钢瓶接ロ I上的连接结构11连接紧固，紧固可以采用如图I所示的螺母3紧固在连接结构11上，从而压紧钢瓶管接头2上的紧固部23，使得钢瓶管接头2和钢瓶接ロ I形成端面密封；同样也可以采用快速卡接接头的方式，直接将紧固部23和连接结构11设置为快速卡接接头的构造，从而快速的实现密 封。在长期使用中，钢瓶内的气体耗尽或者压力不足以使用，这就需要更换钢瓶，对于易燃易爆、有毒等特殊气体，首先需要进入清扫エ艺，即关闭钢瓶阀门，抽取利用抽真空管路63抽出供气管路61中残存的特殊气体，抽真空管路63通过抽真空装置实现抽真空，特殊气体被抽至废气处理场所，再利用稀释气体管路62通入氮气稀释特殊气体，再抽取，以此反复数次以清扫供气管路61中残存的特殊气体。在清扫完毕后，松开钢瓶管接头2上的紧固部23与钢瓶接ロ I上的连接结构11的连接，然后利用吹扫管路64为吹扫通孔26供气，吹扫管路64与供气装置相连，吹扫管路64 —般提供氮气这种稳定无污染的气体，当然类似的气体也可以。吹扫管路64可以直接与各个吹扫本文档来自技高网...

【技术保护点】
高纯安全特气柜系统，包括特气柜、设置在特气柜内的特气系统，所述特气系统包括钢瓶（5）和管路系统，所述管路系统包括供气管路（61）、稀释气体管路（62）以及抽真空管路（63），所述供气管路（61）上设置有钢瓶管接头（2），所述供气管路（61）通过钢瓶管接头（2）与所述钢瓶（5）相连，所述稀释气体管路（62）和抽真空管路（63）均连在所述供气管路（61）上，其特征在于：还包括吹扫管路（64），所述钢瓶管接头（2）包括气体通道（21）、依次设置的密封接口部（22）、紧固部（23）和进气部（25），还包括吹扫部（24），所述吹扫部（24）上设置有吹扫通孔（26），所述吹扫通孔（26）的出口朝向所述密封接口部（22）的外壁，所述吹扫管路（64）与所述吹扫通孔（26）相连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：钟廷志，邹克，
申请(专利权)人：成都爱德工程有限公司，钟廷志，
类型：发明
国别省市：