硅片储存盒定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体设备，尤其涉及一种用于将前开式硅片储存盒放置于储存柜时精确定位的硅片储存盒定位装置，包括左定位单元和右定位单元，所述左、右定位单元相对间隔设置于所述底座上与所述前开式硅片储存盒的两个顶角相对应的位置，所述左、右定位单元的内侧边缘分别与所述前开式硅片储存盒的两个顶角边缘相匹配。这样，将所述前开式硅片储存盒放于所述储存柜的过程中由于所述左、右定位单元的阻挡定位作用，避免由于所述前开式硅片储存盒防止不当引起的机械故障，节省操作时间，保证生产顺利进行。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种用于辅助前开式硅片储存盒精确定位于储存柜的底座上的硅片储存盒定位装置。
技术介绍
随着半导体制造技术的发展，自动化程度的提高，半导体的生产要求也越来越高，对半导体设备的稳定性也有了更高的要求，尤其在FAB(即半导体制造工厂)中，设备的停机时间会直接影响到生产效率，甚至造成一定的经济损失。现有的用于放置前开式硅片储存盒的储存柜仅仅依靠三个对应所述前开式硅片储存盒底座上的定位孔的突出脚达到定位目的，放置所述前开式硅片储存盒时，由于所述前开式硅片储存盒的阻挡，人眼不能直接目视所述前开式硅片储存盒的底面，导致调节所述前开式硅片储存盒位置的时间过长，引起所述储存柜入口的安全光栅触发引起故障，或 者由于所述前开式硅片储存盒放置不当，当入口托盘升起托送前开式硅片储存盒时，引起机台故障。因此，如何提供一种能够精确定位前开式硅片储存盒在储存柜中的位置的硅片储存盒定位装置是本领域的技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅片储存盒定位装置，以解决前开式硅片储存盒放置于储存柜时定位时间过长且定位不准确的问题。为解决上述技术问题，本技术提供一种硅片储存盒定位装置，安装于储存盒的底座上，用于辅助前开式硅片储存盒精确定位于储存柜的底座上，包括左定位单元和右定位单元，所述左、右定位单元相对间隔设置于所述底座上与所述前开式硅片储存盒的两个顶角相对应的位置，所述左、右定位单元的内侧边缘分别与所述前开式硅片储存盒的两个顶角边缘相匹配。较佳地，所述储存柜的底座包括若干定位脚，所述左、右定位单元的高度低于或等于所述定位脚的高度。较佳地，所述储存柜的底座包括若干定位脚，所述左、右定位单元的高度高于所述定位脚的高度，且高度差小于5mm。较佳地，所述左、右定位单元分别包括固定部分和限位部分，所述固定部分固定于所述底座上，所述限位部分固定于所述固定部分，所述限位部分的内侧边缘分别与所述前开式硅片储存盒的两个顶角边缘相匹配。较佳地，所述限位部分采用特氟龙材料，较佳地，所述固定部分采用铝材料。较佳地，所述限位部分朝向所述前开式硅片储存盒的放置方向的边缘均设有倒角。较佳地，所述限位部分与所述固定部分采用螺丝固定，所述固定部分与所述底座采用螺丝固定。较佳地，与所述螺丝相匹配的螺孔均采用椭圆螺丝孔。较佳地，所述左和/或右定位单元的底部设有供线缆穿出的凹槽。本技术提供的硅片储存盒定位装置，安装于储存柜的底座上，用于辅助前开式硅片储存盒精确定位于储存柜的底座上，包括左定位单元和右定位单元，所述左、右定位单元相对间隔设置于所述底座上与所述前开式硅片储存盒的两个顶角相对应的位置，所述左、右定位单元的内侧边缘分别与所述前开式硅片储存盒的两个顶角边缘相匹配。这样，将所述前开式硅片储存盒放于所述储存柜的过程中由于所述左、右定位单元的阻挡定位作用，避免由于所述前开式硅片储存盒防止不当引起的机械故障，节省操作时间，保证生产顺利进行。附图说明 图I为本技术一实施例的硅片储存盒定位装置安装于储存柜的示意图；图2为本技术一实施例的硅片储存盒定位装置的结构示意图。图中1-底座、2-托盘、3-定位脚、4-左定位单元、5-右定位单元、6-固定部分、7-限位部分、8-倒角、9-椭圆螺丝孔、10-凹槽。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，以下结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。