溅射压力传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及传感器，具体是一种溅射压力传感器。本实用新型专利技术解决了现有溅射压力传感器精度和长期稳定性较差、以及加工工艺性差的问题。溅射压力传感器，包括接管咀和圆膜片；接管咀上端面中央设有凹腔；圆膜片外表面溅射有绝缘层，绝缘层上溅射有金属薄膜，金属薄膜上刻蚀有惠斯登电桥电路；圆膜片下表面边缘与接管咀上端面边缘密封连接；圆膜片下表面与凹腔内表面共同围成压力室；接管咀与压力室连通。本实用新型专利技术结构合理、设计巧妙，有效解决了现有溅射压力传感器精度和长期稳定性较差、以及加工工艺性差的问题。本实用新型专利技术还简化了加工工艺，降低成本，容易实现大批量生产，提高了产品性价比和市场竞争力。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及传感器，具体是一种溅射压力传感器。
技术介绍
现有溅射压力传感器通常由接管咀I和焊接于接管咀I端面的钢杯膜片6作为基础。其中，钢杯膜片作为压力敏感元件，钢杯膜片内表面与接管咀端面共同围成压力室，如图I所示。钢杯膜片是采用不锈钢钢棒，经过粗车、精车、粗磨、精磨、抛光、清洗等许多道工序加工而成的。钢杯膜片的缺点不仅仅是加工工序多、加工成本高、膜片太薄的不能加工等，更重要的是，由于金属切削加工产生的切削力使膜片产生很大的内应力，虽经过消除内应力的措施仍会保留很大的残余应力，影响了现有溅射压力传感器的精度和长期稳定性，并导致其加工工艺性差。基于此，有必要专利技术一种全新的溅射压力传感器，以解决现有溅射压力传感器精度和长期稳定性较差、以及加工工艺性差的问题。
技术实现思路
本技术为了解决现有溅射压力传感器精度和长期稳定性较差、以及加工工艺性差的问题，提供了一种溅射压力传感器。本技术是采用如下技术方案实现的溅射压力传感器，包括接管咀和圆膜片；接管咀上端面中央设有凹腔；圆膜片外表面溅射有绝缘层，绝缘层上溅射有金属薄膜，金属薄膜上刻蚀有惠斯登电桥电路；圆膜片下表面边缘与接管咀上端面边缘密封连接；圆膜片下表面与凹腔内表面共同围成压力室；接管咀与压力室连通。使用时，气流经接管咀进入压力室，圆膜片受压并产生应变，圆膜片上的惠斯登电桥电路的四个电阻阻值随之发生变化，导致电桥失去平衡，并输出与圆膜片所受压力成正比的信号，由此完成压力的采集。本技术所述的溅射压力传感器采用圆膜片作为压力敏感元件。圆膜片的加工过程为首先通过精密辗压得到表面平整、光洁度很高的各种厚度的膜片，然后经过抛光、线切割、稳定处理等工序加工制成圆膜片。与钢杯膜片相比，圆膜片的加工工序更少、加工成本更低、加工残余应力更小、更易于加工得很薄，并且一旦辗压出合格的薄带，通过线切割就可以迅速得到大量的各种厚度各种直径的圆膜片，可以很容易地增加品种和产量。因此，采用圆膜片既可以做中、高压传感器，也比较容易做出高精度的低、微压传感器。基于上述过程，与现有溅射压力传感器相比，本技术所述的溅射压力传感器便能够实现更高的精度和长期稳定性，并具有更好的加工工艺性，由此解决了现有溅射压力传感器精度和长期稳定性较差、以及加工工艺性差的问题，同时也提高了传感器的性能价格比，加强了传感器的市场竞争力。进一步地，压力室内设有导流片；导流片盖封于接管咀的中心孔上端，且导流片下表面设有十字槽；接管咀通过十字槽与压力室连通。工作时，来自接管咀的气流通过十字槽分流成四路，并从导流片下表面边缘进入压力室，由此避免了来自接管咀的气流直接冲击圆膜片中心部位引起传感器输出不稳定。更进一步地，接管咀侧面靠近上端环绕设置有V形槽。当圆膜片与接管咀通过焊接进行密封连接时，V形槽的作用是使焊接热量集中于端部外缘，使焊接速度快、焊接应力小、焊缝光滑气密性好，同时防止焊接产生的变形影响到整体。本技术结构合理、设计巧妙，有效解决了现有溅射压力传感器精度和长期稳定性较差、以及加工工艺性差的问题，既适用于中高压压力测量，也适用于低微压压力测量。本技术还简化了加工工艺，降低成本，容易实现大批量生产，提高了产品性价比和市场竞争力。附图说明图I是现有溅射压力传感器的结构示意图。图2是本技术的结构示意图。图3是本技术的导流片的结构示意图。·图中I-接管咀，2-圆膜片，3-导流片，4-十字槽，5-V形槽，6-钢杯膜片。具体实施方式溅射压力传感器，包括接管咀I和圆膜片2 ;接管咀I上端面中央设有凹腔；圆膜片2外表面溅射有绝缘层，绝缘层上溅射有金属薄膜，金属薄膜上刻蚀有惠斯登电桥电路；圆膜片2下表面边缘与接管咀I上端面边缘密封连接；圆膜片2下表面与凹腔内表面共同围成压力室；接管咀I与压力室连通；压力室内设有导流片3 ;导流片3盖封于接管咀I的中心孔上端，且导流片3下表面设有十字槽4 ;接管咀I通过十字槽4与压力室连通；接管咀I侧面靠近上端环绕设置有V形槽5 ;V形槽5上缘的宽度根据圆膜片2的厚度选择等于或大于圆膜片2的厚度；具体实施时，为了提高动态响应速度，压力室做得尽量小。圆膜片与接管咀通过电子束焊接或者激光焊接进行密封连接。十字槽的总截面积设计成大于接管咀的中心孔截面积，由此气流进入压力室时不会发生阻滞，保证了气流的动态速度，且不会对圆膜片工作造成干扰。V形槽上缘的宽度根据圆膜片的厚度设计成等于或大于圆膜片的厚度。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种溅射压力传感器，其特征在于：包括接管咀（1）和圆膜片（2）；接管咀（1）上端面中央设有凹腔；圆膜片（2）外表面溅射有绝缘层，绝缘层上溅射有金属薄膜，金属薄膜上刻蚀有惠斯登电桥电路；圆膜片（2）下表面边缘与接管咀（1）上端面边缘密封连接；圆膜片（2）下表面与凹腔内表面共同围成压力室；接管咀（1）与压力室连通。

【技术特征摘要】
1.一种溅射压力传感器，其特征在于包括接管咀(I)和圆膜片(2);接管咀(I)上端面中央设有凹腔；圆膜片(2)外表面溅射有绝缘层，绝缘层上溅射有金属薄膜，金属薄膜上刻蚀有惠斯登电桥电路；圆膜片(2)下表面边缘与接管咀(I)上端面边缘密封连接；圆膜片(2)下表面与凹腔内表面共同围成压力室；接管咀(I)与压力室连通。2.根据权利要求I所述的溅射压力传感器，其特征在于压力室内设...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜宏金，
申请(专利权)人：太原市精微测控技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：