【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种密闭循环系统中,其中从所说压力容器外注入的清洗溶剂在其近临界点状态以高密度压缩液化气浓缩要在压力清洗容器中清洗的例如半导体等物体,附着在要清洗物体上的污物溶于高密度压缩液化气中,随后含所说污物的所说液化气被输送到回收箱或隔离容器,并被降压,以减小其密度,以便这些污物沉积隔离,另外,去掉了污物或杂质的清洗溶剂可以再用作高密度压缩液化气,或存储起来以便再利用;一种清洗和再循环溶剂的方法,其中用存在于近临界区及超临界状态的高密度压缩液化气作溶剂,利用越靠近其临界点加热气化或 冷却液化所需的能量越少的所说高密度压缩液化气的性质,通过气化和液化间的气压差,并利用气压差反过来产生的高度差进行供应,由此进行所说溶剂的整个传输,而不需要利用任何高压发生装置,同时在压力清洗容器中,高密度压缩液化气喷射到要清洗的物体上,预清洗掉大量污物,以便在压力清洗容器外去掉污物,从而防止污物的再附着,另外,利用超声能量产生的强制搅动、由于其膨胀影响整个溶剂的气蚀及分子团的形成,确保完美的清洗效果。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员:新井邦夫,猪俣宏,RL史密斯,
申请(专利权)人:电冰箱开发协同组合,新井邦夫,
类型:发明
国别省市:JP[日本]
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