测温电极制造技术

本实用新型专利技术公开了一种测温电极，包括测温压盖、测温压圈、测温法兰、热电偶，通过测温压盖将热电偶和测温压圈一起压在测温法兰上，测温压圈与测温法兰之间装有O形圈，测温法兰安装在真空室壁上。增加了热电偶安装和连接的可靠性，避免了导线与其它部分的碰触，增强了操作安全性和可靠性，且通用性强。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种真空室测温装置，尤其涉及一种测温电极。
技术介绍
光学镀膜设备包括作为被镀工件(光学片等)的载体工件盘、烘烤单元、工件盘下部设置的蒸发源等。真空镀膜室中设置对基片的烘烤机构是必要的。基片温度高，晶粒生长过程加速，膜凝结缺陷减少，再结晶作用增强，使膜的形成更加完善，因而会降低膜的内应力。但基片温度过高，又会使膜的热应力增大。基片温度太高，蒸镀材料的蒸汽分子就容易在基片上运动或再被蒸发，因而基片温度高致使凝结分子的临界蒸汽压也要高，导致薄膜形成大颗粒结晶，这对成膜和膜的质量都是不利的。然而在较高的基片温度下，吸附在基片表面的剩余气体分子将被解吸出来，从而增加了基体与沉淀分子之间的结合力。而且高温还会促使物理吸附向化学吸附转化，增加分子之间的相互作用，这就给增加膜的附着力使膜的结构致密、机械强度提高创造了条件。综合上述利弊，在镀膜机的设计中，应根据不 同的膜层，不同材料的基片而选择不同的烘烤温度，烘烤温度应可调控，因此均要有测温装置，为保证真空室的密封性以及在测量真空室内的烘烤温度，应设置测温装置作为测温元件，并保证真空室的密封。如图I所示，现有技术中的测温电极，主要包括电极杆I、绝缘座2、法兰3和热电偶4等，在电极杆两端开有通孔，将导线穿入，两端面上开有螺纹孔，装入螺钉以压紧导线。热电偶导线与电极相连。上述现有技术至少存在以下缺点导线与电极杆的连接方式不够牢固，有可能造成导线的脱出，而且热电偶不易固定。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种热电偶安装和连接可靠的测温电极。本技术的目的是通过以下技术方案实现的本技术的测温电极，包括测温压盖、测温压圈、测温法兰、热电偶，所述测温压盖将所述热电偶和测温压圈一起压在所述测温法兰上，所述测温压圈与所述测温法兰之间装有0形圈，所述测温法兰安装在真空室壁上。由上述本技术提供的技术方案可以看出，本技术提供的测温电极，由于通过测温压盖将热电偶和测温压圈一起压在测温法兰上，测温压圈与测温法兰之间装有0形圈，测温法兰安装在真空室壁上。增加了热电偶安装和连接的可靠性，避免了导线与其它部分的碰触，增强了操作安全性和可靠性，且通用性强。附图说明图I为现有技术中的测温电极的结构示意图；图2为本技术实施例提供的测温电极的结构示意图。具体实施方式下面将结合附图对本技术实施例作进一步地详细描述。本技术的测温电极，其较佳的具体实施方式是包括测温压盖、测温压圈、测温法兰、热电偶，所述测温压盖将所述热电偶和测温压圈一起压在所述测温法兰上，所述测温压圈与所述测温法兰之间装有0形圈，所述测温 法兰安装在真空室壁上。所述测温法兰与真空室壁的接触面之间装有0形圈密封，并涂覆有真空脂。所述热电偶为铠装热电偶。具体实施例如图2所示，主要包括测温压盖11、测温压圈12、测温法兰13、热电偶14等，测温压盖11压在热电偶14上，热电偶14压在测温压圈12上，测温压圈12下面装有0形圈和测温法兰13，测温法兰13通过螺钉安装在真空室壁15上，可安装在任意厚度的真空室壁15上，测温法兰13与真空室壁15接触面中装有0形圈密封，以真空脂涂覆于接触面保证密封。就完成了测温电极的安装与连接，检查后保证密封性完好安全可靠，热电偶14接通电源后，即可正常工作。热电偶14可以选用铠装热电偶。本技术的测温电极改进了连接方式，增加了热电偶安装和连接的可靠性，避免了导线与其它部分的碰触，增强了操作安全性和可靠性，且通用性强。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。权利要求1.一种测温电极，其特征在于，包括测温压盖、测温压圈、测温法兰、热电偶，所述测温压盖将所述热电偶和测温压圈一起压在所述测温法兰上，所述测温压圈与所述测温法兰之间装有O形圈，所述测温法兰安装在真空室壁上。2.根据权利要求I所述的测温电极，其特征在于，所述测温法兰与真空室壁的接触面之间装有O形圈密封，并涂覆有真空脂。3.根据权利要求I或2所述的测温电极，其特征在于，所述热电偶为铠装热电偶。专利摘要本技术公开了一种测温电极，包括测温压盖、测温压圈、测温法兰、热电偶，通过测温压盖将热电偶和测温压圈一起压在测温法兰上，测温压圈与测温法兰之间装有O形圈，测温法兰安装在真空室壁上。增加了热电偶安装和连接的可靠性，避免了导线与其它部分的碰触，增强了操作安全性和可靠性，且通用性强。文档编号G01K7/02GK202501935SQ201220111900公开日2012年10月24日 申请日期2012年3月22日 优先权日2012年3月22日专利技术者徐建龙 申请人:北京北仪创新真空技术有限责任公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测温电极，其特征在于，包括测温压盖、测温压圈、测温法兰、热电偶，所述测温压盖将所述热电偶和测温压圈一起压在所述测温法兰上，所述测温压圈与所述测温法兰之间装有O形圈，所述测温法兰安装在真空室壁上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐建龙，
申请(专利权)人：北京北仪创新真空技术有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：