本发明专利技术涉及一种除静电方法，包括：将需进行除静电处理的材料置于腔室内；对所述腔室进行抽真空处理；向所述腔室内通入用于电离的气体，使所述腔室内的压强维持在1.0*10-3~8.0*10-3托之间；对所述腔室内的尖端放电装置通电，使所述尖端放电装置电离所述气体，产生正负离子并中和所述材料上的静电荷。本发明专利技术还涉及一种除静电装置。本发明专利技术可以在真空度较高的环境下消除有机柔性基材在镀膜过程中所带的静电，满足了特殊工艺条件下消除材料静电的需求。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种除静电方法，还涉及一种除静电装置。
技术介绍
柔性材料镀膜需要将有机柔性材料在高真空环境中，与不锈钢、塑料等材质进行多次的接触和剥离。这样就会产生较多的静电放电现象，严重情况下可达IOKV电压，导致透明光学材料表面产生击伤现象而报废。一种传统的除静电方案是采用除静电棒，但其只适用于在普通的大气环境下消除静电，而在高真空环境中无法起辉产生离子，不能达到消除静电的效果。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种适用于在真空环境下消除材料所带静电的除静电方法。一种除静电方法，包括将需进行除静电处理的材料置于腔室内；对所述腔室进行抽真空处理；向所述腔室内通入用于电离的气体，使所述腔室内的压强维持在I. 0*10^8. 0*10_3托之间；对所述腔室内的尖端放电装置通电，使所述尖端放电装置电离所述气体，产生正负离子并中和所述材料上的静电荷。在其中一个实施例中，所述通电步骤后，还包括对所述腔室内进行抽气处理，同时通入所述用于电离的气体，使所述腔室内的压强维持在I. 0*10^8. 0*10_3之间的步骤。在其中一个实施例中，所述用于电离的气体是氧气。在其中一个实施例中，所述用于电离的气体是氩气。在其中一个实施例中，所述材料是有机柔性材料，所述尖端放电装置包括放电针。在其中一个实施例中，所述放电针与所述有机柔性材料的间距为5 10毫米。在其中一个实施例中，还包括通过过料辊组卷送所述有机柔性材料，使所述有机柔性材料在卷送过程中于靠近所述放电针的位置掠过的步骤，掠过的过程中所述有机柔性材料与放电针的最短间距为5 10毫米。还有必要提供一种除静电装置。一种除静电装置，包括腔室，设有进气口和抽气口 ；抽真空装置，通过抽气阀与所述抽气口密封固定连接；配气装置，通过进气阀与所述进气口密封固定连接，用于向所述腔室内通入用于电离的气体；承载装置，置于所述腔室内，用于承载需进行除静电处理的材料；尖端放电装置，靠近所述承载装置设于所述腔室内，用于对所述气体进行电离。在其中一个实施例中，所述承载装置包括用于卷送柔性材料的过料辊组，所述尖端放电装置包括用于对自身周围的所述气体进行电离的放电针，所述放电针设于所述承载装置上；所述过料辊组在卷送所述柔性材料的过程中，使得所述柔性材料于靠近所述放电针的位置掠过，且所述柔性材料和放电针的最短间距为5 10毫米。在其中一个实施例中，还包括连接所述配气装置的气体流量计，用于检测所述配气装置通入腔室内的所述气体的流量。上述除静电方法，可以在真空度较高的环境下消除材料在处理过程中(例如柔性材料镀膜工艺)所带的静电，满足了特殊工艺条件下消除材料静电的需求。附图说明图I是一实施例中除静电装置的结构示意图；图2是一实施例中承载装置和设于其上的放电针的立体图；图3是图2另一角度的视图；图4是由过料辊组卷送的柔性材料与放电针间距的示意图；图5是一实施例中除静电方法的流程图。 具体实施例方式为使本专利技术的目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。图I是一实施例中除静电装置的结构示意图。除静电装置包括腔室10、抽真空装置20、配气装置30、承载装置40以及尖端放电装置。腔室10设有进气口和抽气口，抽真空装置20通过抽气阀(图I未示)与抽气口密封固定连接，能够将腔室10抽成高真空状态。配气装置30通过进气阀(图I未示)与进气口密封固定连接，用于(抽真空后)向腔室10内通入用于电离的工艺气体。承载装置40置于腔室10内，用于承载需进行除静电处理的材料，在一个实施例中为有机柔性基材。尖端放电装置设于腔室10内，用于对工艺气体进行电离，其需要的电力由设于腔室10外的高压电源提供。尖端放电装置靠近承载装置40设置，使得工艺气体被电离后产生的离子能够作用于承载装置40上需进行除静电处理的材料。工艺气体可以采用氩气或其它零族元素气体单质，也可以采用氧气。请参看图2和图3，承载装置40包括用于卷送柔性材料的过料辊组，过料辊组由多个过料辊41组成。尖端放电装置包括用于对自身周围的工艺气体进行电离的放电针42，放电针42设于承载装置40上。请参看图4，过料辊组在卷送柔性材料的过程中，使得柔性材料连续不断地于靠近放电针42的位置掠过，且最短间距为5 10毫米。