本发明专利技术揭露一种用于形成一或更多材料层于一或更多基板上的系统。此系统包含一可绕一中央承载座轴旋转的承载座(susceptor)。一或更多载台齿轮(holder?gear)位于承载座上。载台齿轮可以中央承载座轴绕承载座旋转。当载台齿轮绕中央承载座轴旋转，一与载台齿轮接合的中央齿轮可使载台齿轮绕个别载台齿轮的载台轴转动。承载座与中央齿轮可各自独立旋转。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种薄膜沉积装置，特别是涉及一种用于将一或更多薄膜材料沉积于基板上的旋转系统。
技术介绍
薄膜沉积被广泛应用于各种物品的表面工艺中，例如珠宝、餐具、工具、模制品及半导体组件。通常金属、合金、陶瓷或半导体表面形成同质或异质成份的薄膜以改进例如耐磨、耐热及抗蚀性质。薄膜沉积技术一般被区分为至少两类别，即物理气相沉积与化学气相沉积。取决于沉积技术及工艺参数，沉积的薄膜可具有单晶、多晶或非晶体结构。单晶及/或多晶薄膜通常形成为对于半导体组件及集成电路制造而言十分重要的磊晶层。举例来说，磊晶层可由半导体层构成且在磊晶层形成的同时进行掺杂以在可防止氧及或碳杂质污 染的条件(例如真空条件)下形成掺质分布。在某些工艺中，金属有机化学气相沉积法(MOCVD)形成的磊晶层被用于制造发光二极管。金属有机化学气相沉积法形成的发光二极管的质量受到各种因素的影响，例如，但不限于，反应室内的气体流动稳定度或均匀度、通过基板表面的气体流均匀度，及/或温度控制的精确度。这些参数的变化可能会降低以金属有机化学气相沉积法形成的磊晶层的质量，亦即影响以金属有机化学气相沉积法形成的发光二极管的品质。因此需要一种可改进以金属有机化学气相沉积法形成的磊晶层的技术的系统与方法。特别是需要改进磊晶层沉积时反应室内及通过基板表面的气体流均匀度。
技术实现思路
在一些实施例中，一种用于形成一或更多材料层于一或更多基板上的系统包含一绕一中央承载座轴旋转的承载座。一或更多位于该承载座上的载台齿轮可以该中央承载座轴绕该承载座旋转。一与该载台齿轮啮合合的中央齿轮可于该载台齿轮绕该中央承载座轴旋转时，使该载台齿轮绕个别该载台齿轮的载台轴旋转。该承载座与该中央齿轮可各自独立旋转。在一些实施例中，一形成一或更多材料层于一或更多基板上的方法包含绕一中央承载座轴旋转一或更多位于一或更多位于一承载座上的载台齿轮的基板。当该载台齿轮绕该中央承载座轴旋转时，该载台齿轮绕其各自的载台轴以及一中央齿轮旋转。该中央齿轮可相对于该承载座独立地旋转。当该基板绕该中央承载座轴与该载台轴旋转时，一或更多材料层可形成于一或更多基板上。在某些实施例中，该承载座与一可自由地绕一与该中央齿轮结合的机轴旋转的可转动组件结合。在某些实施例中，可转动组件包含一包围与该中央齿轮结合的该机轴的衬套，且该衬套可绕该机轴自由地旋转。在某些实施例中，该可转动组件包含一与该承载座结合的一旋转罩。在某些实施例中，当该承载座绕该中央承载座轴旋转时，该中央齿轮不旋转。在某些实施例中，该中央齿轮与该承载座沿相同方向旋转。在某些实施例中，该中央齿轮与该承载座以相同速度旋转。在某些实施例中，该中央齿轮与该承载座以不同速度旋转。在某些实施例中，该中央齿轮与该承载座沿不同方向旋转。附图说明本专利技术的方法与装置的特征及优点经以下详细说明伴随图示进行说明后将更易于了解领会，根据本专利技术的实施例伴随以下图示进行说明。图IA与图IB显示用于形成一或更多材料于一或更多基板上旋转系统的一实施例。图2A显示中央齿轮与载台齿轮啮合的旋转系统的一实施例。 图2B显示基板载台、载台齿轮及载台环处于组合状态的旋转系统的一实施例。图3显示用于形成一或更多材料于一或更多基板上作为旋转系统的一部分的基板载台的一实施例。图4显示用于形成一或更多材料于一或更多基板上作为旋转系统的一部分的基板载台的另一实施例。图5A与图5B显示用于形成一或更多材料于一或更多基板上包含旋转系统的反应系统的一实施例。图6显示具有载台齿轮彼此分开围绕中央齿轮的承载座的旋转系统的一实施例的俯视图。图7显示具有载台齿轮至少部分重迭围绕中央齿轮的承载座的旋转系统的一实施例的俯视图。图8显示载台齿轮的轮齿与载台齿轮的轮齿之间至少部份重迭区域的一实施例的侧视图。图9显示具有一不使用旋转罩的旋转机构的旋转系统的一实施例。