【技术实现步骤摘要】
本技术涉及化学气相沉积(简称CVD)金刚石涂层拉丝模制备技术,属冶金类金属材料镀覆领域,尤其是一种拉丝模具的微孔金刚石涂层装置。
技术介绍
从事专业CVD气相沉积的技术人员均知道,CVD气相沉积法沉积金刚石薄膜生产工艺中,高温下的热丝变形烧伤工件内表面是一件很难克服的问题,例如中国专利ZL98110896. 2公开了一种金刚石涂层拉丝模,其采用一般的横向穿约法只适应于大孔径(Φ4. 00以上)的模具作表面涂层,但由于热丝要在高温下的自然下垂和抖动,虽然不至于烧伤工件内表面,但由于热丝与工件轴心距离发生了变化,导致生产的金刚石薄膜厚度不均匀影响产品的质量,由于横向安装热丝的方法存在严重的不足,有关科技人员便实用新 型垂直方向安装热丝,例如中国专利ZL200810044524. 5公开了一种小孔径金刚石涂层拉丝模具制备方法,通过垂直方向安装热丝,可以在很小的孔径表面制作金刚石薄膜,但由于热丝是通过不锈钢弹簧直接与电极相接触,目前,现有的弹簧材料不能承受2000°C的高温,现实工业中一般用金属材料钥作为高温电极,因为钥是耐高温且导电性良好,但因钥材料为粉未冶金材料,是不可以用来制作弹簧的,所以只能用含镍量较高的不锈钢材料来制作弹簧电极。这样导致于热丝经常烧坏弹簧电极,使生产无法正常开展。
技术实现思路
本技术针对上述技术问题,提供了一种涂层效果好,模具内孔涂层均匀的拉丝模具的微孔金刚石涂层装置及涂层制备方法。为解决上述技术问题,本技术制作拉丝模具的微孔金刚石涂层装置的技术方案为一种拉丝模具的微孔金刚石涂层装置,包括热丝、拉丝模,热丝穿过拉丝模的模孔位于拉丝模的轴心 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种拉丝模具的微孔金刚石涂层装置,包括热丝、拉丝模,热丝穿过拉丝模的模孔位于拉丝模的轴心,热丝两端分别连接电极,其特征在于若干个拉丝模间隔放置在支架的斜面上,热丝下端与一电极固定连接,热丝上端绕接另一电极后与高温弹簧连接。2.根据权利要求I所述的一种拉丝模具的...
【专利技术属性】
技术研发人员:殷世春,任国东,杨国胜,潘晔华,
申请(专利权)人:宜兴市景程模具有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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