升降抖动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种升降抖动装置，其特征在于，包括：挂篮支架；抖动驱动装置，抖动驱动装置与挂篮支架连接；抖动驱动装置驱动挂篮支架上下往复运动；提升驱动装置，提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。本实用新型专利技术中的升降抖动装置，既可以使支架上下抖动，蚀刻时，使产品抖动可及时去除蚀刻产生的粉末，提高蚀刻质量；清洗时抖动，可提高清洗效果，且清洗完成后抖动能够快速去除产品表面的水滴。本实用新型专利技术中的升降抖动装置还可以自动实现使产品上升或下降，自动将产品放入蚀刻液或清洗水中，处理完成后自动将产品提升出液面。提升与抖动功能可相互配合，使用方便。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ー种升降抖动装置。
技术介绍
晶圆、引线框架或者PCB板生产过程中需要蚀刻、清洗。蚀刻过程中容易产生材料粉末，蚀刻过程如无法及时去除粉末，则会影响蚀刻的质量。蚀刻完成后，如果粉末粘附在产品上，会影响产品的质量，因此需要去除粉末。去除粉末的ー种方法是清洗，利用水冲洗产品，将粉末去除。但在用水清洗过程中，粉末有可能粘附カ比较大而难以去除。清洗完成后，产品表面会粘附大量的水滴，影响了产品的干燥时间。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术中的不足，提供ー种有助于去除产品表面的水滴的升降抖动装置。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案实现升降抖动装置，其特征在干，包括挂篮支架；抖动驱动装置，抖动驱动装置与挂篮支架传动连接；抖动驱动装置驱动挂篮支架上下往复运动；提升驱动装置，提升驱动装置与挂篮支架传动连接，提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。优选地是,所述的抖动驱动装置为第一电机，第一电机的输出轴上设置有偏心装置，偏心装置与挂篮支架连接；驱动装置驱动偏心装置转动；偏心装置驱动挂篮支架上下往复运动。优选地是，所述偏心装置包括圆形的驱动转盘和从动转盘；所述从动转盘安装于驱动转盘的非圆心位置。优选地是，所述的挂篮支架包括抖动基板，抖动基板搭靠在从动转盘上。优选地是，所述从动转盘为圆形，且可转动地安装在驱动转盘上。优选地是，提升驱动装置通过传动装置与挂篮传动连接；传动装置包括推杆，提升驱动装置驱动推杆上下运动。优选地是，所述的挂篮包括抖动基板，抖动基板设置于推杆向上移动的路线上；抖动基板上安装有限位装置；所述限位装置与抖动基板之间具有容纳从动圆盘的间隙，将从动圆盘限制于限位装置与抖动基板之间；所述限位装置可转动地设置；限位装置设置于推杆向上移动的路线上，推杆向上移动时推动限位装置旋转，并且在限位装置旋转后脱离对从动圆盘的限制。优选地是，所述的限位装置为Z形架。优选地是，所述Z字形架包括依次连接的第一板、第二板和第三板；第一板与第二板之间的夹具α小于90° ;第二板与第三板之间的夹角β大于等于90° ;第一板位于推杆向上移动的路线上；第一板可转动地设置。优选地是，所述提升驱动装置通过齿轮换向器与推杆传动连接；提升驱动装置通过齿轮换向器驱动推杆上下移动。优选地是，还包括固定基板，所述提升驱动装置和抖动驱动装置安装于固定基板上。优选地是，还包括导向杆；挂篮支架设置有抖动基板，导向杆穿过抖动基板；抖动基板可沿导向杆滑动。优选地是，所述抖动驱动装置为第一电机。优选地是，所述提升驱动装置为第二电机。·本技术中的升降抖动装置，既可以使支架上下抖动，蚀刻时，使产品抖动可及时去除蚀刻产生的粉末，提高蚀刻质量；清洗时抖动，可提高清洗效果，且清洗完成后抖动能够快速去除产品表面的水滴。本技术中的升降抖动装置还可以自动实现使产品上升或下降，自动将产品放入蚀刻液或清洗水中，处理完成后自动将产品提升出液面。提升与抖动功能可相互配合，使用方便。附图说明图I为本技术结构示意图。图2为本技术侧视图。图3为本技术半剖立体图。图4为图3的侧视图。图5为本技术抖动驱动和提升驱动结构示意图。图6为Z字形架结构示意图。图7为本技术中的Z字形架工作原理结构示意图。具体实施方式以下结合附图对本技术进行详细的描述如图I、图2、图3、图4及图5所示，升降抖动装置，包括固定基板I。固定基板I上表面安装有第一电机2,下表面安装有第二电机3。