【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种晶体炉,具体的说是一种降低晶体生成时轴向温度梯度的焰熔单晶炉。
技术介绍
晶体在生长过程中其轴向平均温度梯度较大,晶体在培育及在随后的冷却过程中,会形成较大的热应力,当超过晶体解理面的剪切强度时,就会导致晶体沿解理面断裂,形成宏观上的裂纹,并引起破裂。传统的焰熔单晶炉炉镗结构的轴向平均温度梯度较小,晶体扩肩后等径生长不易控制,熔帽体积增加,经常出现侧流现象,因此晶体一般在扩肩后就停止长大,不易长成大尺寸晶体。
技术实现思路
本技术为了克服现有技术的不足,提供了一种焰熔单晶炉。为了实现上述目的,本技术设计了一种焰熔单晶炉,包括燃烧室,以及位于燃烧室底部的炉体,炉体内形成炉膛,还包括一个位于炉体下方的提升机构,提升机构的提升杆贯穿炉体底部位于炉膛内;所述燃烧室内设有多孔板将燃烧室分割成上腔体和下腔体;所述上腔体的一侧形成氢气进口,且上腔体的顶壁向下形成中心管并贯穿多孔板,中心管内设有内管连接下料装置,所述下腔体套设环状外管,并在下腔体的侧壁上设有斜孔,环状外管的一侧形成氧气进口,其特征在于所述炉体包括上炉体,以及与上炉体相连的下炉体,上炉体相对下炉体的一侧形成中视孔,上炉体的内侧呈阶梯状的锥形结构,下炉体的内侧配合上炉体呈阶梯状的倒锥形结构。本技术同现有技术相比,上炉体和下炉体的内侧呈阶梯形,可降低金红石晶体在生长时的轴向温度梯度,降低晶体内部应力,避免晶体开裂。附图说明图I为本技术的结构示意图。参见图I, I为燃烧室;2为炉膛;3为提升机构;4为提升杆;5为多孔板;6为上腔体;7为下腔体、8为氢气进口 ;9为中心管;10为内管;11为下料装置;1 ...
【技术保护点】
一种焰熔单晶炉,包括燃烧室(1),以及位于燃烧室(1)底部的炉体,炉体内形成炉膛(2),还包括一个位于炉体下方的提升机构(3),提升机构的提升杆(4)贯穿炉体底部位于炉膛(2)内;所述燃烧室(1)内设有多孔板(5)将燃烧室(1)分割成上腔体(6)和下腔体(7);所述上腔体(6)的一侧形成氢气进口(8),且上腔体(7)的顶壁向下形成中心管(9)并贯穿多孔板(5),中心管(9)内设有内管(10)连接下料装置(11),所述下腔体(7)套设环状外管(12),并在下腔体(7)的侧壁上设有斜孔(13),环状外管(12)的一侧形成氧气进口(14),其特征在于:所述炉体包括上炉体(15),以及与上炉体(15)相连的下炉体(16),上炉体(15)相对下炉体(16)的一侧形成中视孔(17),上炉体(15)的内侧呈阶梯状的锥形结构,下炉体(16)的内侧配合上炉体(15)呈阶梯状的倒锥形结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:潘群辉,黄锐,
申请(专利权)人:上海赢奔晶体科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。