【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶硅制备中使用的单晶炉导流罩。
技术介绍
在单晶硅的制备过程中，需要使用单晶炉拉制单晶硅。现有的单晶炉由炉体、石英坩埚和用于向石英坩埚中导入氮气的单晶炉导流罩组成，所述的单晶炉导流罩顶端设有边沿。在使用时 ，将单晶炉导流罩的边沿搭在石英坩埚上，并向其中通入氮气，氮气经过导流罩进入石英坩埚。其缺点是单晶炉导流罩伸入石英坩埚内且不能移动，石英坩埚内的原料最多只能与单晶炉导流罩的下表面平齐，石英坩埚的装料量少，单晶硅的生产效率低，生产成本高。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种单晶炉导流罩，以增加石英坩埚的装料量，提高单晶硅的生产效率，降低生产成本。本技术是这样实现的一种单晶炉导流罩，包括导流罩本体，在导流罩本体顶端设有边沿，其特殊之处是在边沿上端面沿圆周方向均匀地设有三个提环，在导流罩本体上方设有提拉杆和与提拉杆铰接的三个爪臂，在爪臂上设有外翻并可钩在提环上的爪钩。本技术的有益效果是由于设有提拉杆和爪臂，导流罩本体通过爪臂悬置石英坩埚上，通过提升导流罩本体，可加大石英坩埚的装料量；每炉可拉制更多单晶硅，提高了单晶硅的生产效率；生产单位质量的单晶硅耗费的人力、能源少，降低了生产成本。附图说明图I是本技术的结构示意图。图中导流罩本体1，边沿101，提环2，爪臂3，爪钩301，提拉杆4，销轴5。具体实施方式如图所示，该单晶炉导流罩包括导流罩本体1，在导流罩本体I顶端设有边沿101， 在边沿101上沿圆周方向均匀地通过螺栓连接有三个提环2，在导流罩本体I上方设有提拉杆4，在提拉杆4上与提环2对应位置通过销轴5设有可在竖直平面内转动的爪臂3，在...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉导流罩，包括导流罩本体，在导流罩本体顶端设有边沿，其特征是在边沿上端面沿圆周方向均匀地设...
【专利技术属性】
技术研发人员：王存，赵极，潘强，
申请(专利权)人：锦州佑华硅材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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