提供强化了制造过程中的静电对策、能够高成品率地制造的电光装置用基板、电光装置、电光装置的制造方法以及电子设备。具备：设置于第1基板12上的数据线驱动电路22以及扫描线驱动电路24；和在划线65的外侧将数据线驱动电路22以及扫描线驱动电路24的电源布线(信号布线29、第1外部连接用端子23a以及第2外部连接用端子23b)连接的短路布线66。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电光装置用基板、电光装置、电光装置的制造方法以及电子设备。
技术介绍
作为上述电光装置,有例如在每个像素具备作为对像素电极进行开关控制的元件的晶体管的有源矩阵驱动方式的液晶装置。 作为该液晶装置的制造方法，可以列举例如将元件侧母基板与相对侧母基板夹着液晶层贴合的方法，所述元件侧母基板是将多个形成有包含上述晶体管的像素电路的元件基板拼版(面付K )而成的，所述相对侧母基板是将多个与元件基板相对配置的相对基板同样拼版而成的。然后，将上述一对母基板分割而取出各液晶装置。另一方面，在上述液晶装置的制造工序中，有时在形成布线和/或接触孔等时会产生静电，上述晶体管产生静电破坏。因此，公开了如专利文献I所记载那样的设置短路环而保护上述晶体管不受静电影响的方法。专利文献I :特开平7-244292号公报然而，不仅仅希望有专利文献I所记载那样的使用短路环的方法，还希望强化制造过程中的包含周边电路的电源系统的静电保护电路的功能。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，其能够设为下面的方式或者应用例而实现。本应用例所涉及的电光装置用基板，其特征在于，在该电光装置用基板形成有多个电光装置，所述多个电光装置中的一个电光装置具备 第I端子;第2端子；和短路布线，其具有从所述第I端子向与所述一个电光装置相邻的电光装置延伸的第I部分、从所述第2端子向所述相邻的电光装置延伸的第2部分和在所述相邻的电光装置之上连接所述第I部分与所述第2部分的第3部分，将所述第I端子与所述第2端子电连接。根据该结构，通过由短路布线将第I端子与第2端子电连接，与在一方的驱动电路上设置短路环的情况相比，能够强化作为静电保护电路的功能。具体地说，能够通过相互连接的短路布线使静电分散，能够防止局部的静电的带电。由此，能够防止在制造过程中产生的静电集中于一部分，能够强化对于数据线驱动电路以及扫描线驱动电路的静电保护电路的功能。例如，能够防止数据线驱动电路以及扫描线驱动电路中所具备的晶体管、半导体元件、二极管由于静电而破坏。另外，相同预定电位的布线增加，所以能够减小与电荷量相对的电位的变位，能够强化静电保护电路的功能。另外，所谓定电位布线，是被给予一定的电位的布线，包含被给予基准的电压的布线(Vss)和/或GND布线等被给予不同的电位的布线。在所述应用例所涉及的电光装置用基板中，优选所述一个电光装置具有多个布线层；所述短路布线在所述多个布线层中最接近所述基板的布线层连接。根据该结构，在接近基板的布线层连接短路布线，S卩，在制造过程中在较早的阶段形成短路布线，所以能够保护之后形成的布线和/或电路不受静电影响。在所述应用例所涉及的电光装置用基板中，优选，所述一个电光装置具备 第3端子；第4端子；和第2短路布线，其具有从所述第3端子向与所述一个电光装置相邻的电光装置延伸的第4部分、从所述第4端子向所述相邻的电光装置延伸的第5部分和在所述相邻的电光装置之上连接所述第4部分与所述第5部分的第6部分，将所述第3端子与所述第4端子电连接。根据该结构，在数据线驱动电路以及扫描线驱动电路上连接有静电保护电路，进而通过形成短路布线，能够强化静电保护电路的功能。由此，保护数据线驱动电路和/或扫描线驱动电路所含的晶体管不受静电影响。本应用例所涉及的电光装置，其特征在于使用上述的电光装置用基板形成。根据该结构，处于相同电位的定电位布线彼此通过短路布线连接，所以能够固定电位，能够通过相同电位的布线使静电分散。由此，能够防止电荷集中于一部分，能够防止晶体管等由于静电而破坏。