生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置。Al2O3蓝宝石单晶晶棒生长炉水冷电极装置用于生长炉中提供晶体生长所需的热场，电极连接进水管和出水管，上面两个接口为出水口，下面接口为进水口，但是现有电极由于结构复杂不易安装维护，同时形成的热场轴向不够对称，无法满足晶体生长的最佳条件。一种生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置，其组成包括:由两个空芯的环状导电体上下排列构成生长炉的两个电极，所述的电极（2）焊接直立式空芯导电长管柱构成进水口（1），所述的电极焊接直立式空芯导电短管柱构成出水口(3)，所述的出水口连接电极接盖盘（4），所述的进水口连接电极接盖盘。本实用新型专利技术用于生长蓝宝石单晶晶棒。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置。
技术介绍
A1203蓝宝石单晶晶棒生长炉水冷电极装置用于生长炉中提供晶体生长所需的热场，电极连接进水管和出水管，上面两个接口为出水口，下面接口为进水口，但是现有电极由于结构复杂不易安装维护，同时形成的热场轴向不够对称，无法满足晶体生长的最佳条件。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种安装维护方便的生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置。上述的目的通过以下的技术方案实现一种生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置，其组成包括由两个空芯的环状导电体上下排列构成生长炉的两个电极，所述的电极焊接直立式空芯导电长管柱构成进水口，所述的电极焊接直立式空芯导电短管柱构成出水口，所述的出水口连接电极接盖盘，所述的进水口连接电极接盖盘。所述的生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置，所述的进水口与所述的电极接盖盘下槽相通，所述的出水口与所述的电极接盖盘下槽相通。所述的生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置，所述的电极接盖盘下槽由隔离的加热钨丝经空间排列组成，所述的电极接盖盘下槽连接所述的电极的环。有益效果I.本技术采用的水冷电极具有安装维护方便，形成的热场轴向完全对称，以形成最佳的晶体生长条件。2.本技术采用的电极结构由于具有对称性，能够产生轴向对称热场，并接结构简单可靠，能够提供蓝宝石晶体生长的最佳条件。附图说明附图I是本产品的结构示意图。附图2是附图I的俯视图。具体实施方式实施例I :一种生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置，其组成包括由两个空芯的环状导电体上下排列构成生长炉的两个电极，所述的电极2焊接直立式空芯导电长管柱构成进水口 1，所述的电极焊接直立式空芯导电短管柱构成出水口 3，所述的出水口连接电极接盖盘4，所述的进水口连接电极接盖盘。接盖盘的材料是紫铜。实施例2 实施例I所述的生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置，所述的进水口与所述的电极接盖盘下槽相通，所述的出水口与所述的电极接盖盘下槽相通。实施例3 实施例I或2所述的生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置，所述的电极接盖盘下槽由隔离的加热钨丝经空间排列组成，所述的电极接盖盘下槽连接所述的电极的环。实施例4 上述实施例所述的生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置，采用两个空芯的环状导电体上下排列构成生长炉的两个电极，每个电极上焊接两个直立式空芯导电管柱，用于进水和出水，进出水口分别与两个电极接盖盘下槽相通，其中两个电极接盖盘槽是隔离的加热钨丝经空间排列后两头分别安装于上下两个空芯水冷电极的环上，通电后提供晶体生长所需要的热场；该水冷电极具有安装维护方便，形成的热场轴向完全对称，以形成最佳的晶体生长条件。工作过程采用两个空芯的环状导电体上下排列构成生长炉的两个电极，每个电极上焊接两 个直立式空芯导电管柱，用于进水和出水，进水口、出水口分别与两个电极接盖盘下槽相通，其中两个电极接盖盘槽是隔离的加热钨丝经空间排列后两头分别安装于上下两个空芯水冷电极的环上。权利要求1.一种生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置，其组成包括由两个空芯的环状导电体上下排列构成生长炉的两个电极，其特征是所述的电极焊接直立式空芯导电长管柱构成进水口，所述的电极焊接直立式空芯导电短管柱构成出水口，所述的出水口连接电极接盖盘，所述的进水口连接电极接盖盘。2.根据权利要求I所述的生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置，其特征是所述的进水口与所述的电极接盖盘下槽相通，所述的出水口与所述的电极接盖盘下槽相通。3.根据权利要求I或2所述的生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置，其特征是所述的电极接盖盘下槽由隔离的加热钨丝经空间排列组成，所述的电极接盖盘下槽连接所述的电极的环。专利摘要生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置。Al2O3蓝宝石单晶晶棒生长炉水冷电极装置用于生长炉中提供晶体生长所需的热场，电极连接进水管和出水管，上面两个接口为出水口，下面接口为进水口，但是现有电极由于结构复杂不易安装维护，同时形成的热场轴向不够对称，无法满足晶体生长的最佳条件。一种生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置，其组成包括:由两个空芯的环状导电体上下排列构成生长炉的两个电极，所述的电极(2)焊接直立式空芯导电长管柱构成进水口(1)，所述的电极焊接直立式空芯导电短管柱构成出水口(3)，所述的出水口连接电极接盖盘(4)，所述的进水口连接电极接盖盘。本技术用于生长蓝宝石单晶晶棒。文档编号C30B29/20GK202558964SQ201220179999公开日2012年11月28日 申请日期2012年4月26日 优先权日2012年4月26日专利技术者石连升, 徐雳 申请人:哈尔滨晶石光电技术有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种生长蓝宝石单晶晶棒用电极装置，其组成包括:由两个空芯的环状导电体上下排列构成生长炉的两个电极，其特征是:？所述的电极焊接直立式空芯导电长管柱构成进水口，所述的电极焊接直立式空芯导电短管柱构成出水口，所述的出水口连接电极接盖盘，所述的进水口连接电极接盖盘。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：石连升，徐雳，
申请(专利权)人：哈尔滨晶石光电技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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