【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆。
技术介绍
在A1203单晶晶棒(蓝宝石)用生长炉中籽晶杆用来夹持籽晶,但是现有籽晶杆装置具有结构复杂,不易于安装的问题。在籽晶固定具有籽晶固定不牢固,以及籽晶用定位 销固定,出炉后不易取下籽晶的问题,由于籽晶杆在晶体生长过程中摆动对晶体生长质量产生了极大的影响。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种为获得高质量的A1203单晶晶棒(蓝宝石)提供了支持的蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆。上述的目的通过以下的技术方案实现一种蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆,其组成包括实心上籽晶杆,所述的实心上籽晶杆连接联接杆,所述的联接杆插入空心下籽晶杆内,所述的联接杆前端部与所述的空心下籽晶杆前端部之间装有弹簧,所述的联接杆连接下腔结构,所述的联接杆尾部具有籽晶安装孔。所述的蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆,所述的下腔结构一端位于所述的空心下籽晶杆的空腔内,所述的联接杆与所述的空心下籽晶杆之间装有轴承。有益效果I.本技术解决了现有籽晶杆装置结构复杂、不易于安装的问题,同时克服了现有技术中籽晶固定不牢固的问题,以及籽晶用定位销固定,出炉后不易取下籽晶的问题,同时防止了籽晶杆在晶体生长过程中摆动对晶体生长质量的影响。本技术的籽晶杆在使用时热变形小,密封性好,对中性强,转动平稳不摆动。附图说明附图I是本产品的结构示意图。具体实施方式实施例I :一种蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆,其组成包括实心上籽晶杆7,所述的实心上籽晶杆连接联接杆5,所述的联接杆插入空心下籽晶杆I内,所述的联接杆前端部与所述的空心下籽晶杆前端部之间装有弹簧6,所述的联接杆连接下腔结 ...
【技术保护点】
一种蓝宝石单晶晶棒生长炉的籽晶杆,其组成包括:?实心上籽晶杆,其特征是:?所述的实心上籽晶杆连接联接杆,?所述的联接杆插入空心下籽晶杆内,?所述的联接杆前端部与所述的空心下籽晶杆前端部之间装有弹簧,所述的联接杆连接下腔结构,?所述的联接杆尾部具有籽晶安装孔。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:徐雳,石连升,肖飞,
申请(专利权)人:哈尔滨晶石光电技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。