一种固晶机制造技术

一种固晶机，属于半导体封装设备技术领域。包括支撑平台，在支撑平台的中央位置设有具有顶针的顶针机构；第一、第二固晶运动机构，第一固晶运动机构设在支撑平台的左侧，第二固晶运动机构设在支撑平台的右侧；一支撑立座，固定在支撑平台的后侧；一具有第一固晶摆臂的第一固晶邦头和一具有第二固晶摆臂的第二固晶邦头，均设置在支撑立座上；设置在支撑立座上的第一、第二点胶模块，第一点胶模块位于支撑立座的左端，第二点胶模块位于支撑立座的右端；设置在所述支撑立座上的第一、第二相机模块和第三相机模块；一取晶运动机构，设在支撑平台的前侧。优点：具有经济上的廉价性并且能保障固晶机的整体结构的简练。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体封装设备
，具体涉及ー种固晶机。
技术介绍
如业界所知之理，在半导体器件如IC和LED等的封装过程中，固晶是极其重要的环节。固晶的过程是首先由点胶机构(也称点胶模块)在基板的固晶エ位上点胶，而后由固晶机构(也称固晶邦头)的固晶摆臂(也称取晶摆臂)将半导体晶粒从晶圆上取出，进而转移到已点好胶的固晶エ位上。在相同固晶良品率(质量)条件下，固晶机的固晶效率是评价固晶机性能的重要指标。在已公开的中国专利文献中虽然可见诸固晶装置的技术信息，例如CN101281878B推荐有“固晶机取晶臂驱动控制装置”和CN10195838A提供有“固晶机邦头机构”，等等，但是未披露如何提高固晶机的固晶效率的技术信息。 制约提高固晶效率的因素主要是固晶邦头的工作频率问题，这是由于固晶邦头的固晶摆臂的工作行程是由晶圆和固晶对象(引线框架或PCB板)的尺寸決定的，因此在不改变固晶邦头的固晶臂工作行程条件下，是难以显著提高固晶邦头的工作频率的，即使通过相应的技术手段藉以提高固晶邦头的工作频率，则付出的代价也是极其高昂的。鉴于上述已有技术，有必要从产业自主的角度出发而设计出ー种既能显著提高固晶效率又能体现经济廉价且实用的固晶机。为此，本申请人作了有益的探索与设计，下面将要介绍的技术方案便是在这种背景下产生的。
技术实现思路
本技术的任务在于提供一种有助于显著提高固晶效率和有利于体现经济性并且结构简练的固晶机。本技术的任务是这样来完成的，ー种固晶机，包括一支撑平台，在该支撑平台的中央位置设有一具有顶针的顶针机构；第一、第二固晶运动机构，第一固晶运动机构设在支撑平台的左侧，而第二固晶运动机构设在支撑平台的右侧并且与第一固晶运动机构相对应；一支撑立座，该支撑立座固定在支撑平台的后侧，并且以腾空状态对应于第一、第二固晶运动机构的上方；一具有在所述顶针机构与第一固晶运动机构之间运动的第一固晶摆臂的第一固晶邦头和一具有在顶针机构与第二固晶运动机构之间运动的第二固晶摆臂的第ニ固晶邦头，第一、第二固晶邦头均设置在所述的支撑立座上，并且位于支撑立座的长度方向的中部；设置在所述支撑立座上的用于对置于所述第一固晶运动机构上的载具上的固晶对象进行点胶的第一点胶模块和用于对置于所述第二固晶运动机构上的载具上的固晶对象进行点胶的第二点胶模块，其中，第一点胶模块位于支撑立座的左端，并且与第一固晶运动机构的上方相对应，而第二点胶模块位于支撑立座的右端，并且与第二固晶运动机构的上方相对应；设置在所述支撑立座上的第一、第二相机模块和第三相机模块，其中，第二相机模块位于第一、第三相机模块之间，并且第一相机模块伴随于所述的第一点胶模块，第三相机模块伴随于所述的第二点胶模块，而第二相机模块与所述的顶针相对应；一与所述的顶针机构相配合的用于提供晶圆的取晶运动机构，该取晶运动机构设在所述支撑平台的前侧，位于所述第一、第二固晶运动机构之间，并且与所述支撑立座相对应。在本技术的ー个具体的实施例中，所述的顶针是上下垂直运动的。在本技术的另ー个具体的实施例中，设置在所述支撑平台的左侧的所述第一固晶运动机构的结构是与设置在支撑平台的右侧的所述的第二固晶运动机构的结构相同的，并且均可作X方向和Y方向的两坐标直线运动。