带光源的微型扫描投影器件制造技术

本实用新型专利技术涉及一种带光源的微型扫描投影器件，包括外壳和中心设有光源的可动部件，该可动部件包括第一组侧边和第二组侧边，在所述可动部件的第一组侧边上设有Y轴向磁铁，而在第二组侧边上设有与外壳相连接的X轴柔性机构，在外壳内部设有与Y轴向磁铁相对应的第一组电磁圈。本实用新型专利技术涉的扫描投影器件，由于将X轴方向磁铁、光源设置在可动部件上，并且在连接部分采用柔性结构，扫描角度大、频率高而且噪声小。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种带光源的微型扫描投影器件，属于扫描系统

技术介绍
目前，传统的大型机械扫描例如扫描振境、灯光表演等由 于其体积大，以及使用马达等器件使得整个系统噪声较大，而且功耗较高，而且响应时间较长，限制了大型机械扫描以及成像的发展。现在市场上流行的MEMS微镜由于其复杂的生产以及加工过程使得生产时间较长以及生产成本较高，在很多文献及专利中都涉及到扫描以及投影的角度例如Patrick B. Chu, Shi-Sheng Lee, and Sangtae Park, Tellium, Inc. The Path to LargeOptical Cross connects, IEEE Communications Magazine March 2002 中提到的 MEMS 微镜有光学角度只有±10°，扫描角度太小以及频率低等问题。
技术实现思路
本技术针对上述问题的不足，提出一种扫描角度大、频率高以及噪声小的带光源的微型扫描投影器件。本技术为解决上述技术问题提出的技术方案是包括外壳和中心设有光源的可动部件，该可动部件包括第一组侧边和第二组侧边，在所述可动部件的第一组侧边上设有Y轴向磁铁，而在第二组侧边上设有与外壳相连接的X轴柔性机构，在外壳内部设有与Y轴向磁铁相对应的第一组电磁圈。进一步地所述第二组侧边的任一边上设有角位移传感器。优选的所述可动部件为PCB，该PCB设有两层，在PCB第一层设有由内向外逐渐放大的线圈，而在PCB第二层的一组侧边分别设置有一对X轴向磁铁，而另一组侧边的任 边设有角位移传感器，在所述PCB第二层的中部设有光源。再进一步地还包括Y轴柔性机构以及悬框，该悬框包括第一组悬框边和第二组悬框边，所述Y轴柔性机构一端与悬框的第一组悬框边相接，另一端与外壳相接，而所述X轴柔性机构一端与悬框的第二组悬框边相接，另一端与第二组侧边相接；而所述悬框的第二组悬框边上设有X轴向磁铁；在外壳内部设有与X轴向磁铁相对应的第二组电磁圈。又再进一步地所述第二组侧边的两边分别设有角位移传感器。优选的所述可动部件为PCB，所述PCB设有两层，在PCB第一层设有由内向外逐渐放大的线圈，而在在PCB第二层的一组侧边分别设置有一对X轴向磁铁，而另一组侧边分别设有角位移传感器，在所述PCB第二层的中部设有光源。再优选的所述X轴向磁铁粘接在可动部件上，或者所述X轴向磁铁为磁性材料通过电沉积、溅射的方式加在可动部件上，或者所述X轴向磁铁为永磁铁或者驱动臂通过键合、粘接在可动部件上。本技术的带光源的微型扫描投影器件，由于将X轴方向磁铁、光源设置在可动部件上，并且在连接部分采用柔性结构，因而其扫描角度大、频率高而且噪声小。附图说明图I是本技术实施例I的结构示意图；图2是图I的俯视图；图3是6的结构示意图； 图4是4的结构示意图；其中；1-X轴向磁铁，2-光源，3-角位移传感器，4-可动部件，41-线圈，5-外壳，6-外壳内部,61-电磁圈,7-Y轴柔性机构,8-第一组侧边,9-第二组侧边。图5是本技术实施例2的结构示意图；图6是图5的俯视图；图7是6的结构示意图；图8是4的结构示意图；其中；1-X轴向磁铁，2-光源，3-角位移传感器，4-可动部件，41-线圈，5-外壳，6-外壳内部,61-第一组电磁圈,62-第二组电磁圈,7-X轴柔性机构,8-第一组侧边，9-第二组侧边，10-悬框，Il-Y轴柔性机构，12-第一组悬框边，13-第二组悬框边，14-X轴向磁铁。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步说明。