本实用新型专利技术公开了一种等离子设备,旨在提供一种操作简单、节约成本且能避免卷性材料卷起时出现偏差的具有纠偏功能的处理卷性材料的等离子处理设备。本实用新型专利技术包括框体（1），所述框体（1）内部抽真空成真空腔室（2），在所述真空腔室（2）内设置有放料轴（3）、收料轴（4）及若干导向轴，在所述真空腔室（2）内还设置有由正电极和负电极构成的若干等离子区域（6），在所述真空腔室（2）内还设置有纠偏装置，所述纠偏装置由安装架（71）、两个导向辊（72）、摆动马达（73）及纠偏感应器（74）构成，卷性材料绕过两个所述导向辊（72）并通过所述纠偏感应器（74）最后收于所述收料轴（4）。本实用新型专利技术可广泛应用于等离子设备领域。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种具有纠偏功能的处理卷性材料的等离子处理设备。
技术介绍
等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面活化、改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。在现有的等离子处理设备当中，大多数只能处理单片材料。对于卷性材料，更多地须加工成单片后才能利用现有的等离子处理设备进行处理。这不仅使得加工过程复杂，加工工序繁琐，生产效率低下,而且也大大地增加了生产成本。目前,珠海的一家企业设计了一种能直接对卷性材料进行加工的等离子设备。但是在使用过程中，处于收料轴一侧的卷性材料在收料过程中，容易 出现收于收料轴处的卷性材料不整齐的现象，需要人工进行重新调整。这不仅增加了成本投入，而且容易使得经过处理的卷性材料再次受到污染。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种操作简单、节约成本、能直接对卷性材料进行处理且能避免卷性材料卷起时出现偏差的具有纠偏功能的处理卷性材料的等离子处理设备。本技术所采用的技术方案是本技术包括框体，所述框体内部抽真空成真空腔室，在所述真空腔室内设置有放料轴、收料轴及若干导向轴，所述放料轴和所述收料轴分别由两个伺服电机驱动，在所述真空腔室内还设置有由正电极和负电极构成的若干等离子区域，卷性材料从所述等离子区域中穿过，在所述真空腔室内还设置有纠偏装置，所述纠偏装置由安装架、两个导向辊、摆动马达及纠偏感应器构成，卷性材料绕过两个所述导向辊并通过所述纠偏感应器最后收于所述收料轴。所述两个导向辊平行设置在所述安装架上，所述导向辊与所述安装架之间转动配口 o所述具有纠偏功能的处理卷性材料的等离子处理设备的纠偏精度偏差为土 1mm。所述纠偏感应器呈U型，卷性材料的端面与所述纠偏感应器(74)的U型中间保持接触。在所述等离子区域的四周设置有金属挡板，所述金属挡板把所述等离子区域与外围的真空腔室空间隔离开来。所述正电极与外围的射频电源电连接，所述负电极接地。两个所述伺服电机通过离合器分别与所述放料轴和收料轴连接，在所述伺服电机上设置有刹车装配。处于所述等离子区域内的卷性材料均与所述正电极及负电极保持平行。每两个相邻的等离子区域同用同一块负电极。所述具有纠偏功能的处理卷性材料的等离子处理设备可处理的卷性材料的宽度范围为10 500mm。本技术的有益效果是由于本技术在所述真空腔体内靠近所述收料轴的位置设置了纠偏装置，利用所述纠偏感应器感应卷性材料是否发生偏移，若感应到卷性材料发生偏移，所述摆动马达摆动并控制所述导向辊左右摆动，从而自动调整卷性材料的位置，避免出现偏移，所以，本技术能够使得收于收料轴处的卷性材料整齐，避免传统做法所带来的二次污染和成本增加。此外，本技术结构简单，操作方便，降低操作人员的劳动强度，降低生成成本。由于本技术在所述等离子区域外围设置有金属挡板来把等离子区域与外围的真空腔室的空间隔离开来，所以，可有效地降低等离子气体对周边配件的影响。附图说明图I是本技术的立体结构示意图；图2是本技术的正面结构示意图；图3是所述真空腔体内部的正面结构示意图；图4是所述伺服电机与所述放料轴及收料轴相连接的结构示意图；图5是所述卷性材料连接部分的结构示意图；图6是所述卷性材料连接部分的立体结构示意图；图7是所述纠偏装置的部分结构示意图。具体实施方式如图I至图5所示，在本实施例中，本技术包括框体I，所述框体I内部抽真空成真空腔室2。在所述真空腔室2内设置有放料轴3、收料轴4及若干导向轴，所述放料轴3和所述收料轴4分别由两个伺服电机5驱动。两个所述伺服电机5通过离合器9分别与所述放料轴3和收料轴4连接，在所述伺服电机5上设置有刹车装配，可让卷性材料保持一定的张力。