显示装置和显示装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种显示装置及其制造方法，能够提高TFT基板的可靠性。本发明专利技术的显示装置的特征在于，包括：与配置在基板上的多根数据线和多根栅极线的交点分别对应地配置的多个像素；配置在上述基板上的第一绝缘膜；在上述第一绝缘膜的上层与上述第一绝缘膜的至少一部分接触配置的、材质与上述第一绝缘膜不同的第二绝缘膜；在上述第二绝缘膜上与上述多个像素分别对应地配置的、在侧部配置有第三绝缘膜的多个MEMS快门；和对上述多根栅极线和上述多根数据线供给电位的多个端子，上述多个端子从配置在上述多个端子的上部的上述第一绝缘膜和上述第二绝缘膜的开口部接受上述电位的供给。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使用机械快门的。
技术介绍
近年来，一种使用机械快门的显示装置逐渐受到关注，这种机械快门(下称“MEMS快门”)应用了 MEMS (Micro Electro Mechanical Systems,微电子机械系统)技术。使用MEMS快门的显示装置(下称“MEMS显示装置”)指的是，对于按每个像素设置的MEMS快门，通过使用TFT高速开闭该快门而控制透过快门的光的量，进行图像的明暗的调整的显示装置(例如，参照专利文献I “日本特开2008-197668号公报”)。MEMS显示装置的主流采用的是 时间灰阶方式，通过依次切换来自红色、绿色和蓝色的LED背光源的光而进行图像的显示。因此，MEMS显示装置的特征在于，不需要液晶显示装置中使用的偏振膜和彩色滤光片等，与液晶显示装置相比，背光源的光的使用效率为大约10倍，而耗电量则为1/2以下，并且色彩还原性优异。MEMS显示装置中，在基板上形成有TFT，构成用于驱动MEMS快门的开关元件，以及驱动开关元件的栅极驱动器和数据驱动器。在基板上还同时形成有用于从外部向TFT供给信号的端子。通常来说，在MEMS显示装置中，在形成有TFT和端子的TFT基板上形成用于覆盖TFT和端子的钝化膜(passivation flm,绝缘膜)，在该钝化膜上形成MEMS快门。MEMS快门的与端子电连接的部分以外被绝缘膜覆盖。此时，因为MEMS快门的可动部具有中空结构，为了在可动部的侧部和下部也形成绝缘膜，在形成了 MEMS快门的TFT基板的整个面上利用CVD (Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积)法等形成绝缘膜。之后,在TFT基板上贴合对置基板。对于形成在TFT基板上的端子，由于需要从外部供给信号，因此以对置基板不覆盖端子上部的方式将TFT基板与对置基板贴合。为了从外部对形成在TFT基板上的端子供给信号和电源，需要除去端子上的绝缘膜以使端子露出。这样的绝缘膜能够通过光刻工艺和蚀刻工艺的组合等除去。但是，作为钝化膜的上述下层的绝缘膜和覆盖形成在该下层绝缘膜上的MEMS快门的上层的绝缘膜，出于包覆性和绝缘性优良的观点考虑，多使用相同的氮化膜，因此难以进行蚀刻以仅除去上层的绝缘膜并使下层的绝缘膜保留足够的膜厚。当蚀刻进行至下层绝缘膜时，形成在TFT基板上的配线露出，可能会导致绝缘不良或导通不良。于是，本专利技术鉴于上述问题，提供一种显示装置及其制造方法，能够在抑制保护TFT基板的表面的绝缘膜的膜厚损耗(膜厚损失)的同时，除去端子上的绝缘膜，实现TFT基板的可靠性的提高。
技术实现思路
根据本专利技术的一实施方式，提供一种显示装置，其特征在于，包括与配置在基板上的多根数据线和多根栅极线的交点分别对应地配置的多个像素；配置在上述基板上的第一绝缘膜；在上述第一绝缘膜的上层与上述第一绝缘膜的至少一部分接触配置的第二绝缘膜，上述第二绝缘膜的材质与上述第一绝缘膜不同；在上述第二绝缘膜上与上述多个像素分别对应地配置的多个MEMS快门，上述多个MEMS快门在侧部配置有第三绝缘膜；和对上述多根栅极线和上述多根数据线供给电位的多个端子，上述多个端子从配置在上述多个端子的上部的上述第一绝缘膜和上述第二绝缘膜的开口部接受上述电位的供给。上述第二绝缘膜可以具有与上述第一绝缘膜和上述第三绝缘膜不同的蚀刻速率。上述MEMS快门可以包括具有开口部的快门、与上述快门连接的第一弹簧、与上述第一弹簧连接的第一锚固部、第二弹簧和与上述第二弹簧连接的第二锚固部，可以利用上述第一锚固部与上述第二锚固部间的电位差，对上述第一弹簧和上述第二弹簧进行静电驱动。