实施例I本实施例的带光源的微型扫描投影器件如图I 4所示包括外壳5和中心设有光源2的可动部件4，该可动部件4包括第一组侧边8和第二组侧边9，在所述可动部件4的第一组侧边8上设有Y轴向磁铁1，而在第二组侧边9上设有与外壳5相连接的X轴柔性机构7,在外壳内部6设有与Y轴向磁铁I相对应的第一组电磁圈61 ;所述两个Y轴向磁铁I的连线与两个X轴柔性机构7的连线垂直，且所述两个Y轴向磁铁I的连线与两个X轴柔性机构7的连线均通过光源2 ；为了能精确控制器件的运动，使扫描以及成像精度更高，所述第二组侧边9的任一边上设有角位移传感器3。为了使可动部件4转动角度和频率更大，所述可动部件4为PCB，所述PCB设有两层，在PCB第一层设有由内向外逐渐放大的线圈41，而在PCB第二层的一组侧边分别设置有一对Y轴向磁铁1，而另一组侧边的任一一边设有角位移传感器3，在所述PCB第二层的中部设有光源2。为了使Y轴向磁铁I更好的设置在可动部件4上，所述X轴向磁铁I粘接在可动部件4上，或者所述X轴向磁铁I为磁性材料通过电沉积、溅射的方式加在可动部件4上，或者所述X轴向磁铁I为永磁铁或者驱动臂通过键合、粘接在可动部件4上。具体实施时，通过控制电磁圈61中电流的强弱以及方向来控制Y轴向磁铁I的升降，且两块Y轴向磁铁I的相互作用使其在Y方向上作单向运动。这样带动可动部件4作二维运动，通过可动部件4的二维运动来带动光源2作二维运动，进行扫描或者成像，通过角度位移传感器3的反馈信号精确可动部件4的运动，使扫描以及成像精度更高。实施例2本实施例的带光源的微型扫描投影器件如图5 8所示包括外壳5和中心设有光源2的可动部件4，该可动部件包括4第一组侧边8和第二组侧边9，在所述可动部件4的第一组侧边8上设有Y轴向磁铁1，在第二组侧边9还连接有X轴柔性机构7 ;还包括Y轴柔性机构11以及悬框10，该悬框10包括第一组悬框边12和第二组悬框边13，所述Y轴柔性机构11 一端与悬框10的第一组悬框边12相接，另一端与外壳5相接；而所述X轴柔性机构7 —端与悬框10的第二组悬框边13相接，另一端与第二组侧边9相接；而所述悬框10的第二组悬框边13上设有X轴向磁铁14 ;在外壳内部6分别设有与Y轴向磁铁I和X轴向磁铁14相对应的第一组电磁圈61和第二组电磁圈62 ;所述两个Y轴向磁铁I的连线与两个X轴柔性机构7的连线垂直，且所述两个Y轴向磁铁I的连线与两个X轴柔性机构7的连线均通过光源2 ;所述两个X轴向磁铁14的连线与两个Y轴柔性机构11的连线垂直，且所述两个X轴向磁铁14的连线与两个Y轴柔性机构11的连线均通过光源2。为了能精确控制器件的运动，使扫描以及成像精度更高，所述第二组侧边9的两 边分别设有角位移传感器3。为了使可动部件4转动角度和频率更大，所述可动部件4为PCB，所述PCB设有两层，在PCB第一层设有由内向外逐渐放大的线圈41，而在在PCB第二层的一组侧边分别设置有一对X轴向磁铁1，而另一组侧边分别设有角位移传感器，在所述PCB第二层的中部设有光源2。为了使Y轴向磁铁I更好的设置在可动部件4上，所述X轴向磁铁I粘接在可动部件4上，或者所述X轴向磁铁I为磁性材料通过电沉积、溅射的方式加在可动部件4上，或者所述X轴向磁铁I为永磁铁或者驱动臂通过键合、粘接在可动部件4上。具体实施时，通过控制电磁圈61和电磁圈62中电流的强弱以及方向来分别控制Y轴向磁铁I和X轴向磁铁14的升降，且两块Y轴向磁铁I的相互作用使其在Y方向上作单向运动，两块X轴向磁铁14的相互作用使其在X方向上作单向运动。这样带动可动部件4作三维运动，通过可动部件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带光源的微型扫描投影器件，其特征在于:包括外壳和中心设有光源的可动部件，该可动部件包括第一组侧边和第二组侧边，在所述可动部件的第一组侧边上设有Y轴向磁铁，而在第二组侧边上设有与外壳相连接的X轴柔性机构，在外壳内部设有与Y轴向磁铁相对应的第一组电磁圈。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李长龙，周亮，陈巧，傅霖来，谢会开，
申请(专利权)人：无锡微奥科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：