本发明专利技术提供一种在脆性材料基板的分断时可阻止分断端面彼此干涉、且得到没有缺口的整齐分断端面的折断装置。此折断装置，是对形成有划线S之面相反侧之面朝划线S压接折断杆B，据以使脆性材料基板弯成V字形后沿划线S加以分断，其中，折断杆是由以长条硬质构件形成且在按压方前端具备前端抵接部8a的杆本体8、与由柔软的弹性构件形成且以夹着前端抵接部8a彼此成对的方式安装在杆本体8的左右裙片9，9构成，左右裙片9，9倾斜形成为越接近前端越从杆本体8往外侧扩张且其前端9a较前端抵接部8a突出于按压方向侧。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术是关于玻璃基板、半导体基板等脆性材料基板的折断装置，进一步详言之，是关于将在前工艺形成有划线(切槽)的基板，沿该划线加以分断的折断装置。
技术介绍
在将玻璃等脆性材料基板加以分断的加工中，以使用刀轮(cutter wheel、也称scribing wheel)等的槽加工用工具、或照射激光束以于基板表面形成划线(scribeline)，之后，沿着该划线施加外力使基板弯曲以折断(分断)的方法较为人知，例如专利文献I及专利文献2中已有所揭露。图6显示现有习知的脆性材料基板通常的折断方法程序的图。首先，如图6(a)所示，将脆性材料基板W装载于划线装置的装载台20上，在其表面使用刀轮21形成划线S。其次，如图6(b)所示，将脆性材料基板W装载于铺有弹性体缓冲片23的折断装置的装载台22上。此时，将脆性材料基板W反转成形成有划线S的表面(表面侧)朝向缓冲片23、而相反侧的表面(背面侧)为上面。接着，从朝下的划线S的背面上方，降下一沿着划线S延伸的长条板状折断杆24从脆性材料基板W的相反侧按压，借由使脆性材料基板W在缓冲片23上略弯曲成V字形，据以使划线S(裂痕)渗透于深度方向。据此，如图6(c)所示，脆性材料基板W即沿着划线S被折断。先行技术文献[专利文献I]日本专利第3787489号公报[专利文献2]特开平10-330125号公报
技术实现思路
专利技术欲解决的课题 根据该现有习知的方法，如图6 (C)所示，在使用折断杆24使脆性材料基板W弯曲成V字形加以分段时，会有左右基板的相邻上端缘部分25彼此挤压干涉而形成小缺口等受损的情形。当产生此种缺口时，即便是非常小的缺口，也会因该处而诱使在折断后的基板表面产生裂纹等，成为产生瑕疵品的重要原因。此外，当因缺口而产生的微小片残留在缓冲片23时，在进行次一折断时，有可能造成脆性材料基板W的损伤。尤其是在脆性材料基板W表面形成有微细电子电路的情形时，即有可能产生切断电子电路等的重大不良影响。因此，本专利技术的目的在提供一种在使脆性材料基板弯曲成V字形加以分断时可阻止分断端面彼此干涉、且得到没有缺口的整齐分断端面的新颖折断装置。用以解决课题的手段为解决上述课题而为的本专利技术的折断装置，对脆性材料基板从形成有划线的表面侧相反侧的背面侧朝向该划线压接折断杆，据以使该基板弯成V字形后进行沿该划线的分断，其中该折断杆，是由以长条硬质构件形成且在按压方前端具备前端抵接部的杆本体、与由较杆本体柔软的弹性构件形成且以夹着该前端抵接部彼此成对的方式安装在该杆本体的左右裙片构成；该左右裙片倾斜形成为越接近前端越从该杆本体往外侧扩张，且其前端较该前端抵接部突出于按压方向侧。专利技术效果根据本专利技术，在压接折断杆以使脆性材料基板弯曲成V字形后加以分断时，因左右裙片的弹性变形，脆性材料基板即受到从划线向左右分离的方向的力(增压)，由于此力，在分断的同时脆性材料基板的左右分断面被拉开而无分断面彼此干涉的情形，获得无缺口的整齐分断面的效果。上述左右裙片较佳形成为沿杆本体长度方向隔着间隔分割为多个。如此，裙片即易于变形，能使力量集中于抵接部分以赋予横方向的力。又，也可将左右裙片沿杆本体长度方向连续长长的形成。如此，即能沿着划线均匀 的赋予横方向的力。本专利技术中，较佳是在左右裙片的外侧面形成有沿杆本体长度方向的槽。如此，当裙片抵接于基板而被按压时能在槽的部分弯曲，即使裙片材质的硬度较高、或是相当厚的弹性树脂，也能容易的弹性变形。此外，借由弯曲动作，能对基板有效的作用于水平方向拉开的力。附图说明图I显示本专利技术的折断装置的一例的立体图。图2显示在折断装置的一折断杆例的立体图。图3用以说明折断杆的动作的剖面图。图4显示在折断杆的裙片的其它实施例的立体图。图5显示在折断杆的裙片的再一实施例的立体图。图6显示现有习知的一般折断方法的图。