因此，需要根据该最短间距，设计好对靠近放电针42的一段柔性材料进行定位的几个过料辊41与放电针42间的相对位置。在其中一个实施例中，除静电装置还包括连接配气装置30的气体流量计，用于检测配气装置30通入腔室内的工艺气体的流量，从而将腔室10内的真空度和工艺气体密度维持在期望的范围内。在其中一个实施例中，开始电离时及电离过程中腔室10内的压强应维持在 I. 0*10子8. 0*10_3Torr 之间，优选为 I. O^lO-3Torr0图5是一实施例中除静电方法的流程图，包括下列步骤S110，将需进行除静电处理的材料置于腔室内。在其中一个实施例中，该方法是使用上述除静电装置进行的。因此本步骤是将材料置于腔室10内的承载装置40上，该材料是有机柔性材料。S120，对腔室进行抽真空处理。通过抽真空装置20对腔室10进行抽真空处理，一般要将腔室10抽成高真空状态。S130，向腔室内通入用于电离的气体。通入气体后腔室10内的压强应维持在I. 0*10^8. 0*l(T3Torr之间，优选为I. O^lO-3Torr0S140，对腔室内的尖端放电装置通电，使尖端放电装置电离气体，产生正负离子并中和材料上的静电荷。在其中一个实施例中，尖端放电装置包括放电针42。在其中一个实施例中，放电针与材料的间距为5 10毫米。上述除静电方法，可以在真空度较高的环境下消除材料在处理过程(例如柔性材料镀膜工艺)中所带的静电，满足了特殊工艺条件下消除材料静电的需求。 在其中一个实施例中，尖端放电装置通电开始电离后，仍然需要维持抽真空装置20及配气装置30的工作，即一边电离，一边通气并抽气。这样一来，中和静电荷后剩下的另一种极性的离子就会被抽走，以保证材料能处于电荷平衡状态。在这个过程中，腔室10内的压强仍应维持在I. 0*10^8. 0*1(T3托之间。在其中一个实施例中，步骤S130通入的气体可以是氩气或其它零族元素气体单质，也可以采用氧气。如前述，在其中一个实施例中，上述除静电方法是配合本专利技术的除静电装置进行实施的。因此，该方法还包括通过过料辊组卷送有机柔性材料，使该有机柔性材料在卷送过程中于靠近放电针42的位置掠过的步骤。随着卷送过程的持续，长条状的有机柔性材料的每一截都会在放电针42附近通过，因此该有机柔性材料的每一截都进行了除静电处理，从而达到较好的除静电效果。有机柔性材料掠过放电针42的过程中，二者的最短间距为5 10毫米,如图4所示。以上所述实施例仅表达了本专利技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本专利技术专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本专利技术的保护范围。因此，本专利技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种除静电方法，包括：将需进行除静电处理的材料置于腔室内；对所述腔室进行抽真空处理；向所述腔室内通入用于电离的气体，使所述腔室内的压强维持在1.0*10？3~8.0*10？3托之间；对所述腔室内的尖端放电装置通电，使所述尖端放电装置电离所述气体，产生正负离子并中和所述材料上的静电荷。
【技术特征摘要】
1.一种除静电方法，包括 将需进行除静电处理的材料置于腔室内； 对所述腔室进行抽真空处理； 向所述腔室内通入用于电离的气体，使所述腔室内的压强维持在1.0*10_3 8. 0*10_3托之间； 对所述腔室内的尖端放电装置通电，使所述尖端放电装置电离所述气体，产生正负离子并中和所述材料上的静电荷。2.根据权利要求I所述的除静电方法，其特征在于，所述通电步骤后，还包括对所述腔室内进行抽气处理，同时通入所述用于电离的气体，使所述腔室内的压强维持在.1. 0*10^8. 0*10。之间的步骤。3.根据权利要求I所述的除静电方法，其特征在于，所述用于电离的气体是氧气。4.根据权利要求I所述的除静电方法，其特征在于，所述用于电离的气体是氩气。5.根据权利要求I所述的除静电方法，其特征在于，所述材料是有机柔性材料，所述尖端放电装置包括放电针。6.根据权利要求5所述的除静电方法，其特征在于，所述放电针与所述有机柔性材料的间距为5 10毫米。7.根据权利要求6所述的除静电方法，其特征在于，还包括通过过料辊组卷送所述有机柔...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏国涛，柳锡运，江成军，钟欣，李章国，
申请(专利权)人：深圳南玻显示器件科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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