在本技术的又ー个具体的实施例中，所述的第二固晶运动机构包括ー对彼此并行的第一导轨座、第一、第二电机、第一、第二螺杆座、第一、第二螺杆，第一载具移动装置和第二载具移动装置，ー对第一导轨座固定在所述支撑平台的右侧，各第一导轨座的长度方向的上部固设有ー第一导轨，第一电机固定在支撑平台上，并且对应于所述的ー对第一导轨座的一端，第二电机同样固定在支撑平台上，并且对应于ー对第一导轨座的另一端，第一螺杆座固定在ー对第一导轨座之间并且位于ー对第一导轨座的一端，第二螺杆座同样固定在ー对第一导轨座之间，并且位于ー对第一导轨座的另一端，与第一螺杆座相对应，第一、第二螺杆彼此并行，并且转动地支承在第一、第二螺杆座之间，其中，第一螺杆与所述的第一电机传动连接，而第二螺杆与所述的第二电机传动连接，第一载具移动装置和第二载具移动装置滑动配设在所述的ー对第一导轨上，其中第一载具移动装置与所述第一螺杆传动配合，而第二载具移动装置与所述第二螺杆传动配合。在本技术的再ー个具体的实施例中，所述的第一、第二电机均为正反转电机。在本技术的还有ー个具体的实施例中，所述的第一、第二载具移动装置的结构是相同的，所述的第一载具移动装置包括第一滑动座、第三螺杆座、第三电机、第三螺杆、第一载具滑台和第一载具，第一滑动座与所述的ー对第一导轨滑动配合，并且通过滑动座螺母与所述的第一螺杆传动配合，第二导轨座固定在第一滑动座上，在该第二导轨座的长度方向的两侧的上部各固定有一第二导轨，第三电机固定在第二导轨座上，第三螺杆转动地支承在第三螺杆座上，并且与第三电机传动连接，第一载具滑台与所述的ー对第二导轨滑动配合，并且通过滑台螺母与所述第三螺杆传动配合，第一载具固定在第一载具滑台上。在本技术的更而ー个具体的实施例中，所述的第三电机为正反转电机。在本技术的进而ー个具体的实施例中，在所述的第一固晶摆臂的末端设置有用于吸取晶圆的第一吸嘴，而所述的第二固晶摆臂的末端同样设置有用于吸取晶圆的第二吸嘴；在所述的第一、第二点胶模块上各配设有用于盛装银浆的容器和用于点胶的点胶嘴。在本技术的又更而ー个具体的实施例中，所述的取晶运动机构包括第三导轨座、第四电机、第四螺杆和晶圆夹具移动装置，第三导轨座固定在所述的支撑平台的前侧，在该第三导轨座的长度方向的彼此对应的壁体的顶部各固定有一第三导轨，第四电机固定在第三导轨座上，第四螺杆转动地支承在第三导轨座上，并且与第四电机传动连接，晶圆夹具移动装置与所述的ー对第三导轨滑动配合，并且通过螺母与第四螺杆传动配合，其中该晶圆夹具移动装置伸展到所述的顶针机构的部位，并且对应于所述顶针的上方，所述第四电机为正反转电机。在本技术的又进而ー个具体的实施例中，所述的晶圆夹具移动装置包括第二滑动座、第四导轨座、第五电机、第五螺杆、夹具滑动座、夹具臂和晶圆夹具，第二滑动座与所述的ー对第三导轨滑动配合，并且还通过螺杆螺母与所述的第四螺杆传动连接，第四导轨座的一端固定在第二滑动座上，而另一端构成为悬臂端，并且朝着所述的顶针机构的方向伸展，在该第四导轨座的长度方向的彼此对应的壁体的顶部各固定有一第四导轨，第五电机固定在第四导轨座上，第五螺杆转动地支承在第四导轨座上，并且与第五电机传动连接，夹具滑动座与所述的ー对第四导轨滑动配合，并且通过螺杆螺母与第五螺杆传动连接，夹具臂的一端固定在夹具滑动座上，另一端朝向所述顶针的方向伸展，晶圆夹具固定在夹具臂946的所述另一端，并且与顶针相对应，所述第五电机为正反转电机。本技术提供的技术方案相对于已有技术而言，由第一、第二、第三相机模块、第一、第二点胶模块、第一、第二固晶邦头和第一、第二固晶运动机构的配合而可使固晶速度提高一倍，尤其由第一、第二固晶运动机构满足固晶机的无停息作业；由于将第一、第二固晶运动机构择用了螺杆式的传动结构，因此具有经济上的廉价性并且能保障固晶机的整体结构的简练。