光学检测装置以及具有光学检测装置的阵列测试装置制造方法及图纸

本文公开一种光学检测装置以及一种具有所述光学检测装置的阵列测试装置。本发明专利技术可以简化用于调整光学系统放大率的结构，并且防止在调整光学系统放大率时产生外来杂质，从而防止外来杂质污染光学系统或玻璃面板。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种测试和测量玻璃面板的光学检测装置，以及一种具有所述光学检测装置的阵列测试装置。
技术介绍
一般来说，平板显示器(FPD)是比具有布劳恩管(Braun Tube)的电视机或显示器更轻更薄的图像显示设备。液晶显示器(IXD)、等离子体显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)是已开发并使用的平板显示器的代表性实例。这些Fro中的IXD是以向排列为矩阵形状的液晶单元独立地提供基于图像信息的数据信号来控制液晶单元的透光性的方式，来显示期望图像的图像显示器。IXD薄且轻，而 且还具有包括功耗低和操作电压低在内的许多其它优点，因此被广泛地使用。在典型用在这种LCD中的液晶面板的制造过程中，测试具有薄膜晶体管(TFT)和像素电极的基板(下文中称为“玻璃面板”)是否有缺陷的操作，是通过例如检查栅极线或数据线是否断开或者检查像素单元是否显色不佳来实现的。典型地，阵列测试装置用于测试玻璃面板。阵列测试装置包括测试玻璃面板的测试单元、将玻璃面板加载到测试单元上的加载单元、以及从测试单元卸载玻璃面板的卸载单元。此外，测试单元包括光学检测装置，所述光学检测装置检测玻璃面板的外观缺陷，诸如玻璃面板P上所形成的电路图案中的缺陷或表面缺陷。光学检测装置包括具有多个透镜的光学系统、以及拍摄经过光学系统的玻璃面板图像的摄像单元。优选的是，光学检测装置配置为使得光学系统的放大率可以在尽可能大的范围内变化，以便能够以希望的分辨率检测玻璃面板。具体而言，为了找到待检测玻璃面板整个区域中的希望部分、并放大所述希望部分以便能以高分辨率检测所述希望部分，需要不仅以低放大率而且以高放大率将玻璃面板投射到摄像单元的光学系统。为此，可以利用将面向玻璃面板放置的物镜更换成另一个物镜的方法、或利用将放置在物镜与摄像单元之间的镜筒透镜更换成另一个镜筒透镜的方法。然而，这些方法具有的缺点是连接至物镜或镜筒透镜的驱动单元的结构复杂。此外，驱动单元操作时会产生外来杂质，污染光学系统或玻璃面板。
技术实现思路
因此，本专利技术针对以上在现有技术中产生的问题，并且本专利技术的目的是提供一种光学检测装置，所述光学检测装置可以简化用于调整光学系统放大率的结构，并且防止在调整光学系统放大率时产生外来杂质，从而防止外来杂质污染光学系统或玻璃面板；以及本专利技术还提供一种具有所述光学检测装置的阵列测试装置。为了实现以上的目的，一方面，本专利技术提供一种光学检测装置，包括物镜，其设置为面向玻璃面板；多个镜筒透镜，经过物镜的光进入所述镜筒透镜，所述镜筒透镜具有不同的放大率；摄像单元，其拍摄经过镜筒透镜之一的光的图像；以及切换单元，其在光进入镜筒透镜所沿的路径之间选择性地切换光的路径，以使经过物镜的光进入镜筒透镜中选定的一个。另一方面，本专利技术提供一种光学检测装置，包括；物镜，其设置为面向玻璃面板；多个镜筒透镜，经过物镜的光进入所述多个镜筒透镜，所述镜筒透镜具有不同的放大率；摄像单元，其拍摄经过镜筒透镜的多条光线中的一条光线的图像；以及切换单元，其在所述多条光线进入摄像单元所沿的路径之间切换光的路径，以使经过镜筒透镜中选定的一个镜筒透镜的光进入摄像单元。在根据本专利技术的光学检测装置中，可以通过移动阻光构件的简单操作来控制进入摄像单元的光的放大率。因此，与被迫使用另一个物镜或镜筒透镜替换原物镜或镜筒透镜来控制图像放大率的常规光学检测装置相比，可以简化光学检测装置的构造，并且可以为控制图像放大率的操作提供便利。此外，根据本专利技术的光学检测装置可以包括多个透光变换单元，每个透光变换单 元在被供电时进入能够使光透过所述透光转换单元的第一状态，而在供电中断时进入阻止光透过所述透光变换单元的第二状态。