本发明专利技术公开了一种高温固化炉,包括加热腔、加热器、以及温度监控系统;加热器包括多个可单独控制的加热模块,温度监控系统包括:监测加热腔内部环境温度信息的热电偶;监测加热腔内每一层基板表面的温度信息并生成温度信号的红外监测装置;信号连接热电偶和红外监测装置,根据热电偶反馈的温度信息和红外监测装置反馈的温度信号判断出存在温度异常的基板时,生成相应执行指令的信号处理模块;信号连接信号处理模块,根据信号处理模块生成的执行指令调节与存在温度异常的基板对应的加热模块加热功率的执行模块。该高温固化炉通过热电偶以及红外监测装置分别对加热腔的环境温度以及基板表面温度进行监测,提高了对固化温度监测的精度。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及液晶显示装置生产加工设备
,特别涉及ー种高温固化炉。
技术介绍
高温固化炉是液晶滴注(ODF,One Drop Filling)エ艺中对液晶显示装置对盒后基板之间的封框胶进行固化的高温固化设备。如图I所示,图I为现有技术中高温固化炉中加热器以及热电偶的分布结构示意图。高温固化炉包括加热腔I、对加热腔I进行加热的加热器2以及对加热腔I内部的固化温度进行监控的温度监控系统。·现有技术中,高温固化炉采用的温度监控系统的原理图如图2所示,图2为现有技术中高温固化炉的温度监控系统的原理示意图。目前使用的高温固化炉应用的温度监控系统包括热电偶3、以可编程逻辑控制器(PLC, Programmable Logic Controller)为运算模块的信号处理模块以及执行模块;热电偶3用于监测加热腔I内部的固化温度信息,并将监测到的固化温度信息信号传输给可编程逻辑控制器,可编程逻辑控制器根据热电偶3监测的固化温度信息以及预定温度信息进行对比计算,当热电偶3监测的固化温度信息出现异常时,可编程逻辑控制器生成执行指令,并将执行指令信号传输给执行模块,执行模块根据执行指令动作,对加热器2进行调整,从而实现对加热腔I内部固化温度的控制调节。但是,热电偶3只能对高温固化炉加热腔I内的环境温度进行监測,无法对基板表面的温度进行监测,而且,热电偶3对于温度变化的感知具有一定的延时性,对高温固化炉加热腔I内基板的固化温度的监控精度较差。因此,如何提供ー种高温固化炉,以提高其对加热腔内基板的固化温度的监控精度,是本领域技术人员需要解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术提供了ー种高温固化炉,以提高其对加热腔内基板的固化温度的监控精度。为达到上述目的,本专利技术提供以下技术方案ー种高温固化炉,包括加热腔、加热器、以及对所述加热腔内部固化温度进行监控的温度监控系统;所述加热器包括多个可单独控制的加热模块,所述温度监控系统包括监测所述加热腔内部环境温度信息的至少ー个热电偶;监测所述加热腔内每ー层基板表面的温度信息、根据所述基板表面的温度信息可生成温度信号的红外监测装置;信号连接所述热电偶和所述红外监测装置,根据所述热电偶反馈的温度信息和所述红外监测装置反馈的温度信号判断出存在固化温度过高点,和/或,过低点温度异常的基板时,生成相应执行指令的信号处理模块;信号连接所述信号处理模块,井根据所述信号处理模块生成的执行指令调节所述加热器中与存在温度异常的所述基板对应的所述加热模块加热功率的执行模块。优选地,姆ー个所述加热模块与所述加热腔内放置的基板对应。优选地,每ー个所述加热模块包括至少ー个加热电阻丝,且每一个加热电阻丝可单独控制。优选地,所述红外监测装置包括位于所述加热腔内、监测所述加热腔内的各层基板表 面温度信息的至少ー个红外摄像管;设置于所述加热腔侧壁的滑轨;可驱动所述红外摄像管沿所述滑轨滑动的驱动装置;与每ー个所述红外摄像管信号连接,根据基板温度信息可生成温度信号的红外信号接收处理器,所述红外信号接收处理器与所述信号处理模块信号连接。优选地,所述红外信号接收处理器还可以根据所述红外摄像管监测的基板表面的温度信息生成红外成像信号;所述红外监测装置还包括信号连接所述红外信号接收处理器、并根据所述红外信号接收处理器生成的红外成像信号成像的显示器。优选地,所述红外摄像管为ー个,所述红外摄像管沿所述滑轨可在所述加热腔内的最闻层基板与最低层基板之间往复滑动。优选地,所述红外摄像管为多个,且每一个所述红外摄像管与所述加热腔内的一层基板相对应,所述滑轨为与每一个所述红外摄像管一一对应的水平滑道,且每ー个所述红外摄像管均可沿其滑道往复滑动。优选地,所述信号处理模块为可编程逻辑控制器。