【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种MEMS麦克风芯片，其特征在于：包括基底以及设置在所述基底上的平行板电容器，所述平行板电容器由一体设置的膜片、一体设置的极板以及设置在所述膜片和所述极板之间的隔离层构成，所述隔离层由两个以上的隔离圈单元构成，所述各隔离圈单元将所述膜片和所述极板隔离设置成两个以上的电容器单元，所述平行板电容器与所述各隔离圈单元相对的位置固定在所述基底上，所述基底设有两个以上的贯通孔，所述各贯通孔分别与所述电容器单元对应设置，所述极板上与所述电容器单元对应的位置分别设有极板孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡孟锦，孙德波，
申请(专利权)人：歌尔声学股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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