【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于计算机エ业控制加工领域，涉及ー种。
技术介绍
分子泵是利用高速旋转的转子把动能传输给气体分子，使之获得定向速度从而被压缩驱至排气ロ抽走的机械式真空泵。近三十年半导体产业的飞速发展，使分子泵越来越受到重视，并得到快速发展。涡轮转子作为分子泵的关键部件，其加工及安装精度直接影响分子泵的性能。目前，对于分子泵转子的加工主要使用传统“定位一加工”运行模式，其过程是先将转子毛坯装夹在数控铣床工作台上，使用机械式百分表测量转子与铣床分度盘的同轴度，操作工人 手动调整转子毛坯对其进行找正，最后启动铣床对毛坯进行加工。这种传统的加工方法装夹找正过程依赖操作工人经验，生产批次不稳定，严重影响整体加工周期，阻碍生产效率的提闻。
技术实现思路
本专利技术目的是针对分子泵涡轮转子当前加工方法的不足，在传统方法基础上提供ー种，以减少装夹找正过程对工人经验的依赖，増加生产批次的稳定性，缩短转子整体加工周期，实现提高生产效率的目的。本专利技术的技术方案包括以下步骤①首先将涡轮转子毛坯装夹在铣床分度盘上，然后在工作台上安装直线位移传感器，传感器測量头与转子毛坯直接接触，控制转子毛坯缓慢旋转，当转子毛坯与分度盘中心轴线不完全重合，即转子毛坯不处于理想加工位置，其随分度盘旋转时测量头产生相对位移，传感器输出位移信号；②将位移信号存储在寄存器中，经过信号处理拟合成位移曲线，其位移曲线为正弦曲线，由此曲线得到转子毛坯最大偏心距及最大偏心距所对应的转子毛坯偏移角度；③由转子毛坯最大偏心距及偏移角度，经解析几何公式计算得到当前测量的转子毛坯加工层圆心在理想位置坐标系中的位置坐标；④通过上...
【技术保护点】
一种分子泵整体涡轮转子自适应加工方法，其特征是：包括以下步骤：①首先将涡轮转子毛坯装夹在铣床分度盘上，然后在工作台上安装直线位移传感器，传感器测量头与转子毛坯直接接触，控制转子毛坯缓慢旋转，其随分度盘旋转时测量头产生相对位移，传感器输出位移信号；②将位移信号存储在寄存器中，经过信号处理拟合成位移曲线，由此曲线得到转子毛坯最大偏心距及最大偏心距所对应的转子毛坯偏移角度；③由转子毛坯最大偏心距及偏移角度，经解析几何公式计算得到当前测量的转子毛坯加工层圆心在理想位置坐标系中的位置坐标；④通过上述步骤1至3测量计算两组转子加工层圆心坐标，由两圆心坐标确定转子实际轴线的数学模型，再计算得到转子各加工层圆心在理想位置坐标系中的坐标；⑤由各加工层圆心的实际坐标求出平移变换矩阵，由分度盘每次的旋转角度求出旋转变换矩阵；基于矩阵变换理论计算转子在每一加工层中各加工位置的圆心在理想位置坐标系中的坐标值；⑥转子各加工位置在X/Y/Z轴向上的偏移量用上述计算出的各加工位置的圆心在理想位置坐标系中的坐标值表示，基于各加工位置圆心坐标的计算结果，利用编制的中间转换器，一次性计算各加工位置的偏移量并修正原有数控加工...
【技术特征摘要】
1.ー种分子泵整体涡轮转子自适应加工方法，其特征是包括以下步骤 ①首先将涡轮转子毛坯装夹在铣床分度盘上，然后在工作台上安装直线位移传感器，传感器測量头与转子毛坯直接接触，控制转子毛坯缓慢旋转，其随分度盘旋转时测量头产生相对位移，传感器输出位移信号； ②将位移信号存储在寄存器中，经过信号处理拟合成位移曲线，由此曲线得到转子毛坯最大偏心距及最大偏心距所对应的转子毛坯偏移角度； ③由转子毛坯最大偏心距及偏移角度，经解析几何公式计算得到当前测量的转子毛坯加工层圆心在理想位置坐标系中的位置坐标； ④通过上述步骤I至3測量计算两组转子加工层圆心坐标，由两圆心坐标确定转子实际轴线的数学模型，再计算得到转子各加工层圆心在理想位置坐标系中的坐标； ⑤由各加工...
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