【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用以防止设备或管道因超压而发生损坏的阀门，尤其是能够用于正负压变化的中压单晶炉中。
技术介绍
中压单晶炉是用于生产无位错单晶的设备，在其工作过程中需要先将设备抽真空到几帕以下，然后通入惰性气体生长单晶，正常工作时为正压，当压力超过规定压力值时需要安全阀能够快速开启泄压，目前使用的安全阀大多采用锥面密封，密封效果较差，设备真空度较难达到要求。
技术实现思路
为了克服现有安全阀密封效果的不足，本技术提供一种能适用于有正负压变化的安全阀，其密封效果良好。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是结构主要包括管道连接件，阀瓣，阀体，锁紧螺母，螺杆，弹簧，0形圈，螺钉和出气口，管道连接件和阀体之间通过螺钉连接起来，阀体与螺杆通过螺纹连接。阀瓣与管道连接件间安装有0形橡胶圈。阀体与阀瓣间采用弹簧式结构，通过螺纹连接方便快速调节安全阀的泄压压力，安全阀开启压力调好后通过圆螺母进行锁紧，安全阀与被连接件间采用0形橡胶圈进行端面密封，使得设备安全阀与设备间良好密封，设备抽真空时能在较短时间达到3Pa以下。本技术的有益效果是，既实现了安全泄压又能保证中压单晶炉初始时的真空度，密封效果好，而且结构简单，成本低。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。附图I是安全阀实施例的剖视简图。图中I.管道连接件，2.阀瓣，3.阀体，4.锁紧螺母，5.螺杆，6.弹簧，7.0形圈，8.螺钉，9.出气口具体实施方式参看附图，中压单晶炉安全阀结构主要由管道连接件(1)，阀瓣(2)，阀体(3)，锁紧螺母⑷，螺杆(5)，弹簧(6)，0形圈(7)，螺钉(8)，出气口(9)组成，管道连接件⑴和阀体...
【技术保护点】
一种中压单晶炉的安全阀，其特征是：结构主要包括管道连接件，阀瓣，阀体，锁紧螺母，螺杆，弹簧，O形圈，螺钉和出气口，管道连接件和阀体之间通过螺钉连接起来，阀体与螺杆通过螺纹连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孙海鸥，
申请(专利权)人：北京京仪世纪电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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