在所述真空腔室2内还设置有由正电极和负电极构成的若干等离子区域6，卷性材料从所述等离子区域6中穿过。处于所述等离子区域6内的卷性材料均与所述正电极及负电极保持平行。所述正电极与外围的射频电源电连接，所述负电极接地。每两个相邻的等离子区域6同用同一块负电极。在本实施例中，所述等离子区域6的数目设置为二个，由位于两侧的正电极和位于中间位置的负电极组成。卷性材料先通过一侧的等离子区域，绕过导向轴后，再从另一侧的等离子区域中穿过。如图6和图7所示，在所述真空腔室2内还设置有纠偏装置，所述纠偏装置由安装架71、两个导向辊72、摆动马达73及纠偏感应器74构成，卷性材料绕过两个所述导向辊72并通过所述纠偏感应器74最后收于所述收料轴4。所述两个导向辊72平行设置在所述安装架71上，所述导向辊72与所述安装架71之间转动配合。本技术的纠偏精度偏差为土 1mm。所述纠偏感应器74呈U型，卷性材料的端面与所述纠偏感应器74的U型中间保持接触。如图6所示，在所述等离子区域6的四周设置有金属挡板8，所述金属挡板8把所述等离子区域6与外围的真空腔室空间隔离开来。在本实施例中，所述金属挡板采用铝合金板。所述金属挡板把等离子区域隔离开来形成一个独立的区域，等离子体不会影响周边配件。所述具有纠偏功能的处理卷性材料的等离子处理设备可处理的卷性材料的宽度范围为10 500mm。卷性材料10经过放料轴3，再经导向轴，并穿过等离子区域，再经过纠偏装置，最后卷曲到卷料轴4，形成一个收放卷循环。所述卷性材料10经过等离子反应区域6后，达到等离子处理效果。当纠偏感应器74感应到卷性材料有偏移时，纠偏装置的两个导向辊72左右摆动，达到材料收卷有纠正效果的目的。需要说明的是，以上仅为本技术优选实施方式，并不能理解为对本技术保护范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构 思的前提下，还可以做出若干变形和改进，例如所述电极板位5片或9片，等离子反应区域位三个或四个等均为本技术的保护范围之内。本技术可广泛应用于等离子设备领域。权利要求1.一种具有纠偏功能的处理卷性材料的等离子处理设备，包括框体(I)，所述框体(I)内部抽真空成真空腔室(2)，在所述真空腔室(2)内设置有放料轴(3)、收料轴(4)及若干导向轴，所述放料轴(3)和所述收料轴(4)分别由两个伺服电机(5)驱动，在所述真空腔室(2)内还设置有由正电极和负电极构成的若干等离子区域(6)，卷性材料从所述等离子区域(6)中穿过，其特征在于在所述真空腔室(2)内还设置有纠偏装置，所述纠偏装置由安装架(71)、两个导向辊(72)、摆动马达(73)及纠偏感应器(74)构成，卷性材料绕过两个所述导向辊(72)并通过所述纠偏感应器(74)最后收于所述收料轴(4)。2.根据权利要求I所述的具有纠偏功能的处理卷性材料的等离子处理设备，其特征在于所述两个导向辊(72)平行设置在所述安装架(71)上，所述导向辊(72)与所述安装架(71)之间转动配合。3.根据权利要求I所述的具有纠偏功能的处理卷性材料的等离子处理设备，其特征在于所述具有纠偏功能的处理卷性材料的等离子处理设备的纠偏精度偏差为±lmm。4.根据权利要求I所述的具有纠偏功能的处理卷性材料的等离子处理设备，其特征在于所述纠偏感应器(74)呈U本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种具有纠偏功能的处理卷性材料的等离子处理设备，包括框体（1），所述框体（1）内部抽真空成真空腔室（2），在所述真空腔室（2）内设置有放料轴（3）、收料轴（4）及若干导向轴，所述放料轴（3）和所述收料轴（4）分别由两个伺服电机（5）驱动，在所述真空腔室（2）内还设置有由正电极和负电极构成的若干等离子区域（6），卷性材料从所述等离子区域（6）中穿过，其特征在于：在所述真空腔室（2）内还设置有纠偏装置，所述纠偏装置由安装架（71）、两个导向辊（72）、摆动马达（73）及纠偏感应器（74）构成，卷性材料绕过两个所述导向辊（72）并通过所述纠偏感应器（74）最后收于所述收料轴（4）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：丁雪苗，梁冠雄，刘玉平，
申请(专利权)人：珠海宝丰堂电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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