焰熔单晶炉制造技术

技术编号:7924474 阅读:212 留言:0更新日期:2012-10-25 20:11
本实用新型专利技术涉及一种晶体炉,具体的说是一种焰熔单晶炉,包括燃烧室,以及位于燃烧室底部的炉体,炉体内形成炉膛,还包括一个位于炉体下方的提升机构,提升机构的提升杆贯穿炉体底部位于炉膛内,其特征在于:所述炉体包括上炉体,以及与上炉体相连的下炉体,上炉体相对下炉体的一侧形成中视孔,上炉体的内侧呈阶梯状的锥形结构,下炉体的内侧配合上炉体呈阶梯状的倒锥形结构。本实用新型专利技术同现有技术相比,降低了晶体生长时的轴向温度梯度及晶体内部应力,避免晶体开裂。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶体炉,具体的说是一种降低晶体生成时轴向温度梯度的焰熔单晶炉
技术介绍
晶体在生长过程中其轴向平均温度梯度较大,晶体在培育及在随后的冷却过程中,会形成较大的热应力,当超过晶体解理面的剪切强度时,就会导致晶体沿解理面断裂,形成宏观上的裂纹,并引起破裂。传统的焰熔单晶炉炉镗结构的轴向平均温度梯度较小,晶体扩肩后等径生长不易控制,熔帽体积增加,经常出现侧流现象,因此晶体一般在扩肩后就停止长大,不易长成大尺寸晶体。
技术实现思路
本技术为了克服现有技术的不足,提供了一种焰熔单晶炉。为了实现上述目的,本技术设计了一种焰熔单晶炉,包括燃烧室,以及位于燃烧室底部的炉体,炉体内形成炉膛,还包括一个位于炉体下方的提升机构,提升机构的提升杆贯穿炉体底部位于炉膛内;所述燃烧室内设有多孔板将燃烧室分割成上腔体和下腔体;所述上腔体的一侧形成氢气进口,且上腔体的顶壁向下形成中心管并贯穿多孔板,中心管内设有内管连接下料装置,所述下腔体套设环状外管,并在下腔体的侧壁上设有斜孔,环状外管的一侧形成氧气进口,其特征在于所述炉体包括上炉体,以及与上炉体相连的下炉体,上炉体相对下炉体的一侧形成中视孔,上炉体的内侧呈阶梯状的锥形结构,下炉体的内侧配合上炉体呈阶梯状的倒锥形结构。本技术同现有技术相比,上炉体和下炉体的内侧呈阶梯形,可降低金红石晶体在生长时的轴向温度梯度,降低晶体内部应力,避免晶体开裂。附图说明图I为本技术的结构示意图。参见图I, I为燃烧室;2为炉膛;3为提升机构;4为提升杆;5为多孔板;6为上腔体;7为下腔体、8为氢气进口 ;9为中心管;10为内管;11为下料装置;12为环状外管;13为斜孔;14为氧气进口 ;15为上炉体;16为下炉体;17为中视孔。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步描述。如图I所示,本技术包括燃烧室1,以及位于燃烧室I底部的炉体,炉体内形成炉膛2,还包括一个位于炉体下方的提升机构3,提升机构的提升杆4贯穿炉体底部位于炉膛2内;燃烧室I内设有多孔板5将燃烧室I分割成上腔体6和下腔体7 ;上腔体6的一侧形成氢气进口 8,且上腔体7的顶壁向下形成中心管9并贯穿多孔板5,中心管9内设有内管10连接下料装置11,下腔体7套设环状外管12,并在下腔体7的侧壁上设有斜孔13,环状外管12的一侧形成氧气进口 14。炉体包括上炉体15,以及与上炉体15相连的下炉体 16,上炉体15相对下炉体16的一侧形成中视孔17,上炉体15的内侧呈阶梯状的锥形结构,下炉体16的内侧配合上炉体15呈阶梯状的倒锥形结构。同现有技术相比,在气流不稳定或温场改变时极易逸流的情况,将上炉体15和下炉体16的内侧改变成多阶梯型,以保持液态材料的稳定,保证大尺寸晶体的生长,降低了晶体生成时的轴向温度梯度,降低晶体内部应力,避免晶体开裂。权利要求1. 一种焰熔单晶炉,包括燃烧室(1),以及位于燃烧室(I)底部的炉体,炉体内形成炉膛(2),还包括一个位于炉体下方的提升机构(3),提升机构的提升杆(4)贯穿炉体底部位于炉膛(2)内;所述燃烧室(I)内设有多孔板(5)将燃烧室(I)分割成上腔体(6)和下腔体(7);所述上腔体(6)的一侧形成氢气进口(8),且上腔体(7)的顶壁向下形成中心管(9)并贯穿多孔板(5),中心管(9)内设有内管(10)连接下料装置(11),所述下腔体(7)套设环状外管(12),并在下腔体(7)的侧壁上设有斜孔(13),环状外管(12)的一侧形成氧气进口(14),其特征在于所述炉体包括上炉体(15),以及与上炉体(15)相连的下炉体(16),上炉体(15)相对下炉体(16)的一侧形成中视孔(17),上炉体(15)的内侧呈阶梯状的锥形结构,下炉体(16)的内侧配合上炉体(15)呈阶梯状的倒锥形结构。专利摘要本技术涉及一种晶体炉,具体的说是一种焰熔单晶炉,包括燃烧室,以及位于燃烧室底部的炉体,炉体内形成炉膛,还包括一个位于炉体下方的提升机构,提升机构的提升杆贯穿炉体底部位于炉膛内,其特征在于所述炉体包括上炉体,以及与上炉体相连的下炉体,上炉体相对下炉体的一侧形成中视孔,上炉体的内侧呈阶梯状的锥形结构,下炉体的内侧配合上炉体呈阶梯状的倒锥形结构。本技术同现有技术相比,降低了晶体生长时的轴向温度梯度及晶体内部应力,避免晶体开裂。文档编号C30B15/00GK202499929SQ20122012218公开日2012年10月24日 申请日期2012年3月28日 优先权日2012年3月28日专利技术者潘群辉, 黄锐 申请人:上海赢奔晶体科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种焰熔单晶炉,包括燃烧室(1),以及位于燃烧室(1)底部的炉体,炉体内形成炉膛(2),还包括一个位于炉体下方的提升机构(3),提升机构的提升杆(4)贯穿炉体底部位于炉膛(2)内;所述燃烧室(1)内设有多孔板(5)将燃烧室(1)分割成上腔体(6)和下腔体(7);所述上腔体(6)的一侧形成氢气进口(8),且上腔体(7)的顶壁向下形成中心管(9)并贯穿多孔板(5),中心管(9)内设有内管(10)连接下料装置(11),所述下腔体(7)套设环状外管(12),并在下腔体(7)的侧壁上设有斜孔(13),环状外管(12)的一侧形成氧气进口(14),其特征在于:所述炉体包括上炉体(15),以及与上炉体(15)相连的下炉体(16),上炉体(15)相对下炉体(16)的一侧形成中视孔(17),上炉体(15)的内侧呈阶梯状的锥形结构,下炉体(16)的内侧配合上炉体(15)呈阶梯状的倒锥形结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:潘群辉黄锐
申请(专利权)人:上海赢奔晶体科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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