一种碳化硅浆软着陆装卸载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种碳化硅浆软着陆装卸载装置，包括用于连接碳化硅浆的固定件和基体，基体上设置有用于驱动固定件沿竖直方向运动的升降运动机构和用于驱动升降运动机构和固定件一起沿水平方向运动的水平运动机构；水平运动机构包括两条设置在基体上的水平导轨，水平导轨上设置有可相对水平导轨滑动的水平溜板，升降运动机构固定设置在水平溜板上，水平运动机构还包括与水平溜板连接、以驱动水平溜板相对水平导轨滑动的水平同步传动带，水平同步传动带连接有水平运动电机。本实用新型专利技术降低了碳化硅浆软着陆装卸载装置制造中对零件的精度要求，降低了制造成本，且结构简单，安装方便，不会产生污染，运行起来噪音低。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜
，更具体地说，涉及一种碳化硅浆软着陆装卸载装置。
技术介绍
在进行基片表面镀膜时，首先将未镀膜的基片插入石墨舟中，将载有基片的石墨舟放置在等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)真空镀膜设备石英反应室中，采用合适的PECVD工艺对基片 进行镀膜。镀膜结束后，从PECVD真空镀膜设备的石英反应室中取出石墨舟，然后再将经过镀膜的基片从石墨舟上取下来。目前常采用一种碳化娃软着陆装载机构来实现自动运送装载基片的石墨舟进入并放置于石英反应室中，或将石墨舟从石英反应室中取出。目前碳化硅浆软着陆装卸载机构水平运动采用的是丝杠传动方式，这种方式对于长距离移动来说，制造精度高，安装复杂，成本高，且丝杆需要油来润滑，对洁净室产生污染，运动噪音大；且目前碳化硅浆软着陆装卸载机构中所有的驱动采用步进电机，其启动力矩小，容易产生丢步，所以运行精度低。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种结构简单、安装方便、维护成本低、噪音小的碳化硅浆软着陆装卸载装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是构造一种碳化硅浆软着陆装卸载装置，包括用于连接碳化硅浆的固定件和基体，所述基体上设置有用于驱动所述固定件沿竖直方向运动的升降运动机构和用于驱动所述升降运动机构和所述固定件一起沿水平方向运动的水平运动机构；所述水平运动机构包括两条设置在所述基体上的水平导轨，所述水平导轨上设置有可相对所述水平导轨滑动的水平溜板，所述升降运动机构固定设置在所述水平溜板上；其中，所述水平运动机构还包括与所述水平溜板连接、以驱动所述水平溜板相对所述水平导轨滑动的水平同步传动带，所述水平同步传动带连接有水平运动电机。本技术所述的碳化硅浆软着陆装卸载装置，其中，所述升降运动机构包括设置在所述水平溜板上的升降导轨，所述升降导轨上设置有可相对所述升降导轨滑动的升降溜板；所述升降运动机构还包括与所述升降溜板驱动连接、以驱动所述升降溜板沿所述升降导轨上下滑动的升降丝杆，所述升降丝杆连接有升降运动电机。本技术所述的碳化硅浆软着陆装卸载装置，其中，所述水平运动电机为伺服电机。本技术所述的碳化硅浆软着陆装卸载装置，其中，所述升降运动电机为伺服电机。本技术所述的碳化硅浆软着陆装卸载装置，其中，所述固定件包括固定设置在所述升降溜板上的悬臂板和设置在所述悬臂板上、用于连接碳化硅浆的固定腔。本技术所述的碳化硅浆软着陆装卸载装置，其中，所述升降运动电机的输出轴与涡轮蜗杆减速机的空心动力输入轴连接，所述涡轮蜗杆减速机的空心动力输出轴与所述升降丝杆的一端连接。本技术的有益效果在于通过采用水平同步传动带替代现有技术中的丝杆带动水平溜板沿水平导轨滑动，从而带动升降运动机构和固定件一起沿水平方向运动，降低了碳化硅浆软着陆装卸载装置制造中对零件的精度要求，降低了制造成本，且结构简单，安装方便，同时由于水平同步传动带工作时不需要使用油润滑，因此也降低了碳化硅浆软着陆装卸载装置的维护费用，且不会产生污染，运行起来噪音低。附图说明下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明，附图中 图I是本技术较佳实施例的碳化硅浆软着陆装卸载装置立体结构示意图；图2是本技术较佳实施例的碳化硅浆软着陆装卸载装置正面结构示意图；图3是本技术较佳实施例的碳化硅浆软着陆装卸载装置沿图2中A-A向的剖视图；图4是本技术较佳实施例的碳化硅浆软着陆装卸载装置侧面示意图；图5是本技术较佳实施例的碳化硅浆软着陆装卸载装置的等轴侧视图。