图10显示旋转系统的一实施例其中显示一中央齿轮与载台齿轮交互作用。图11显示具有朝顺时针方向旋转的承载座与朝逆时针方向旋转的中央齿轮的旋转系统的一实施例的俯视图。当然本专利技术可有各种修改与替换形式，在此将详细描述藉由以上图标的范例表示的本专利技术的特定实施例。这些图示可能不符合比例。必须理解的是图示与详细说明不应限制本专利技术在已揭露的特定形式，相反地是应将所有修改、等效与替换形式涵盖在本专利技术申请的精神与范围内。主要组件符号说明100旋转系统100’旋转系统110承载座112旋转罩114内齿轮116外齿轮118 马达120中央齿轮130基板载台132载台齿轮132A载台齿轮132B载台齿轮134 载台环140承载基板150 间距 160 椭圆162A 轮齿162B 轮齿200 衬套202转接器203 扣件204 机轴206 扣件210载台轴310载台轴320球轴承410载台轴420球轴承430 内环1100反应系统1101 进气口1102 进气口1103 进气口1104 进气口1112 表面1114 表面1124加热组件1126 载台轴1128承载座轴1140 出气口1150中央组件1160 反应室具体实施例方式在本专利技术的上下文中，用词“耦接”表示一或更多对象或组件之间的直接连接或非直接连接(例如一或更多介于其中的连接)。图IA与图IB显示用于形成一或更多材料于一或更多基板上旋转系统100的一实施例。在一些实施例中，旋转系统100包含承载座110、旋转罩112、内齿轮114、外齿轮116及马达118。在某些实施例中，旋转系统100包含中央齿轮120。在一些实施例中，旋转系统100包含一或更多基板载台130、一或更多载台齿轮132及一或更多载台环134。在一些实施例中，基板载台130系用于承载基板140(例如一或更多晶圆)。在某些实施例中，内齿轮114与外齿轮116形成一可包含马达118的驱动组合。虽然以上利用选择的组件组合以表示系统100，系统100仍可有其它替代、修改及变化形式。举例来说，某些组件可被展开及或组合。其它组件可被插入上述提及的组件之间。取决于实施例，组件的安排组合可互换及以其它组件取代。在一些实施例中，旋转罩112底部及支撑部直接或非直接固定于内齿轮114，而承载座Iio则位于旋转罩112顶部。在某些实施例中，承载座110固定于旋转罩112顶部。在另一实施例中，内齿轮114与外齿轮116啮合。在又一实施例中，外齿轮116被马达118驱动以旋转，使内齿轮也旋转。在一实施例中，内齿轮114的旋转带动旋转罩112与承载座110绕一共同轴旋转(例如一承载座轴)。举例来说，旋转罩112可藉由一旋转轴承旋转。 在一些实施例中，承载座110上有一或更多基板载台130、一或更多载台齿轮132及一或更多载台环134。在某些实施例中，基板载台130、载台齿轮132及载台环134与承载座110 —起绕共同轴旋转。在某些实施例中，每一载台齿轮132支撑基板载台130且每一基板载台130载有一或更多基板140 (例如一或更多晶圆)。在某些实施例中，中央齿轮120与一或更多载台齿轮132啮合。在一实施例中，当载台齿轮132与承载座110 —起绕共同轴旋转时，中央齿轮120为静止造成载台齿轮132分别绕各自载台轴旋转。在另一实施例中，中央齿轮120沿一方向以一角速度绕共同轴旋转时，载台齿轮本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于将一或更多材料层形成于一或更多基板上的系统，包含：一承载座，该承载座可绕一中央承载座轴旋转；位于该承载座上的一或更多载台齿轮，其中，该载台齿轮可以所述中央承载座轴绕所述承载座旋转；及与所述载台齿轮啮合的一中央齿轮，其中，该中央齿轮可在所述载台齿轮所述中央承载座轴旋转时，使所述载台齿轮绕个别所述载台齿轮的载台轴旋转；其中，所述承载座与所述中央齿轮可各自独立旋转。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：方政加，杨成杰，
申请(专利权)人：绿种子材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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