优选地,所述执行模块包括多个固体继电器;根据所述可编程逻辑控制器的执行指令控制各个固体继电器的开合对所述加热器中与所述存在温度异常的基板对应位置处的所述加热模块的加热功率进行调节。本专利技术提供的高温固化炉,包括加热腔、加热器、以及对所述加热腔内部固化温度进行监控的温度监控系统;所述加热器包括多个可单独控制的加热模块,所述温度监控系统包括监测所述加热腔内部环境温度信息的至少ー个热电偶;监测所述加热腔内每ー层基板表面的温度信息、根据所述基板表面的温度信息可生成温度信号的红外监测装置;信号连接所述热电偶和所述红外监测装置,根据所述热电偶反馈的温度信息和所述红外监测装置反馈的温度信号判断出存在固化温度过高点,和/或,过低点温度异常的基板时,生成相应执行指令的信号处理模块;信号连接所述信号处理模块,井根据所述信号处理模块生成的执行指令调节所述加热器中与存在温度异常的所述基板对应的所述加热模块加热功率的执行模块。本专利技术提供的高温固化炉,其包括的温度监控系统通过采用热电偶对加热腔内部环境中的温度信息进行监测,并将监测的温度信息信号传输给信号处理模块;同时,通过红外监测装置对加热腔内正在固化的每ー层基板表面的温度信息进行监测,并将基板表面的温度信息生成温度信号传输给信号处理模块;信号处理模块根据热电偶反馈的温度信息以及红外监测装置反馈的温度信号判断是否存在固化温度过高点或者过低点的基板,若存在固化温度存在过高点,和/或,过低点的基板时,信号处理模块可根据异常温度的数据生成相应的执行指令,并将执行指令信号传输给执行模块,执行模块根据执行指令调整加热器中与存在温度异常的基板对应的加热模块的加热功率,降低过高点处的加热功率,或者增大过低点处的加热功率,从而实现对加热器输出温度的调整,最终提高基板固化温度的均一性。由于红外监测装置监测的是加热腔内正在高温固化的基板的表面的温度,而热电偶监测的是加热腔内部环境的高温固化温度,此外,红外监测装置具有很高的灵敏性,能够缩短因热电偶的延时性造成的影响。所以,本专利技术提供的高温固化炉包括的温度监控系统既能够对加热腔内部环境的固化温度进行监测,同时还可以对加热腔内部的基板表面的温度进行监测,提高了对加热腔内基板的固化温度的监控精确性。·附图说明图I为现有技术中高温固化炉中加热器以及热电偶的分布结构示意图;图2为现有技术中高温固化炉的温度监测系统的原理示意图;图3为本专利技术提供的高温固化炉的加热腔的内部结构示意图;图4为本专利技术提供的高温固化炉中温度监控系统的原理示意图;图5为本专利技术提供的高温固化炉中红外摄像管的ー种分布结构示意图。具体实施例方式下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。请參考图3和图4,其中,图3为本专利技术提供的高温固化炉的加热腔的内部结构示意图;图4为本专利技术提供的高温固化炉中温度监控系统的原理示意图。本专利技术提供的高温固化炉,包括加热腔10、对加热腔10进行加热的加热器12、以及对加热腔10内部固化温度进行监控的温度监控系统;加热器12包括多个可单独控制的加热模块;温度监控系统包括监测加热腔10内部环境温度信息的至少ー个热电偶11 ;监测加热腔10内每ー层基板表面的温度信息、根据基板表面的温度信息可生成温度信号的红外监测装置1本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种高温固化炉,包括加热腔、加热器、以及对所述加热腔内部固化温度进行监控的温度监控系统;其特征在于,所述加热器包括多个可单独控制的加热模块,所述温度监控系统包括:监测所述加热腔内部环境温度信息的至少一个热电偶;监测所述加热腔内每一层基板表面的温度信息、根据所述基板表面的温度信息可生成温度信号的红外监测装置;信号连接所述热电偶和所述红外监测装置,根据所述热电偶反馈的温度信息和所述红外监测装置反馈的温度信号判断出存在固化温度过高点,和/或,过低点温度异常的基板时,生成相应执行指令的信号处理模块;信号连接所述信号处理模块,并根据所述信号处理模块生成的执行指令调节所述加热器中与存在温度异常的所述基板对应的所述加热模块加热功率的执行模块。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:井杨坤,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,合肥京东方光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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