上述MEMS快门可以具有与上述MEMS快门分别对应地连接的开关元件，上述第一锚固部与上述第二锚固部间的电位差可以由上述开关元件供给。显示装置可以还包括与上述基板接合的具有透光部的对置基板；和与上述对置 基板相对配置的背光源，可以使从上述背光源供给的光从上述快门的上述开口部与上述对置基板的上述透光部重合的部分透过。此外，根据本专利技术的一实施方式，提供一种显示装置的制造方法，其特征在于，包括以下步骤在基板上形成多个开关元件和多个端子，在上述多个开关元件和上述多个端子上形成第一绝缘膜，对上述多个端子上上述第一绝缘膜进行蚀刻以使上述多个端子的一部分露出，在上述第一绝缘膜上，形成作为材质与上述第一绝缘膜不同的膜的第二绝缘膜，对上述多个端子上的上述第二绝缘膜进行蚀刻，使上述多个端子的一部分露出，在上述第二绝缘膜上形成由上述多个开关元件分别驱动的多个MEMS快门，其中上述MEMS快门包括具有开口部的快门、与上述快门连接的第一弹簧、与上述第一弹簧连接的第一锚固部、第二弹簧和与上述第二弹簧连接的第二锚固部，在上述多个MEMS快门和上述多个端子上形成第三绝缘膜，对上述多个端子上的上述第三绝缘膜进行蚀刻，使上述多个端子的一部分露出。此外，根据本专利技术的一实施方式，提供一种显示装置的制造方法，其特征在于，包括以下步骤在基板上形成多个开关元件和多个端子，在上述多个开关元件和上述多个端子上形成第一绝缘膜，在上述第一绝缘膜上，形成作为材质与上述第一绝缘膜不同的膜的第二绝缘膜，对上述多个端子上的上述第一绝缘膜和上述第二绝缘膜进行蚀刻，使上述多个端子的一部分露出，在上述第二绝缘膜上形成由上述多个开关元件分别驱动的多个MEMS快门，其中上述MEMS快门包括具有开口部的快门、与上述快门连接的第一弹簧、与上述第一弹簧连接的第一锚固部、第二弹簧和与上述第二弹簧连接的第二锚固部，在上述多个MEMS快门和上述多个端子上形成第三绝缘膜，对上述多个端子上的上述第三绝缘膜进行蚀亥IJ，使上述多个端子的一部分露出。此外，根据本专利技术的一实施方式，提供一种显示装置的制造方法，其特征在于，包括以下步骤在基板上形成多个开关元件和多个端子，在上述多个开关元件和上述多个端子上形成第一绝缘膜，对上述多个端子上的上述第一绝缘膜进行蚀刻，使上述多个端子的一部分露出，在上述第一绝缘膜上，形成作为材质与上述第一绝缘膜不同的膜的第二绝缘膜，在上述第二绝缘膜上形成由上述多个开关元件分别驱动的多个MEMS快门，其中上述MEMS快门包括具有开口部的快门、与上述快门连接的第一弹簧、与上述第一弹簧连接的第一锚固部、第二弹簧和与上述第二弹簧连接的第二锚固部，在上述多个MEMS快门和上述多个端子上形成第三绝缘膜，对上述多个端子上的上述第二绝缘膜和上述第三绝缘膜进行蚀亥IJ，使上述多个端子的一部分露出。上述第二绝缘膜可以使用具有与上述第一绝缘膜和上述第三绝缘膜不同的蚀刻速率的成膜材料形成。上述第二绝缘膜可以形成为由多个层构成的叠层结构。上述第一绝缘膜和上述第三绝缘膜可以是使用CVD法形成的硅氮化膜。 可以与上述基板上的形成有上述多个开关元件的面相对地，利用密封部件接合对置基板。附图说明图I是表示本专利技术的一个实施方式的显示装置的图，Ca)是显示装置的立体图，(b)是显示装置的俯视图。图2是本专利技术的一个实施方式的显示装置的电路框图。图3是表示本专利技术的一个实施方式的显示装置中使用的MEMS快门的结构的图。图4是表示本专利技术的一个实施方式的显示装置中使用的MEMS快门的结构的图。图5是表示与本专利技术的一个实施方式的显示装置对比的一般的显示装置的显示部和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示装置，其特征在于，包括：与配置在基板上的多根数据线和多根栅极线的交点分别对应地配置的多个像素；配置在所述基板上的第一绝缘膜；在所述第一绝缘膜的上层与所述第一绝缘膜的至少一部分接触配置的第二绝缘膜，所述第二绝缘膜的材质与所述第一绝缘膜不同；在所述第二绝缘膜上与所述多个像素分别对应地配置的多个MEMS快门，所述多个MEMS快门在侧部配置有第三绝缘膜；和对所述多根栅极线和所述多根数据线供给电位的多个端子，所述多个端子从配置在所述多个端子的上部的所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜的开口部接受所述电位的供给。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：栗谷川武，
申请(专利权)人：株式会社日立显示器，
类型：发明
国别省市：