本发明专利技术涉及一种大气压等离子发生装置。所述大气压等离子发生装置包括：外壳；与所述外壳下部结合，下方形成等离子排出口的接地电极部；结合在所述外壳和所述接地电极部之间的绝缘部件；与所述绝缘部件下部结合，与所述接地电极部隔开配置，在所述接地电极部之间形成放电空间的分段射频电极；向所述分段射频电极供电的供电部。所述分段射频电极为圆柱形，设置在所述排出口的上部；邻接并与所述分段射频电极对向，且形成所述放电空间的所述接地电极部的放电面为长方形，通过所述放电空间的上部供给的气体在圆弧形的所述分段射频电极和长方形所述放电面之间所形成的所述放电空间上放电，并通过所述排出口喷射等离子。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种大气压等离子发生装置，尤其涉及一种在大气压下，提供稳定的低温辉光放电等离子，利用圆柱形的分段射频电极，可减少在大气压下发生等离子的消耗电力的大气压等离子发生装置。
技术介绍
现有的真空系统不需要大气压等离子，在大气压下，无反应室也可以在现有的生产线上使用，并可连续处理。为了产生大气压等离子，主要有如下技术介质阻挡放电、电晕放电、微波放电和电弧放电等。 上述技术广泛的应用在诸多产业领域，除了电弧放电以外，其他的技术大多用在半导体制造工程上。图I是以往技术的大气压介质阻挡放电装置的构成图。如图I所示，大气压等离子装置中的介质阻挡放电装置的构造如下在中心部配置分段射频电极2，在两侧配置有与所述分段射频电极2隔开的接地电极1，所述分段射频电极2和所述接地电极I相互隔开，其中间形成放电空间4。在所述分段射频电极2上连接供电部3，并供给电源，所述接地电极I与接地线连接。所述分段射频电极2和接地电极I之间的间距约为2至7毫米，所述分段射频电极2和所述接地电极I上涂有数十？？至数毫米的介质。在上述以往的大气压介质阻挡放电装置中，所述分段射频电极2和接地电极I之间流入氩等非活性气体及二氧化碳等工程气体，同时向所述分段射频电极2上负荷数千赫至数兆赫的电流电压，从而产生等离子。此时，因所述分段射频电极2与所述接地电极I之间的距离及所述分段射频电极2与所述接地电极I之间的气流，会对等离子发生电压及工程等离子的稳定化产生很大的影响。以往技术如图I所示，分段射频电极的截面为四方形，分段射频电极与接地电极面对面邻接。因其面对面邻接，电极面积较大，发生等离子所需的消耗电力则增大。另外，在同一电量条件下，电极面积越大，不易离子化的气体，则发生局部性的流光或漏气的可能性会更大。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种大气压等离子发生装置，使用圆柱形的分段射频电极，分按射频电极与接地电极非面对面邻接，而是线对线邻接，从而减小了放电的面积，随之降低了发生等离子的消耗电力，也使局部性流光及漏气的可能性减少，并可形成高密度的等离子。本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下提供一种大气压等离子装置，所述大气压等离子发生装置包括外壳；与所述外壳下部结合，下方形成等离子排出口的接地电极部；结合在所述外壳和所述接地电极部之间的绝缘部件；与所述绝缘部件下部结合，同时与所述接地电极部隔开配置，并在所述接地电极部之间形成放电空间的分段射频电极；向所述分段射频电极供电的供电部；及所述分段射频电极为圆柱形，设置在所述排出口的上部；邻接并与所述分段射频电极对向，且形成所述放电空间的所述接地电极部的放电面为长方形，通过所述放电空间的上部供给的气体在圆弧形的所述分段射频电极和长方形的所述放电面之间所形成的所述放电空间上放电，并通过所述排出口喷射等离子。 还包括连接在所述分段射频电极的两侧，使所述分段射频电极与所述接地电极隔开的绝缘性覆盖部件。所述覆盖部件为圆筒形，在下部形成所述分段射频电极及向下突出的固定棱，所述固定棱的上部安装支撑着所述分段射频电极，所述固定棱的下部与所述接地电极相接。在所述绝缘部件上向下开放形成圆柱形插入槽，可配置插入所述分段射频电极及所述覆盖部件，所述插入槽下部开放口的开放幅度要小于所述覆盖部件的直径及所述插 入槽的最大直径，所述覆盖部件的中心点配置在所述插入槽的内部。所述接地电极部以所述排出口为中心，分离成2个，所述覆盖部件在所述分段射频电极的两侧与两个所述接地电极的放电面相接，封闭所述排出口的两侧方向。在所述外壳上，形成第一吸气孔，在所述绝缘部件上形成与所述第一吸气孔连通的第二吸气孔，在所述绝缘部件和所述接地电极部之间形成将所述第二吸气孔和所述放电空间连通的气体引导空间。