第一电机2的输出轴21上安装有驱动转盘22。驱动转盘22上安装有可转动的从动转盘23。从动转盘23通过转轴231可转动地安装在驱动转盘22的非圆心位置上。从动转盘23既可以绕转轴231转动，也可以随驱动转盘23绕输出轴21转动。固定基板I上设置有两根间隔设置的第一导向杆11和第ニ导向杆12。挂篮支架4上设置有抖动基板41。第一导向杆11和第二导向杆じ穿过抖动基板41。抖动基板41可沿第一导向杆11和第二导向杆12上下滑动。抖动基板41设置于从动转盘23上方，搭靠在从动转盘23上。抖动基板41下表面设置有可转动的Z字形架6。如图6所不，Z字形架6包括依次连接的第一板61、第二板62和第三板63。第一板61与第ニ板62之间的夹具α小于90°，本技术为75°。第二板62与第三板63之间的夹角β大于等于90°，本技术中β为90。;第一板61位于推杆5向上移动的路线上；第一板61可转动地设置。Z字形架6将从动转盘23限制于第三板63与抖动基板41之间。此时如果抖动基板41上升或下降，均会带动从动转盘23 —起上升或下降。Z字形架6可转动地设置在抖动基板41上，在Z字形架6转动一定角度后，其脱离对从动转盘23的限制。此时抖动基板41上升时，将不会带动从动转盘23移动。第二电机3通过齿轮换向装置31与推杆5传动连接。推杆5穿过固定基板I。Z字形架6位于推杆5向上移动的路线上。推杆5向上移动时，推动Z字形架6转动，使Z字形架6脱离对从动转盘23的限制。使用时，启动第二电机3使其输出轴转动，驱动推杆5向上推动挂篮支架4至合适位置。将放置有晶圆或引线框架的挂篮挂在挂篮支架4上。关闭第二电机3或使第二电机3输出轴反向旋转，推杆5下降。挂篮支架4在重力作用下下降。在挂篮支架4下降过程，推杆5始終抵靠住Z字形架6的第一板61，防止其转动，Z字形架6的状态如图4所示。直至挂篮支架4下降至晶圆或引线框架浸入液体中，此时抖动基板41搭靠在从动转盘23上。如图7所示，推杆5继续下降，失去对Z字形架6的抵靠力。由于α小于90°，Ζ字形架6在重力作用下转动至限制从动转盘23的位置，将从动转盘23限制在Z字形架6的第三板63与抖动基板41之间。启动第一电机2，使驱动转盘22转动，从而带动从动转盘23转动。由于从动转盘23设置在驱动转盘22的非圆心位置，因此从动转盘23随驱动转盘22转动过程中，其高度也发生变化。从动转盘23高度位置的变化带动挂篮支架4上下往复运动，达到抖动的效果。处理完成后需要提升挂篮支架4时，在图7所示的状态下，启动第二电机3驱动推杆5向上移动。推杆5抵靠Z字形架6时使其旋转，Z字形架6旋转一定角度后脱离对从动轮盘23的限制。推杆5继续向上移动，推动抖动基板41上升，直至适合取放挂篮的位置。本技术中的实施例仅用于对本技术进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本技术保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.升降抖动装置，其特征在于，包括 挂篮支架； 抖动驱动装置，抖动驱动装置与挂篮支架传动连接；抖动驱动装置驱动挂篮支架上下往复运动； 提升驱动装置，提升驱动装置与挂篮支架传动连接，提升驱动装置驱动挂篮支架上升或下降。2.根据权利要求I所述的升降抖动装置，其特征在于，所述的抖动驱动装置为第一电机，第一电机的输出轴上设置有偏心装置，偏心装置与挂篮支架连接；驱动装置驱动偏心装置转动；偏心装置驱动挂篮支架上下往复运动。3.根据权利要求2所述的升降抖动装置，其特征在于，所述偏心装置包括圆形的驱动转盘和从动转盘；所述从动转盘安装于驱动转盘的非圆心位置。4.根据权利要求3所述的升降抖动装置，其特征在于，所述的挂篮支架包括抖动基板，抖动基板搭靠在从动转盘上。5.根据权利要求4所述的升降抖动装置，其特征在于，所述从动转盘为圆形，且可转动地安装在驱动转盘上。6.根据权利要求I所述的升降抖动装置，其特征在于，提升驱动装置通过传动装置与挂篮传动连接；传动装置包括推杆，提升驱动装置驱动推杆上下运动。7.根据权利要求6所述的升降抖动装置，其特征在于，所述的挂篮包括抖动基板，抖动基板设置于推杆向上移动的路线上；抖动基板上安装有限位装置；所述限位装置与抖动基板之间具有...

【专利技术属性】
技术研发人员：王振荣，刘红兵，黄利松，
申请(专利权)人：上海新阳半导体材料股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：