一种还原炉内线切割硅芯制造技术

本实用新型专利技术涉及一种还原炉内线切割硅芯，该硅芯与传统采用区熔法拉制的圆硅芯所不同，是采用数控线切割设备来生产的柱状体，所述柱状体的截面为矩形、菱形、三角形、梯形或圆形，用于与石墨卡瓣的连接。一端加工为圆柱体或圆锥体，该端也可加工成截面为矩形、菱形、三角形、或梯形等柱体，用于短硅芯（搭接横梁）的搭接。该硅芯便于与横梁直接搭接，避免了钼丝的使用，从而提高了产品成品率，降低了生产成本和劳动效率，减少了生产环节；同时将该硅芯制成截面形状具有矩形、菱形、三角形、梯形或圆形等不同形状的柱状体，使之具有比传统圆形硅芯更大表面积，从而对提高多晶硅生产效率具有促进作用。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种采用改良西门子法或硅烷法生产多晶硅用的还原炉内线切割硅芯。
技术介绍
目前，采用改良西门子法或硅烷法生产多晶硅用的还原炉内的硅芯搭接方式通常是由两根竖的长硅芯和一根横的短硅芯(搭接横梁)搭接成n型导电回路，两根竖的长硅芯在搭接硅芯的一端打磨成丫口或其它形状用于与短硅芯(搭接横梁)的装配，搭接时一般采用钥丝对这三段硅芯进行绑扎，目的是获得稳定的力学结构，减少硅棒的倒炉现象，提高多晶硅的成品率。但是，由于钥丝的使用，造成了掺杂钥丝的硅料的产生，在后续工艺中不得不采用人工方法分捡出这部分“钥丝料”，这就造成了优质品率低、生产成本大、劳动效率·低、生产环节多的不利现象。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述现有技术的缺陷，提供一种采用数控线切割技术生产的，不需要使用钥丝进行硅芯绑扎搭接，且又可提高多晶硅成品率的还原炉内线切割硅芯。随着数控线切割技术的发展，硅芯逐步采用数控线切割设备来生产，并逐步实现硅芯的商品化。数控线切割设备所生产的硅芯具有规格统一、加工效率高的特点，同等直径条件下，方硅芯比传统的圆硅芯表面积大27%左右，在同等还原生产条件下，还原炉内多晶娃沉积速度明显提闻，有利于提闻生广效率，节能降耗。本技术就是基于上述技术优势而设计的一种还原炉内线切割硅芯，其特征是所述硅芯是采用数控线切割设备来生产的柱状体；所述柱状体的截面为矩形、菱形、三角形、梯形或圆形，用于与石墨卡瓣的连接；所述柱状体与搭接横梁搭接的一端为圆柱体或圆锥体；所述柱状体与搭接横梁搭接的一端为截面为矩形、菱形、三角形或梯形的柱体，该柱体内径小于硅芯内径；所述圆柱体、圆锥体及截面为矩形、菱形、三角形、或梯形的柱体的高度与搭接横梁高度一致。本技术的还原炉内线切割硅芯与传统采用区熔法拉制的圆硅芯所不同，是采用数控线切割设备来生产的柱状体，所述柱状体的截面为矩形、菱形、三角形、梯形或圆形，用于与石墨卡瓣的连接。一端加工为圆柱体或圆锥体，该端也可加工成截面为矩形、菱形、三角形、或梯形等柱体，用于短硅芯(搭接横梁)的搭接。该硅芯便于与横梁直接搭接，避免了钥丝的使用，从而提高了产品成品率，降低了生产成本和劳动效率，减少了生产环节；同时将该硅芯制成截面形状具有矩形、菱形、三角形、梯形或圆形等不同形状的柱状体，使之具有比传统圆形硅芯更大表面积，从而对提高多晶硅生产效率具有促进作用。附图说明图I为本技术还原炉内线切割硅芯，该硅芯截面为矩形、菱形、三角形、梯形的柱状长硅芯与横梁搭接结构示意简图；图2为本技术还原炉内线切割硅芯，该硅芯截面为圆锥形的长硅芯与横梁搭接结构示意简图。具体实施方式本技术的还原炉内线切割硅芯采用数控线切割设备生产，该硅芯(I)硅芯主体为截面为矩形、菱形、三角形、梯形或圆形等形状的柱状体，用于与石墨卡瓣的连接。(2)硅芯一端加工成圆柱体或者是圆锥体，形成榫卯结构，圆柱体或者是圆锥体的高度与横梁高度一致，用于与横梁搭接。或者柱状体一端加工成截面为矩形、菱形、三角形或梯形的柱体，该柱体内径小于硅芯内径，此结构与搭接横梁形成榫卯结构，柱体高度与横梁高度一致。硅芯与横梁的搭接方式如图I或图2所示硅芯I的一端接入与之适配的石墨卡瓣，另一端磨圆柱或圆锥形状。按照与还原炉电极中心对应的距离在横梁2上打2个适配硅芯I的圆孔或圆椎孔3，再将横梁2和2根长硅芯I搭接成TI型导电回路。权利要求1.一种还原炉内线切割硅芯，其特征是所述硅芯是采用数控线切割设备来生产的柱状体。2.按照权利要求I所述的还原炉内线切割硅芯，其特征是所述柱状体的截面为矩形、菱形、三角形、梯形或圆形，用于与石墨卡瓣的连接。3.按照权利要求I所述的还原炉内线切割硅芯，其特征是所述柱状体与搭接横梁搭接的一端为圆柱体或圆锥体。4.按照权利要求I所述的还原炉内线切割硅芯，其特征是所述柱状体与搭接横梁搭接的一端为截面为矩形、菱形、三角形或梯形的柱体，该柱体内径小于硅芯内径。5.按照权利要求3所述的还原炉内线切割硅芯，其特征是所述圆柱体或圆锥体的高度与搭接横梁高度一致。6.按照权利要求4所述的还原炉内线切割硅芯，其特征是所述截面为矩形、菱形、三角形或梯形的柱体的高度与搭接横梁高度一致。专利摘要本技术涉及一种还原炉内线切割硅芯，该硅芯与传统采用区熔法拉制的圆硅芯所不同，是采用数控线切割设备来生产的柱状体，所述柱状体的截面为矩形、菱形、三角形、梯形或圆形，用于与石墨卡瓣的连接。一端加工为圆柱体或圆锥体，该端也可加工成截面为矩形、菱形、三角形、或梯形等柱体，用于短硅芯(搭接横梁)的搭接。该硅芯便于与横梁直接搭接，避免了钼丝的使用，从而提高了产品成品率，降低了生产成本和劳动效率，减少了生产环节；同时将该硅芯制成截面形状具有矩形、菱形、三角形、梯形或圆形等不同形状的柱状体，使之具有比传统圆形硅芯更大表面积，从而对提高多晶硅生产效率具有促进作用。文档编号C01B33/035GK202625862SQ20122008040公开日2012年12月26日 申请日期2012年3月6日 优先权日2012年3月6日专利技术者周英军 申请人:周英军本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种还原炉内线切割硅芯，其特征是：所述硅芯是采用数控线切割设备来生产的柱状体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周英军，
申请(专利权)人：周英军，
类型：实用新型
国别省市：