本专利技术的有益效果是本专利技术的大气压等离子发生装置，使用圆柱形的分段射频电极，分按射频电极与接地电极非面对面邻接，而是线对线邻接，从而减小了放电的面积，随之降低了发生等离子的消耗电力，也使局部性流光及漏气的可能性减少，并可形成高密度的等离子。此外，因分段射频电极的两侧结合有覆盖部件，从而隔开分段射频电极和接地电极，并形成放电空间，可防止分段射频电极和绝缘部件的脱离，并可防止气体及等离子不通过排出口、通过分段射频电极两侧排出。附图说明图I是以往技术的大气压介质阻挡放电装置的结构 图2是本专利技术实施方式的大气压等离子发生装置的立体 图3是本专利技术实施方式的大气压等离子发生装置的侧面 图4是本专利技术实施方式的大气压等离子发生装置的一方向分解立体 图5是本专利技术实施方式的大气压等离子发生装置的另一方向分解立体 图6是图2沿A-A方向的截面 图7(a)是本专利技术实施方式的大气压等离子发生装置中分段射频电极与覆盖部件结合状态的立体图一； 图7(b)是本专利技术实施方式的大气压等离子发生装置中分段射频电极与覆盖部件结合状态的立体图二。具体实施方式图2是本专利技术实施方式的大气压等离子发生装置的立体图；图3是本专利技术实施方式的大气压等离子发生装置的侧面图；图4是本专利技术实施方式的大气压等离子发生装置的一方向分解立体图；图5是本专利技术实施方式的大气压等离子发生装置的另一方向分解立体图；图6是图2沿A-A方向的截面图；图7(a)是本专利技术实施方式的大气压等离子发生装置中分段射频电极与覆盖部件结合状态的立体图一；图7(b)是本专利技术实施方式的大气压等离子发生装置中分段射频电极与覆盖部件结合状态的立体图二。如图2至图7(b)所示，本专利技术的大气压等离子发生装置包括外壳10、绝缘部件20、接地电极部30、分段射频电极40及供电部50、覆盖部件60等。在外壳10的下部凹槽处形成流入发生等离子气体的第一吸气孔11 。第一吸气孔11由有至少两个形成，向上贯通外壳10的上面。在外壳10的下部底面靠近凹槽处侧壁的两侧纵向形成向下突出的插入棱12，第一吸气孔11向上贯通插入棱12。绝缘部件20凹进，并插入安装在外壳10的下部，上述绝缘部件20的上面形成可安装插入棱12的分配槽22，在分配槽22上配置有向上形成的、至少两个的分配板23。插入棱12固定在分配槽22中，所以绝缘部件20和外壳10的组装更加简易，可最大程度减少分配槽22所流入的气体通过绝缘部件20和外壳10之间流出。在绝缘部件20上形成上下贯通的第二吸气孔21，第二吸气孔21在分配槽22的下部形成，并与第一吸气孔11连通。在绝缘部件20上，向下开放形成圆柱形插入槽25，插入槽25内可插入配置分段射频电极40及覆盖部件60。插入槽25下方开放的开放口 26的开放幅度(W)要小于插入槽25最大的直径。也就是说，插入槽25的截面为圆形，开放口 26形成在插入槽25直径更下方的位置。因此，开放口 26的开放幅度要小于插入槽25最大的直径。在绝缘部件20的两侧，向着第二吸气孔21的两侧突出形成间隙棱27。间隙棱27如后述，在绝缘部件20及接地电极部30之间形成气体引导空间35。接地电极部30与外壳10的下部结合，为向下排出等离子，形成排出口 36。排出口 36沿分段射频电极40的纵向形成，可大面积的喷射等离子。在接地电极部30的上面与绝缘部件20的间隙棱27相接，在绝缘部件20与接地电极部30之间，形成与第二吸气孔21连通的气体引导空间35本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种大气压等离子装置，其特征在于：所述大气压等离子发生装置包括：外壳；与所述外壳下部结合，下方形成等离子排出口的接地电极部；结合在所述外壳和所述接地电极部之间的绝缘部件；与所述绝缘部件下部结合，同时与所述接地电极部隔开配置，并在所述接地电极部之间形成放电空间的分段射频电极；向所述分段射频电极供电的供电部；及所述分段射频电极为圆柱形，设置在所述排出口的上部；邻接并与所述分段射频电极对向，且形成所述放电空间的所述接地电极部的放电面为长方形，通过所述放电空间的上部供给的气体在圆弧形的所述分段射频电极和长方形的所述放电面之间所形成的所述放电空间上放电，并通过所述排出口喷射等离子。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朴钟仁，
申请(专利权)人：株式会社Biemt，
类型：发明
国别省市：
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