膜基板传送装置制造方法及图纸

一种用于膜基板的传送装置，该传送装置能高精度地调节分别沿前进馈送方向和后退馈送方向传送的各个基板的位置。一种用于膜基板的传送装置，该传送装置构造成沿垂直方向传送带状膜基板（2），其中，膜基板沿其宽度方向的一端定位在上侧。用于膜基板的传送装置设有至少一对第一夹持辊子（6）以及第一角度调节机构（11），该对第一夹持辊子（6）设置成夹住膜基板的上端，而第一角度调节机构（11）能以调节第一夹持辊子（6）的转动轴线的角度的方式来调节第一夹持辊子的倾斜方向和倾斜角度，从而第一夹持辊子（6）的转动轴线指向传送方向上方。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种膜基板传送装置，该膜基板传送装置在将膜基板竖直放置的同时传送膜基板(下文称为“基板”)，该膜基板关于其宽度方向的一端部位于上侧。
技术介绍
用于制造薄膜层叠体的装置(下文称为“制造装置”)用于在基板的表面上形成由薄膜光电变换元件构成的光电变换层。该制造装置构造成在其成膜室内密封地形成基板。此外，为了将基板传送到成膜室内，由退绕芯部卷绕的基板朝向成膜室运送，穿过成膜室，然后由卷绕芯部卷绕。 作为主要设置在上述制造装置内的膜基板传送装置(下文称为“传送装置”)的基板传送方法，采用竖直传送方法，其中基板在被竖直放置的同时被传送，膜基板关于其宽度方向的一端部位于上侧。使用这种竖直传送方法的传送装置在防止基板受污染方面极佳，这是因为颗粒不会积聚到基板的表面上，并且通过将基板竖直放置而在减小制造装置的空间方面也极佳。同时，主要在退绕芯部与卷绕芯部之间拉动和保持基板。因此，基板倾向于沿宽度方向下垂和可能会弯曲。在这种情况下，基板的位置沿宽度方向位移，从而致使基板沿宽度方向翘曲。由于这种翘曲，应力不均匀地集中在基板内，从而引起在基板上起皱。由于起皱，在基板上形成的薄膜光电变换元件等的特性变差。为此，采用在专利文献I中公开的基板，其中，在用于沿前进馈送方向传送基板的传送装置中设置用于调节基板沿宽度方向的位置的夹持辊子。在此制造装置中，多对夹持辊子设置成夹住基板的上端部和下端部。保持上端部的成对的夹持辊子相对于基板的前进馈送方向向上倾斜，而保持下端部的成对的夹持辊子相对于基板的馈送方向向下倾斜。每对夹持辊子的外周表面设有用于保护基板的弹性体。然而，当弹性体磨损并变弱时，作用于每个夹持辊子与基板之间的夹持力变小，因此，不能获得用于提升基板的足够提升力。为此，设计专利文献I以通过增大夹持辊子的夹住位于夹持辊子之间的基板的力来加强成对的夹持辊子的夹持力(下文称为“基板夹持力”)，以解决弹性体变差的问题。专利文献I :日本专利特开第2009-38276号公报然而，在专利文献I中，保持上端部的夹持辊子仅相对于基板的前进馈送方向向上倾斜，而保持下端部的夹持辊子仅相对于基板的前进馈送方向向下倾斜。因此，当基板沿前进馈送方向和后退馈送方向传送时，这些夹持辊子可精确地调节沿前进馈送方向传送的基板的位置，但不能调节沿后退馈送方向传送的基板的位置。此外，在专利文献I中，当增大由外周表面上的弹性体获得的夹持辊子的基板夹持力时，外周表面上的弹性体可能受到挤压，从而使外周表面的横截面变成椭圆形并改变夹持辊子的直径。在这种情况下，不能获得期望的夹持力和用于提升基板的足够的提升力，这使基板难以运动到期望的位置。这导致调节基板的位置的精度降低
技术实现思路
鉴于上述情况来设计本专利技术，并且本专利技术的目的是提供一种膜基板传送装置，该膜基板传送装置能以高精度来调节沿前进馈送方向和后退馈送方向传送的每个基板的位置。为了实现上述目的，本专利技术的膜基板传送装置是用于在将膜基板竖直放置的同时传送带状膜基板的膜基板传送装置，膜基板沿其宽度方向的一端部位于上侧，此膜基板传送装置具有至少一对第一夹持辊子，其设置成将膜基板的上端部夹在第一夹持辊子之间；以及第一角度调节机构，该第一角度调节机构能调节第一夹持辊子的倾斜方向和倾斜角度，以能使第一夹持辊子的转动轴线角度倾斜，从而第一夹持辊子的转动方向相对于传送方向位于上侧。