加热炉制造技术

本实用新型专利技术的课题在于，提供一种能够降低伴随着炉宽扩大而引起的炉宽度方向的温度不均匀的加热炉。其解决方法如下，在使多个具有发热部(51)和非发热部(52b)的棒状SiC加热器(5)在炉宽度方向上贯通炉壁而配置于炉长尺寸方向上的加热炉中，在配置在炉长尺寸方向上的多个棒状SiC加热器(5)之间具备保持在一侧的炉壁(4)从而对该内壁面7附近进行加热的辅助加热器(9)。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种加热炉的炉内加热器配置结构。
技术介绍
作为电子部件用粉体的烧成技术已知的是，将粉末原料容纳于称为匣钵的耐热容器内，并在高温加热炉内搬送的同时以高温进行热处理的方法。该加热处理方法中，从防止炉内污染的观点来看，多使用陶制加热器，特别是棒状SiC加热器(专利文献I)。关于该棒状SiC加热器的炉内配置，以前从避免棒状SiC加热器贯通的炉壁的内壁面侧发生加热器过度加热以及与此相伴的加热器老化的观点出发，如图5所示，采用调整棒状加热器的发热部的位置使其与内壁面相隔50_左右的方法。可以看到原本炉壁附 近的温度由于从炉壁的放热而有降低的倾向，但是如果采用以上所述的棒状加热器的发热部配置，则可观察到内壁附近的温度降低更加显著的现象。特别地，近年来，为了提高炉的生产率，存在扩大炉宽的倾向。与此相伴，出现了炉宽度方向上的温度不均匀的情况变严重，发生被烧成物的品质不均匀的问题。现有技术文献专利文献I :特开2009-103331号公报
技术实现思路
技术要解决的课题本技术的目的在于解决上述的问题，提供一种能够降低伴随着炉宽扩大所引起的炉宽度方向上的温度不均匀的加热炉。解决课题的方法为解决上述课题而提出的本技术的方案I的加热炉，使多个具有发热部和非发热部的棒状SiC加热器在炉宽度方向上贯通炉壁而配置在炉长尺寸方向上，其特征在于，在炉长尺寸方向上配置的多个棒状SiC加热器之间，具备保持在一侧的炉壁上从而对该内壁面附近进行加热的辅助加热器。以方案I的加热炉为基础的方案2的技术，其特征在于，在该棒状SiC加热器贯通的炉壁的内壁面侧形成有切槽部，该棒状SiC加热器中，使切槽部内成为非发热部、使从内壁面到炉内侧成为发热部。以方案I或方案2的加热炉为基础的方案3的技术，其特征在于，将辅助加热器在炉长尺寸方向上与该棒状SiC加热器交替配置。以方案1-3任一方案所述的加热炉为基础的方案4的技术，其特征在于，辅助加热器具有棒状，从炉壁突出的突出部为炉宽的1/20-1/5。以方案1-3任一方案所述的加热炉为基础的方案5的技术，其特征在于，辅助加热器具有2字状。技术效果以前从避免SiC加热器贯通的炉壁的内壁面侧发生加热器过度加热以及与此相伴的加热器老化的观点出发，如图5所示，采用了调整加热器的发热部的位置使其与内壁面相隔50mm左右的方法，而该结构会引起内壁面附近出现炉内温度降低的现象，但本技术的加热炉结合了如下结构，由此避免了现有技术中内壁附近发生炉内温度降低的现象，所述结构为，在炉宽度方向上贯通炉壁而配置的加热炉具备保持在一侧的炉壁而对内壁面附近进行加热的辅助加热器的结构。S卩，根据本技术，能够避免现有的内壁附近发生炉内温度降低的现象，因此，即使在以炉的生产率提高为目的而扩大炉宽的情况下，也能够有效控制炉宽度方向的温度不均匀的现象。此外，进ー步地，如果在棒状SiC加热器贯通的炉壁的内壁面侧形成切槽部，该棒状SiC加热器还具备使切槽部内成为非发热部、使内壁面到炉内侧成为发热部的结构，根据该结构，能更有效控制炉宽度方向的温度不均匀的现象。附图说明图I是本实施方案的加热炉的炉宽度方向放大剖面图。图2是图I的沿A-A线的剖面图。图3是图I的沿A-A线的剖面图。(关于辅助加热器的其他实施方案)图4是使用在本实施方案的加热炉的棒状SiC加热器的构成说明图和炉内温度分布图。图5是使用在现有技术的加热炉的棒状SiC加热器的构成说明图和炉内温度分布图。具体实施方案以下，对本技术的优选实施方案进行说明。图I示出了表示本实施方案的加热炉的炉宽度方向的放大剖面图。本实施方案的加热炉是辊道窑，炉体I是众所周知的隧道结构，在其内部以一定间距配置有多个搬送用的棍子2。