本应用例所涉及的电光装置的制造方法，其特征在于，该制造方法用形成有多个电光装置的电光装置用基板制造电光装置，该方法包括在与所述多个电光装置中的一个电光装置相对应的基板上形成下述构件的工序 第I端子 ’第2端子；和短路布线，其具有从所述第I端子向与所述一个电光装置相邻的电光装置延伸的第I部分、从所述第2端子向所述相邻的电光装置延伸的第2部分和在所述相邻的电光装置之上连接所述第I部分与所述第2部分的第3部分，将所述第I端子与所述第2端子电连接；和将所述短路布线切断的工序。根据该方法，通过由短路布线将第I端子与第2端子电连接，能够强化作为静电保护电路的功能。具体地说，能够通过相互连接的短路布线使静电分散，能够防止局部的静电的带电。由此，能够防止在制造过程中产生的静电集中于一部分，能够强化对于包含数据线驱动电路以及扫描线驱动电路的周边电路的静电保护电路的功能。例如，能够防止数据线驱动电路以及扫描线驱动电路中所具备的晶体管、半导体元件、二极管由于静电而破坏。另夕卜，相同预定电位的布线增加，所以能够减小与电荷量相对的电位的变位，能够强化静电保护电路的功能。本应用例所涉及的电子设备，其特征在于具备上述的电光装置用基板。根据该结构，具备强化了制造过程中的静电对策、能够高成品率地制造的电光装置，所以能够提供具有较高的成本性能比的电子设备。附图说明图I是表示母基板的结构的模式俯视图。图2是放大表示图I所示的母基板的A部分的放大俯视图。图3是表示液晶装置的构造的模式俯视图。图4是沿着图3所示的液晶装置的C-C’线的模式剖视图。、图5是表示液晶装置的电结构的等价电路图。图6是表示液晶装置的构造的模式剖视图。图7大表示图2中的母基板的B部分的模式俯视图。图8是表示静电保护电路的例子的等价电路图。图9是按照工序顺序表示液晶装置的制造方法的流程图。图10是表示液晶装置的制造方法中的一部分工序的模式俯视图。图11是表示作为具备液晶装置的电子设备的一例的液晶投影机的结构的模式图。、符号说明11 :液晶装置，12 :第I基板，13 :第2基板14 :密封件，15 :液晶层，16 :注入口，17 :封闭件18 :边框遮光膜，19 :显示区域，21 :像素区域22 :数据线驱动电路，23 :外部连接用端子23a :作为第I端子的第I外部连接用端子23b :作为第2端子的第2外部连接用端子24 :扫描线驱动电路，25 :检查电路26 :上下导通端子，27 :像素电极28 :第I取向膜，29 :信号布线31 :公共电极，32 :第2取向膜33 :TFT 元件，34 :数据线35 :栅电极，36 :电容线37 :存储电容，41 :扫描线(下侧遮光膜)42 :基底绝缘膜，43 :半导体层，43a :沟道区域43b :低浓度源极区域，43c :低浓度漏极区域43d :高浓度源极区域，43e :高浓度漏极区域44 :栅绝缘膜，45 第I层间绝缘膜46、51、55、58 :中继层47、52、54、56、59 :接触孔53 :第2层间绝缘膜，57 :电容电极61 :第3层间绝缘膜，62 :存储电容63 电介质膜，64 电容分离膜65 :划线，66 :短路布线71a、71b :静电保护电路100 :作为电光装置用基板的母基板200 :兀件基板，300 :相对基板901 :液晶投影机，911R、911G、911B :光阀912 :灯单元，913 :反射镜，914 :分色镜915 :入射透镜，916 :中继透镜，917 :射出透镜918 :中继透镜系统，919 :分色棱镜920 :投射透镜，921 :屏幕具体实施例方式下面，根据附图对本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种电光装置用基板，其特征在于，在该电光装置用基板形成有多个电光装置，所述多个电光装置中的一个电光装置具备：第1端子；第2端子；和短路布线，其具有从所述第1端子向与所述一个电光装置相邻的电光装置延伸的第1部分、从所述第2端子向所述相邻的电光装置延伸的第2部分和在所述相邻的电光装置之上连接所述第1部分与所述第2部分的第3部分，将所述第1端子与所述第2端子电连接。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：吉井荣仁，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：
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