附图说明 图I为本技术的一具体的实施例结构图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固晶机，其特征在于包括一支撑平台(I)，在该支撑平台(I)的中央位置设有ー具有顶针(111)的顶针机构(11);第一、第二固晶运动机构(2、3)，第一固晶运动机构(2)设在支撑平台(I)的左侧，而第二固晶运动机构(3)设在支撑平台(I)的右侧并且与第一固晶运动机构(2)相对应；一支撑立座(4)，该支撑立座(4)固定在支撑平台(I)的后侧，并且以腾空状态对应于第一、第二固晶运动机构(2、3)的上方；一具有在所述顶针机构(11)与第一固晶运动机构⑵之间运动的第一固晶摆臂(51)的第一固晶邦头(5)和一具有在顶针机构(11)与第二固晶运动机构(3)之间运动的第二固晶摆臂(61)的第二固晶邦头(6)，第一、第二固晶邦头(5、6)均设置在所述的支撑立座(4)上，并且位于支撑立座(4)的长度方向的中部；设置在所述支撑立座(4)上的用于对置于所述第一固晶运动机构(2)上的载具上的固晶对象进行点胶的第一点胶模块(7a)和用于对置于所述第二固晶运动机构(3)上的载具上的固晶对象进行点胶的第二点胶模块(7b)，其中，第一点胶模块(7a)位于支撑立座(4)的左端，并且与第一固晶运动机构(2)的上方相对应，而第二点胶模块(7b)位于支撑立座(4)的右端，并且与第二固晶运动机构(3)的上方相对应；设置在所述支撑立座(4)上的第一、第二相机模块(8a、8b)和第三相机模块(Sc)，其中，第二相机模块(Sb) 位于第一、第三相机模块(8a、8c)之间，并且第一相机模块(8a)伴随于所述的第一点胶模块(7a)，第三相机模块(Sc)伴随于所述的第二点胶模块(7b)，而第二相机模块(Sb)与所述的顶针(111)相对应；一与所述的顶针机构(11)相配合的用于提供晶圆的取晶运动机构(9)，该取晶运动机构(9)设在所述支撑平台(I)的前侧，位于所述第一、第二固晶运动机构(2、3)之间，并且与所述支撑立座(4)相对应。2.根据权利要求I所述的固晶机，其特征在于所述的顶针(111)是上下垂直运动的。3.根据权利要求I所述的固晶机，其特征在于设置在所述支撑平台(I)的左侧的所述第一固晶运动机构(2)的结构是与设置在支撑平台(I)的右侧的所述的第二固晶运动机构(3)的结构相同的，并且均可作X方向和Y方向的两坐标直线运动。4.根据权利要求3所述的固晶机，其特征在于所述的第二固晶运动机构(3)包括ー对彼此并行的第一导轨座(31)、第一、第二电机(32a、32b)、第一、第二螺杆座(33a、33b)、第一、第二螺杆(34a、34b),第一载具移动装置(35)和第二载具移动装置(36),—对第一导轨座(31)固定在所述支撑平台(I)的右侧，各第一导轨座(31)的长度方向的上部固设有ー第一导轨(311)，第一电机(32a)固定在支撑平台(I)上，并且对应于所述的ー对第一导轨座(31)的一端，第二电机(32b)同样固定在支撑平台(I)上，并且对应于ー对第一导轨座(31)的另一端，第一螺杆座(33a)固定在ー对第一导轨座(31)之间并且位于ー对第一导轨座(31)的一端,第二螺杆座(33b)同样固定在ー对第一导轨座(31)之间，并且位于ー对第一导轨座(31)的另一端，与第一螺杆座(33a)相对应,第一、第二螺杆(34a、34b)彼此并行，并且转动地支承在第一、第二螺杆座(33a、33b)之间，其中，第一螺杆(34a)与所述的第ー电机(32a)传动连接,而第二螺杆(34b)与所述的第二电机(32b)传动连接,第一载具移动装置(35)和第二载具移动装置(36)滑动配设在所述的ー对第一导轨(311)上，其中 第ー载具移动装...

【专利技术属性】
技术研发人员：王敕，杨宁，
申请(专利权)人：常熟艾科瑞思封装自动化设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：