各棍子2是高温強度优秀的Si-SiC制品，并通过设置在炉外的驱动装置以一定速度被驱动。此外Si-SiC是含浸Si的致密的SiC，在1300°C下具有250MN/m2的高强度。另外其材质还具有优秀的耐蠕变性、抗氧化性、红外线放射性。作为被烧成物的粉体容纳于陶制的匣钵3，排列多个匣钵3的状态下搬送到棍子2上，并在500-1200°C下进行热处理。在炉内6的上部和下部，分别在炉宽度方向上贯通炉壁4而配置有棒状SiC加热器5。另外，如图2所示，在炉长尺寸方向上交替配置有该棒状SiC加热器5和辅助加热器9。从棒状SiC加热器5的炉壁突出的突出部，当小于炉宽的1/20吋，无法取得用于辅助壁面温度的加热输出，当超过炉宽的1/5时，辅助加热器可能会对炉的中心部分的温度容易变高的区域产生影响，因此，优选从棒状SiC加热器5的炉壁突出的突出部为炉宽的1/20-1/5。但是，只要辅助加热器保持在一侧的炉壁4从而具有加热该炉壁4附近的功能就可以，本实施方案中，使用了棒状辅助加热器9，但辅助加热器9的形状等无特别限制，例如，也可使用如图3所示的-字状。如图4所示，棒状SiC加热器5具有用于进行发热的发热部51、和不进行发热的非发热部52b。在炉壁4的内壁面7侧形成有锥体形状的切槽部8，棒状SiC加热器5中，使切槽部内成为非发热部52b、使从内壁面7到炉内6侧成为发热部51。以前从避免SiC加热器贯通的炉壁4的内壁面7侧发生加热器过度加热以及与此相伴的加热器老化的观点出发，如图5所示，采用了调整棒状加热器5的发热部51的位置使其与内壁面7相隔50mm左右的方法，而由于该结构会引起内壁面7附近出现炉内温度降低的现象，但本技术的加热炉结合了如下结构，由此可避免了现有技术中内壁附近发生炉内温度降低的现象，所述结构为，在炉宽度方向上贯通炉壁而配置的加热炉具备保持 在一侧的炉壁而对内壁面附近进行加热的辅助加热器的结构。本实施方案中，通过结合如下两个结构，从而能更有效避免该现象，所述两个结构分别为在棒状SiC加热器5贯通的 炉壁4的内壁面7侧形成切槽部8，并使配置在棒状SiC加热器的切槽部8内的部分成为非发热部52b、使从内壁面到配置于炉内侧的部分成为发热部51的结构；和具备保持在一侧的炉壁4从而对内壁面7附近进行加热的辅助加热器9的结构。S卩，根据本技术，能够避免现有的在内壁附近炉内温度降低的现象，因此，即使在以提高炉的生产率为目的而扩大炉宽的情况下，也能够有效控制炉宽度方向上的温度不均匀的现象。附图标记I 炉体2 棍子3 匣钵4 炉壁5棒状SiC加热器51发热部52b非发热部6 炉内7内壁面8切槽部9辅助加热器权利要求1.ー种加热炉，使多个具有发热部和非发热部的棒状SiC加热器在炉宽度方向上贯通炉壁而配置在炉长尺寸方向上，其特征在干， 在炉长尺寸方向上配置的多个棒状SiC加热器之间，具备保持在一侧的炉壁上从而对该内壁面附近进行加热的辅助加热器。2.根据权利要求I所述的加热炉，其特征在干， 在该棒状SiC加热器贯通的炉壁的内壁面侧形成有切槽部， 该棒状SiC加热器中，使切槽部内成为非发热部、使从内壁面到炉内侧成为发热部。3.根据权利要求I所述的加热炉，其特征在于，将辅助加热器在炉长尺寸方向上与该棒状SiC加热器交替配置。4.根据权利要求I所述的加热炉，其特征在于，辅助加热器具有棒状，从炉壁突出的突出部为炉宽的1/20-1/5。5.根据权利要求I所述的加本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加热炉，使多个具有发热部和非发热部的棒状SiC加热器在炉宽度方向上贯通炉壁而配置在炉长尺寸方向上，其特征在于，在炉长尺寸方向上配置的多个棒状SiC加热器之间，具备保持在一侧的炉壁上从而对该内壁面附近进行加热的辅助加热器。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤伦弘，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，NGK凯伦泰克株式会社，
类型：实用新型
国别省市：