高温真空单晶烧结炉控温装置制造方法及图纸

技术编号:7884310 阅读:222 留言:0更新日期:2012-10-16 01:29
本实用新型专利技术涉及一种高温真空单晶烧结炉控温装置,属于控温装置。加热器与交直流转换装置电连接,交直流转换装置与变压器电连接,变压器与电流检测模块电连接,电流检测模块与控制电路、电源电连接,控制电路与温度控制器电连接,电流检测模块与报警装置电连接,温度控制器与加热器连接。本实用新型专利技术的优点在于:具有新颖性,用控温装置代替了钨铼热偶,控温装置与烧结炉的内加热装置结合为一体,通过温控仪表、控制电路、电流检测模块、交直流转换装置在前端就控制了温度,使工作温度准确稳定,降低了费用,提高了效率,更换简单,维修方便。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于一种控温装置,尤其是指一种应用在高温真空单晶烧结炉中的控温装置。技术背景高温真空单晶烧结炉在工作过程中需要随时监测温度,常规的测温方法是将钨铼热偶直接置于高温环境中获取烧结温度,现有技术无法解决在高温作用下氟化物对钨铼热偶的严重腐蚀,需要经常更换而造成极大浪费的问题。
技术实现思路
本技术提供一种高温真空单晶烧结炉控温装置,以解决在高温作用下氟化物对钨铼热偶的严重腐蚀,需要经常更换而造成极大浪费的问题。本技术采取的技术方案是加热器与交直流转换装置电连接,交直流转换装置与变压器电连接,变压器与电流检测模块电连接,电流检测模块与控制电路、电源电连接,控制电路与温度控制器电连接,电流检测模块与报警装置电连接,温度控制器与加热器连接。本技术的优点在于具有新颖性,用控温装置代替了钨铼热偶,控温装置与烧结炉的内加热装置结合为一体,通过温控仪表、控制电路、电流检测模块、交直流转换装置在前端就控制了温度,使工作温度准确稳定,降低了费用,提高了效率,更换简单,维修方便。附图说明图I是本技术的电路原理图。具体实施方式加热器8与交直流转换装置7电连接,交直流转换装置7与变压器3电连接,变压器3与电流检测模块I电连接,电流检测模块I与控制电路2、电源4电连接,控制电路2与温度控制器6电连接,电流检测模块I与报警装置5电连接,温度控制器6与加热器8连接。本技术的工作方式是控温装置与烧结炉的内加热装置结合为一体,通过温控仪表掌握控制温度变化,与温控仪表相连接的控制电路、电流检测模块、交直流转换装置使控制了温度的工作在前端完成,保证了工作温度准确稳定。权利要求1. ー种高温真空单晶烧结炉控温装置,其特征在于加热器与交直流转换装置电连接,交直流转换装置与变压器电连接,变压器与电流检测模块电连接,电流检测模块与控制电路、电源电连接,控制电路与温度控制器电连接,电流检测模块与报警装置电连接,温度控制器与加热器连接。专利摘要本技术涉及一种高温真空单晶烧结炉控温装置,属于控温装置。加热器与交直流转换装置电连接,交直流转换装置与变压器电连接,变压器与电流检测模块电连接,电流检测模块与控制电路、电源电连接,控制电路与温度控制器电连接,电流检测模块与报警装置电连接,温度控制器与加热器连接。本技术的优点在于具有新颖性,用控温装置代替了钨铼热偶,控温装置与烧结炉的内加热装置结合为一体,通过温控仪表、控制电路、电流检测模块、交直流转换装置在前端就控制了温度,使工作温度准确稳定,降低了费用,提高了效率,更换简单,维修方便。文档编号C30B35/00GK202465961SQ20122001834公开日2012年10月3日 申请日期2012年1月16日 优先权日2012年1月16日专利技术者静宇, 静枫 申请人:吉林省赛尔光电技术有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高温真空单晶烧结炉控温装置,其特征在于:加热器与交直流转换装置电连接,交直流转换装置与变压器电连接,变压器与电流检测模块电连接,电流检测模块与控制电路、电源电连接,控制电路与温度控制器电连接,电流检测模块与报警装置电连接,温度控制器与加热器连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:静宇静枫
申请(专利权)人:吉林省赛尔光电技术有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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