1、20、22:装载台Ia:空气吸附孔5 :支承柱6 :横架7 :桥部8 :杆本体8a:杆本体的前端抵接部 9、9’ 裙片9a:裙片前端9b:裙片的槽9c :连结部9d :连结板部10 :轴11 :汽缸12 :摄影机13 :监视器21 :刀轮23 :缓冲片A :折断装置B、24:折断杆S :划线W :脆性材料基板具体实施例方式以下，根据图的揭示详细说明本专利技术的折断装置。图I显示本专利技术的折断装置的一例的立体图，图2显示在折断装置的一折断杆例的立体图，图3用以说明折断杆的动作的剖面图。折断装置A，具备装载待分断的脆性材料基板W(例如玻璃基板)的装载台I。此装载台I可沿水平轨道2，2移动于Y方向，被借由马达M旋转的螺栓3驱动。又，装载台I可借由内装马达的驱动部4在水平面内旋动。装载台I具备将装载于其上脆性材料基板W保持于定位置的保持手段。本实施例中，作为此保持手段，设有于装载台I开口的多数个小的空气吸附孔la，借由来自此空气吸附孔Ia的空气吸引吸附保持脆性材料基板W。又，除此之外，也可以用来抵接脆性材料基板W端面以进行定位的块体(block)或销(pin)作为保持手段。具备夹着装载台I设置的两侧的支承柱5，5与延伸于X方向的横架6的桥7，是跨在装载台21设置。在此横架6通过轴10将折断杆保持可升降，借由汽缸11进行升降。折断杆(brake bar)B，如图2及图3所示，具备配合形成于折断对象基板W的划线 S的长度延伸于水平方向的长条状杆本体8。杆本体8是以硬质构件(例如厚的硬质橡胶制)形成，被轴10支承，而能以轴10在按压基板W的方向升降。又，折断杆B的下端侧，在按压方向(向下方向)的前端形成有用以与基板W抵接的前端抵接部8a。前端抵接部8a是将前端的剖面作成三角形而成尖锐突出，形成棱线，而能沿划线S有效的传递按压力。当然，只要能有效的传递按压力的形状的话，前端抵接部8a的形状并无特别限定。例如，前端抵接部8a的剖面可以是半圆形。此外，若折断对象是如贴合基板般的表面、背面皆需进行按压的情形时，由于前端抵接部8a抵接的面也形成有划线，因此在此种情形时，可作成开叉(二股)的前端抵接部以避开划线S进行按压。在杆本体8的侧面，具备在中央夹着前端抵接部8a彼此成对、以较杆本体8柔软的弹性构件形成的左右一对的裙片9，9。具体而言，虽与杆本体8同样的使用硬质橡胶，但将其厚度作薄以作为增加了柔软性的弹性构件。如此，借由相同硬质橡胶的使用，可将杆本体8与裙片9 一体成形。当然，也可使用育杆本体8不同的柔软材料以对裙片9，9赋予柔软性。此左右一对的裙片9，9是倾斜形成为越接近前端(下端)、越从杆本体8向外扩张，且其前端部9a较杆本体8a的前端抵接部8a更突出于下方。又，为了使裙片9，9的弹性变形更为容易，在裙片9，9的外侧面设有沿杆本体8的长度方向的槽9b。进一步的，在本实施例中，如图2所示，左右裙片9，9形成为沿着杆本体8的长度方向隔着间隔、例如分割为四个。此等被分割为四个的裙片9’形成为与连结板部9d连结成一体。又，如图I所示，安装有用以检测脆性材料基板W的位置的摄影机12、与显示摄影机14拍摄的影像的监视器13。以摄影机12拍摄设在装载台I上的脆性材料基板W的角隅部表面的位置特定用对准标记，据以检测脆性材料基板W的位置。若对准标记是位于基准设定位置的话，即开始折断作业。但若对准标记相对基准设定位置有偏差本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种折断装置，其对脆性材料基板从形成有划线的表面侧相反侧的背面侧朝向该划线压接折断杆，据以使该基板弯成V字形后进行沿该划线的分断，其特征在于：该折断杆，是由以长条硬质构件形成且在按压方前端具备前端抵接部的杆本体、与由较杆本体柔软的弹性构件形成且以夹着该前端抵接部彼此成对的方式安装在该杆本体的左右裙片构成；该左右裙片倾斜形成为越接近前端越从该杆本体往外侧扩张，且其前端较该前端抵接部突出于按压方向侧。
【技术特征摘要】
2011.04.06 JP 2011-0847781.一种折断装置，其对脆性材料基板从形成有划线的表面侧相反侧的背面侧朝向该划线压接折断杆，据以使该基板弯成V字形后进行沿该划线的分断，其特征在于 该折断杆，是由以长条硬质构件形成且在按压方前端具备前端抵接部的杆本体、与由较杆本体柔软的弹性构件形成且以夹着该前端抵接部彼此成对的方式安装在该杆本体的左...
【专利技术属性】
技术研发人员：高松生芳，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。