根据本专利技术的膜基板装置还具有至少一对第二夹持辊子，其设置成将膜基板的下端部夹在第二夹持辊子之间；以及第二角度调节机构，该第二角度调节机构能调节第二 夹持辊子的倾斜方向和倾斜角度，以能使第二夹持辊子的转动轴线角度倾斜，从而第二夹持辊子的转动方向相对于传送方向位于下侧。根据本专利技术的膜基板传送装置还具有用于检测膜基板的宽度方向端部的高度的检测装置，其中，当检测装置检测到膜基板的位移时，第一角度调节机构和/或第二角度调节机构执行控制来使第一夹持辊子和/或第二夹持辊子沿对应于膜基板的传送方向的倾斜方向倾斜。在根据本专利技术的膜基板传送装置中，第一角度调节机构和/或第二角度调节机构执行控制来改变第一夹持辊子和/或第二夹持辊子的倾斜度，以为了校正基板的位移。本专利技术的膜基板传送装置可实现以下作用。根据本专利技术的膜基板传送装置是用于在将膜基板竖直放置的同时传送带状膜基板的膜基板传送装置，膜基板沿其宽度方向的一端部位于上侧并传送该基板，此膜基板传送装置具有至少一对第一夹持辊子，其设置成将膜基板的上端部夹在第一夹持辊子之间；以及第一角度调节机构，该第一角度调节机构能调节第一夹持辊子的倾斜方向和倾斜角度，以能使第一夹持棍子的转动角度倾斜，从而第一夹持棍子的转动方向相对于传送方向位于上侧。膜基板传送装置还具有至少一对第二夹持辊子，其设置成将膜基板的下端部夹在第二夹持辊子之间；以及第二角度调节机构，该第二角度调节机构能调节第二夹持辊子的倾斜方向和倾斜角度，以能使第二夹持辊子的转动角度倾斜，从而第二夹持辊子的转动方向相对于传送方向位于下侧。膜基板传送装置还具有用于检测膜基板的宽度方向端部的高度的检测装置，其中，当检测装置检测到膜基板的位移时，第一角度调节机构和/或第二角度调节机构执行控制，以使第一夹持棍子和/或第二夹持棍子沿着对应于膜基板的传送方向的倾斜方向倾斜。这样，能以高精度来调节沿前进馈送方向和后退馈送方向传送的膜基板的位置。在根据本专利技术的膜基板传送装置中，第一角度调节机构和/或第二角度调节机构执行控制，以改变第一夹持辊子和/或第二夹持辊子的倾斜角度，以校正基板的位移。例如，当第一夹持辊子的夹持力由于第一夹持辊子的磨损而变弱且不能获得用于提升膜基板的足够的提升力时，膜基板的位置可通过增大第一夹持辊子的倾斜度以及膜基板沿宽度方向运动的距离来校正。由此，不必增大第一夹持辊子的夹住膜基板的力，可防止将过度负荷施加于膜基板。另一方面，当第一夹持辊子的夹持力波动且因此变得高到用于提升膜基板的提升力变得过强时，膜基板的位置可通过减小第一夹持辊子的倾斜度和膜基板沿宽度方向运动的距离来校正。由此，可防止调节膜基板的位置的精度下降。附图说明图I是示意地示出根据本专利技术的第一实施例、用于制造薄膜层叠体的装置的剖视平面图；图2(a)是示意地示出图I的成膜室的放大图的剖视平面图，而图2(b)是沿图2(a)中所示线C-C剖取的剖视图；图3(a)是示出根据本专利技术的第一实施例、当夹持辊子的转动轴线沿膜基板的宽度方向放置时所用的角度调节机构的示意正视图，图3(b)是图3(a)中所示的角度调节机构的示意侧视图，而图3(c)是沿图3(a)中所示的线D-D剖取的剖视图； 图4(a)是示出根据本专利技术的第一实施例、使夹持辊子倾斜以调节沿前进馈送方向传送的基板的位置的角度调节机构的示意正视图，而图4(b)是沿图4(a)中所示的线D’ -D’剖取的剖视图；图5是示出图4 (a)的夹持辊子的示意放大前视图；图6(a)是示出根据本专利技术的第一实施例、使夹持辊子倾斜以调节沿后退馈送方向传送的基板的位置的角度调节机构的示意正视图，而图6(b)是沿图6(a)中所示的线D”_D”剖取的剖视图；图7是示出图6 (a)的夹持辊子的示意放大正视图；图8是根据本专利技术的第二实施例、沿图2(a)中所示的线C_C剖取的剖视图；以及图9是示出夹持辊本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：西泽正纪，横山勝治，山田隆典，
申请(专利权)人：富士电机株式会社，
类型：发明
国别省市：