在此情况下，可以通过为从这些透光变换单元中选定的一个透光变换单元供电而中断对其余透光变换单元的供电，容易地控制摄像单元所拍摄的图像的放大率。因此，不需要必需移动部件来控制摄像单元所拍摄的图像的放大率的结构，因此，防止由于部件的移动或用于移动部件的装置的操作而产生外来杂质，从而防止外来杂质污染光学系统或玻璃面板。附图说明由以下结合附图的详细描述，可以更加清晰地理解本专利技术前述的和其它的目的、特征和优点，其中图I是示出根据本专利技术的具有光学检测装置的阵列测试装置的立体图；图2是示出根据本专利技术第一实施方式的光学检测装置的立体图；图3是图2的光学检测装置的示意图；图4是示出图2的光学检测装置的切换单元的立体图；图5和图6是示出图2的光学检测装置的操作的视图；图7和图8是示出根据本专利技术第二实施方式的光学检测装置的示意图；图9是示出根据本专利技术第三实施方式的光学检测装置的示意图；图10和图11是示出图9的光学检测装置的透光变换单元的示例的示意图；以及图12是示出根据本专利技术第四实施方式的光学检测装置的示意图。具体实施例方式下文，将结合附图详细描述根据本专利技术的光学检测装置以及具有光学检测装置的阵列测试装置的优选实施方式。根据本专利技术的阵列测试装置包括底座框架10、加载玻璃面板P的加载单元30、测试由加载单元30加载的玻璃面板P的测试单元20、以及将已经由测试单元20测试的玻璃面板P从加载单元30卸载的卸载单元40。测试单元20测试玻璃面板P的电缺陷。测试单元20包括透光支撑件21、测试模块22、探针组件23和控制单元(未示出)。由加载单元30加载的玻璃面板P放置在透光支撑件21上。测试模块22测试放置在透光支撑件21上的玻璃面板P的电缺陷。探针组件23向放置在透光支撑件21上的玻璃面板P的电极施加电信号。控制单元控制测试模块22和探针组件23。此外，测试模块支撑框架223设置在透光支撑件21的上方，并且沿Y轴方向延伸预定长度。测试模块22设置在测试模块支撑框架223上，以便能够沿Y轴方向移动。测试模块22可以包括多个测试模块，这些测试模块沿着测试模块支撑框架223延伸的方向(Y轴方向)设置在测试模块支撑框架223上。这些测试模块22设置在置于透光支撑件21上的玻璃面板P的上方，并且测试玻璃面板P的电缺陷。每个测试模块22包括靠近放置在透光支撑件21上的玻璃面板P的调制器221、以及拍摄调制器221的图像的摄像单元222。阵列测试装置分类为光反射型和光透射型。在反射型中，光源与测试模块22设置在一起，并且测试模块22的调制器221上设置有反射层(未示出)。这样，通过在光源发出 的光进入调制器221之后测量由调制器221的反射层所反射的光量，来确定玻璃面板P是否有缺陷。测试单元20分类为包括光反射型和光透射型这两种类型。在反射型中，光源与测试模块22设置在一起，并且透光支撑件21上设置有反射层。这样，通过在光源发出的光被透光支撑件21的反射层反射之后测量透过调制器221的光量，来确定玻璃面板P是否有缺陷。在透射型中，光源设置在透光支撑件21下方。通过在光从光源发出之后测量透过调制器221的光量，来确定玻璃面板P是否有缺陷。根据本专利技术的阵列测试装置或可采用光反射型或可采用光透射型。此外，测试单元20可以进一步包括光学检测装置70，光学检测装置70检测玻璃面板P是否有外观缺陷，例如玻璃面板P上所形成的电路图案的缺陷或表面缺陷。光学检测装置70设置在测试模块22上，并且与测试模块22 —起沿Y轴方向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学检测装置，包括：物镜，所述物镜设置为面向玻璃面板；多个镜筒透镜，经过所述物镜的光进入所述镜筒透镜，所述镜筒透镜具有不同的放大率；摄像单元，所述摄像单元拍摄经过所述镜筒透镜之一的光的图像；以及切换单元，所述切换单元在光进入所述镜筒透镜所沿的路径之间选择性地切换光的路径，以使经过所述物镜的光进入所述镜筒透镜中选定的一个。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：潘俊浩，郑东贤，李宁郁，
申请(专利权)人：塔工程有限公司，
类型：发明
国别省市：