具体实施方式本技术较佳实施例的碳化硅浆软着陆装卸载装置立体结构如图I所示，同时参阅图2、图3、图4和图5，该碳化硅浆软着陆装卸载装置包括用于连接碳化硅浆13的固定件和基体1，基体I上设置有用于驱动固定件沿竖直方向运动的升降运动机构和用于驱动升降运动机构和固定件一起沿水平方向运动的水平运动机构。其中，水平运动机构包括两条设置在基体I上的水平导轨2，水平导轨2上设置有可相对水平导轨2滑动的水平溜板5，升降运动机构固定设置在水平溜板5上。水平运动机构还包括与水平溜板5连接、以驱动水平溜板5相对水平导轨2滑动的水平同步传动带3，水平同步传动带3连接有水平运动电机11。本实施例中，通过水平运动电机11驱动水平同步传动带3运动，从而带动水平溜板5在水平导轨2上滑动，升降运动机构和连接碳化硅浆13的固定件跟着水平溜板5 —起水平运动，再通过升降运动机构带动固定件在竖直方向上运动，从而实现碳化硅浆13在水平和竖直方向上的运动。这样通过采用水平同步传动带3替代现有技术中的丝杆带动水平溜板5沿水平导轨2滑动，从而带动升降运动机构和固定件一起沿水平方向运动，降低了碳化硅浆软着陆装卸载装置制造中对零件的精度要求，降低了制造成本，且其结构简单，安装方便，同时由于水平同步传动带3工作时不需要使用油润滑，因此也降低了碳化硅浆软着陆装卸载装置的维护费用，且不会产生污染，运行起来噪音低。在使用时，将整个石墨舟放置在碳化硅浆13上，然后启动水平运动机构和升降运动机构带动石墨舟在水平和竖直方向上运动，直到石墨舟与石英反应室平稳地接触，然后整个碳化硅浆软着陆装卸载装置反方向退出反应室，完成整个石墨舟自动送进石英反应室、软着陆过程。待反应完后，再用相反动作将整个石墨舟自动从石英反应室取出。由于碳化硅浆13是承载受力杆，且碳化硅浆13材料硬度高、变形小，因此能保证承载石墨舟后静态变形小。在进一步的实施例中，如图I、图2和图3所示，碳化硅浆13软着陆装卸载装置的升降运动机构包括设置在水平溜板5上的升降导轨6，且升降导轨6与水平导轨2相互垂直设置，在升降导轨6上设置有可相对升降导轨6滑动的升降溜板8。该升降运动机构还包括与升降溜板8驱动连接、以驱动升降溜板8沿升降导轨6上下滑动的升降丝杆9，升降丝杆9连接有升降运动电机4。在需要驱动石墨舟垂直运动时，通过升降运动电机4驱动升降丝杆9转动，从而带动升降溜板8沿升降导轨6上下滑动，从而实现对连接在固定件上的碳化硅浆13的上下驱动。优选地，上述实施例中的水平运动电机11和升降运动电机4均为闭环控制的伺服电机，这样可以实现对水平运动和竖直运动的精确定位，提高碳化硅浆软着陆装卸载装置的运行精度。更进一步地，如图I、图3和图5所示，上述各实施例中的固定件可以采用多种结构实现，只需要能固定住碳化硅浆13即可。优选地，固定件包括固定设置在升降溜板8上的悬臂板12和设置在悬臂板12上、用于连接碳化硅浆13的固定腔10。该结构简单易实现，且制造成本低，便于安装。优选地，如图I所示，上述各实施例中的升降运动电机4的输出轴经万向联轴器(未图示)与涡轮蜗杆减速机7的空心动力输入轴连接，涡轮蜗杆减速机7的空心动力输出轴经另一万向联轴器(未图示)与升降丝杆9的一端连接。这样，当升降运动电机4启动，通过涡轮蜗杆减速机7减速后，带动升降丝杆9转动，由此实现升降溜板8在垂直方向上的往复运动。综上所述，本技术通过采用水平同步传动带3替代现有技术中的丝杆带动水平溜板5沿水平导轨2滑动，从而带动升降运动机构和固定件一起沿水平方向运动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种碳化硅浆软着陆装卸载装置，包括用于连接碳化硅浆(13)的固定件和基体(1)；所述基体(1)上设置有用于驱动所述固定件沿竖直方向运动的升降运动机构，和用于驱动所述升降运动机构和所述固定件一起沿水平方向运动的水平运动机构；所述水平运动机构包括两条设置在所述基体(1)上的水平导轨(2)，所述水平导轨(2)上设置有可相对所述水平导轨(2)滑动的水平溜板(5)，所述升降运动机构固定设置在所述水平溜板(5)上；其特征在于，所述水平运动机构还包括与所述水平溜板(5)连接、以驱动所述水平溜板(5)相对所述水平导轨(2)滑动的水平同步传动带(3)，所述水平同步传动带(3)连接有水平运动电机(11)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊朝，王滋润，李学文，李军阳，
申请(专利权)人：深圳市大族光伏科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：