大流量复合分子泵制造技术

一种大流量复合分子泵，抽气系统由涡轮动片及牵引级组成，通过轴套固定在泵主轴上，泵主轴由上轴承和下轴承共同支撑。本实用新型专利技术适用于磁控溅射设备配套，设计合理，经济实用，强度高、安全性能好，提高了泵的抗气体冲击能力同时涡轮级减少，降低了对气体的压缩比，也减少了气体的摩擦发热，为大流量复合分子泵长期中真空状态创造条件，又因其结构特征泵的成本低、体积更矮、更方便安装。具有一定经济效益和社会效益。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种大流量复合分子泵，其特征在于抽气系统由涡轮动片(1)及牵引级(2)组成，通过轴套(9)固定在泵主轴(6)上，泵主轴由上轴承(5)和下轴承(8)共同支撑。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：葛明，罗进军，阎亚林，
申请(专利权)人：成都无极真空科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：