本技术提供的硅片储存盒定位装置，如图I所示，安装于储存柜的底座I上，用于辅助前开式硅片储存盒精确定位于储存柜的底座I上，包括左定位单元4和右定位单元5，所述左、右定位单元4、5相对间隔设置于所述底座I上与所述前开式硅片储存盒(图中未示出)的两个顶角相对应的位置，所述左、右定位单元4、5的内侧边缘分别与所述前开式硅片储存盒的两个顶角边缘相匹配。将所述前开式硅片储存盒放于所述储存柜的过程中由于所述左、右定位单元4、5的阻挡定位作用，避免由于所述前开式硅片储存盒防止不当弓丨起的机械故障，节省操作时间，保证生产顺利进行。较佳地，如图I所示，所述储存柜的底座包括若干定位脚3，所述左、右定位单元4、5的高度低于或等于所述定位脚3的高度或所述左、右定位单元4、5的高度高于所述定位脚的高度，且高度差小于5_。具体地，所述左、右定位单元4、5的高度可以低于或略高于所述定位脚3的高度，本实施例中，所述左、右定位单元4、5的高度均为65. 2mm,略高于所述定位脚3的高度，当所述储存柜上的托盘2升起带动所述前开式硅片储存盒被抬升并进行水平运动时，所述左、右定位单元4、5均留有足够的空间避免影响所述托盘2的正常运行即可。较佳地，如图2所示，所述左、右定位单元4、5分别包括固定部分6和限位部分7，所述固定部分6固定于所述储存柜的底座I上，所述限位部分7固定于所述固定部分6上，具体地，所述限位部分7采用特氟龙材料，所述固定部分6采用铝材料。所述限位部分7的内侧边缘分别与所述前开式硅片储存盒的两个顶角边缘相匹配，由于所述限位部分7的内侧边缘直接与所述前开式硅片储存盒接触，采用特氟龙材料能够有效的保护所述前开式硅片储存盒，避免二者接触时产生颗粒造成污染，而所述固定部分6采用表面电解的铝材料，与所述底座I上的入口铝板(图中未示出)直接接触固定，固定效果更佳，且颜色与铝板类似，更美观。较佳地，如图2所示，所述限位部分7朝向所述前开式硅片储存盒的放置方向的边缘均设有倒角8，若放置所述前开式硅片储存盒时位置稍有偏差，所述前开式硅片储存盒能够沿此倒角8的设计滑至正确的位置。较佳地，如图2所示，所述限位部分7与所述固定部分6采用螺丝(图中未示出)固定，所述固定部分6与所述底座I也采用螺丝(图中未示出)固定，具体地，与所述螺丝相匹配的螺孔均采用椭圆螺丝孔9，可通过所述椭圆螺丝孔9的设计分别对所述左、右定位单元4、5的固定位置进行微调。较佳地，如图I所示，所述左和/或右定位单元4和/或5的底部设有供线缆穿出的凹槽10，所述前开式硅片储存盒带有的身份阅读器的线缆可从所述凹槽10中固定穿出，以免操作过程中将线缆拉断或压坏，造成机器故障。 综上所述，本技术提供的硅片储存盒定位装置，安装于储存盒的底座I上，用于辅助前开式硅片储存盒精确定位于储存柜的底座I上，包括左定位单元4和右定位单元5，所述左、右定位单元4、5相对间隔设置于所述底座I上与所述前开式硅片储存盒的两个顶角相对应的位置，所述左、右定位单元4、5的内侧边缘分别与所述前开式硅片储存盒的两个顶角边缘相匹配。这样，将所述前开式硅片储存盒放于所述储存柜的过程中由于所述左、右定位单元4、5的阻挡定位作用，避免由于所述前开式硅片储存盒防止不当引起的机械故障，节省操作时间，保证生产顺利进行。显然，本领域的技术人员可以对本技术进行各种改动和变型而不脱离本技术的精神和范围。这样，倘若本技术的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本技术也意图包含这些改动和变型在内。权利要求1.一种硅片储存盒定位装置，安装于储存柜的底座上，用于辅助前开式硅片储存盒精确定位于储存柜的底座上，其特征在于，包括左定位单元和右定位单元，所述左、右定位单元相对间隔设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅片储存盒定位装置，安装于储存柜的底座上，用于辅助前开式硅片储存盒精确定位于储存柜的底座上，其特征在于，包括左定位单元和右定位单元，所述左、右定位单元相对间隔设置于所述底座上与所述前开式硅片储存盒的两个顶角相对应的位置，所述左、右定位单元的内侧边缘分别与所述前开式硅片储存盒的两个顶角边缘相匹配。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：金卫，潘达文，李炯，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：