一种用于大面积摩擦诱导微/纳米加工的多针尖阵列的制作方法技术

一种用于大面积摩擦诱导微/纳米加工的多针尖阵列的制作方法，其步骤为：(a)用显微硬度仪的压头对蜡片基底表面进行压痕，加工出压痕阵列；(b)将微球置于各个压痕上；(c)采用平整光滑的压片覆盖在微球上，对压片施加载荷使各个微球同时压入蜡片中，形成微球阵列；(d)将浇注框压在蜡片基底上，并使浇注框框住微球阵列；(e)往浇注框内浇注镶嵌料溶液，使其淹没微球阵列；(f)待镶嵌料溶液凝固后，加热熔化去除蜡片，再将镶嵌料从浇注框内中取出，并将其无微球的背面抛光为平面，即得。该方法操作简单，原材料便宜，不需进行任何喷胶、氧化、光刻、各向异性腐蚀等复杂特殊处理，具有明显的低成本、高效率的方法特点。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于大面积摩擦诱导微/纳米加工的多针尖阵列的制作方法，其步骤为：(a)将蜡片基底置于显微硬度仪的的工作台上，使显微硬度仪的压头对蜡片基底表面进行压痕，加工出压痕阵列；(b)将大小一样的微球逐个置于压痕阵列的各个压痕上；(c)采用平整光滑的压片覆盖在蜡片基底的微球上，对压片施加载荷使各个微球同时压入蜡片中，压入深度为微球半径的0.7？1.0倍，且各个微球的压入深度一致，在蜡片基底上形成微球阵列；(d)将浇注框压在蜡片基底上，并使浇注框框住微球阵列；(e)往浇注框内浇注镶嵌料溶液，使其淹没微球阵列；(f)待镶嵌料溶液凝固后，加热熔化去除蜡片，再将镶嵌料从浇注框内中取出，并将其无微球的背面抛光为平面，即得到用于大面积摩擦诱导微/纳米加工的多针尖阵列。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：钱林茂，陈磊，吴治江，余丙军，周仲荣，
申请(专利权)人：西南交通大学，
类型：发明
国别省市：