风机过滤器机组控制方法及设备、晶圆加工方法技术

本发明专利技术提供了风机过滤器机组控制方法及设备、晶圆加工方法。根据本发明专利技术的风机过滤器机组控制设备包括：光耦和继电器；其中，继电器的线圈两端分别连接至风机过滤器机组的风扇的两端以监控风扇电压是否正常；风扇的两端施加了用于驱动风扇工作的驱动电压；在线圈中不存在电流的情况下，继电器断开；并且，在风扇工作正常从而线圈中存在电流的情况下，继电器接通。设备还包括：二极管、电阻；二极管与风扇串联，监控风扇电流是否正常，提供光耦的采样电压信号。当风扇工作电流正常时，电流通过二极管而产生压降，光耦输入端即有电流通过，从而输出端导通。电阻用来限制光耦输入端电流不超过光耦的最大额定电流。

【技术实现步骤摘要】
风机过滤器机组控制方法及设备、晶圆加工方法
本专利技术涉及半导体制造领域，更具体地说，本专利技术涉及一种风机过滤器机组控制设备、相应的风机过滤器机组控制方法、以及采用了该风机过滤器机组控制方法的晶圆加工方法。
技术介绍
晶圆从生产制造到运送，都需在密闭无尘的条件下进行；传统以洁净室生产晶圆的方式是将生产设备置于洁净室内。晶圆隔离进出料技术的概念则是将洁净室直接设置于设备中，其中包括晶圆盒（POD,一种密封隔离洁净容器）、SMIFI/O（input&Output）及迷你洁净环境（Minienvironment）三项主要技术。晶圆隔离技术又称为标准机械接口（StandardMechanicalInterface,SMIF，国际半导体协会（SemiconductorEquipmentMaterialInternationalAssociation，SEMI）更SMIF列为12寸晶圆厂的标准，成为未来进入0.13μm及更微细线宽制程需求洁净度的主流技术。如图1所示，风机过滤器机组（FilterFanUnit，FFU，也称为滤网风机模块）用于保证洁净室内一定的风速和洁净度，由风扇3和过滤器（未示出）组成。风机过滤器机组对于在半导体制造期间，经由晶圆输送盒2向加工设备加载晶圆或者从加工设备卸载晶圆的过程中，产生迷你洁净环境来说，是非常关键的；这是因为在上述过程中，晶圆从晶圆盒1暴露出来。对于电路加工工艺，例如外延或者硅锗沉积，对晶圆上的颗粒进行控制对于确保良好的膜质量来说是非常重要的。当风机过滤器机组出现故障或者停运时，在外延或者硅锗沉积等工艺过程中，在晶圆表面会出现颗粒聚集或者颗粒堆叠。根据现有的标准机械接口SMIF的信号传递设计，对风机过滤器机组的故障没有进行互锁设计。由此，当风机过滤器机组出现故障或者停运时，由于在外延或者硅锗沉积等工艺过程中容易在晶圆表面会出现颗粒聚集或者颗粒堆叠，所以容易造成工艺缺陷等问题。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种当风机过滤器机组出现故障或者停运时能够防止工艺缺陷的风机过滤器机组控制设备、相应的风机过滤器机组控制方法、以及采用了该风机过滤器机组控制方法的晶圆加工方法。根据本专利技术的第一方面，提供了一种风机过滤器机组控制方法，包括：在向晶圆盒载入晶圆之前，检测风机过滤器机组中的风扇的工作状态；在风机过滤器机组中的风扇工作正常的情况下，向晶圆盒载入晶圆；在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，不向晶圆盒载入晶圆。优选地，在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，发出中断信号。根据本专利技术的第二方面，提供了一种风机过滤器机组控制方法，包括：在从晶圆盒卸载晶圆之前，检测风机过滤器机组中的风扇的工作状态；在风机过滤器机组中的风扇工作正常的情况下，从晶圆盒卸载晶圆；在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，不从晶圆盒卸载晶圆。优选地，在风机过滤器机组中的风扇工作不正常的情况下，发出中断信号。根据本专利技术的第三方面，提供了一种晶圆加工方法，其特征在于采用了上述风机过滤器机组控制方法。根据本专利技术的第四方面，提供了一种风机过滤器机组控制设备，其包括：光耦和继电器；其中，所述线圈两端分别连接至风机过滤器机组的风扇的两端；所述风扇的两端施加了用于驱动所述风扇工作的驱动电压；其中，在所述线圈中不存在电流的情况下，所述继电器断开，所述风机不存在电流情况下，所述光耦断开；并且，在所述风扇工作正常从而所述线圈和光耦中存在电流的情况下，所述继电器和光耦输出端同时接通；优选地，在所述线圈接通并且光耦导通的情况下，所述线圈和光耦输出启动信号。优选地，所述启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作，或者启动信号用于启动从晶圆盒卸载晶圆的操作，或者启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作以及从晶圆盒卸载晶圆的操作。优选地，所述驱动电压等于24V。根据本专利技术的第五方面，提供了一种风机过滤器机组控制设备，其包括：光耦和继电器；其中，所述线圈两端分别连接至风机过滤器机组的风扇的两端；所述风扇的两端施加了用于驱动所述风扇工作的驱动电压；其中，在所述线圈中不存在电流的情况下，所述继电器断开，所述风机不存在电流情况下，所述光耦断开；并且，在所述风扇工作正常从而所述线圈和光耦中存在电流的情况下，所述继电器和光耦输出端同时接通；并且，所述风机过滤器机组控制设备还包括：二极管、电阻；二极管的输入端连接至风扇和线圈的公共连接端；光耦的发光器件输入端也连接至风扇和线圈的所述公共连接端；电阻连接在二极管的输出端和光耦的发光器件输出端之间（限制光耦的输入电流在额定电流内）；光耦的感光器件输出端连接至继电器。在所述线圈接通且光耦的感光器件感测出电流的情况下，所述线圈输出启动信号。优选地，所述启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作，或者启动信号用于启动从晶圆盒卸载晶圆的操作，或者启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作以及从晶圆盒卸载晶圆的操作。根据本专利技术，通过将风机过滤器机组的风扇的工作状态（正常工作或出现电压或电流故障）与晶圆盒中晶圆的装载和卸载操作互锁起来，可以有效地防止在风机过滤器机组的风扇工作不正常的情况下向晶圆盒载入晶圆和/或从晶圆盒卸载出晶圆。因此，当风机过滤器机组出现故障或者停运时，能够例如在外延或者硅锗沉积等工艺过程中防止工艺缺陷。附图说明结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本专利技术有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中：图1示意性地示出了风机过滤器机组的工作的示图。图2示意性地示出了根据本专利技术实施例的风机过滤器机组控制设备的具体示例。需要说明的是，附图用于说明本专利技术，而非限制本专利技术。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。具体实施方式为了使本专利技术的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本专利技术的内容进行详细描述。<第一实施例>在根据本专利技术实施例的风机过滤器机组控制方法中，可执行下述步骤：在向晶圆盒1载入晶圆之前，检测风机过滤器机组中的风扇3的工作状态；在风机过滤器机组中的风扇3工作正常的情况下，向晶圆盒1载入晶圆；否则，在风机过滤器机组中的风扇3工作不正常的情况下，不向晶圆盒1载入晶圆。优选地，在风机过滤器机组中的风扇3工作不正常的情况下，可发出警报信号。根据本专利技术实施例，通过将风机过滤器机组的风扇的工作状态（正常工作或出现故障）与晶圆盒中晶圆的装载操作互锁起来，可以有效地防止在风机过滤器机组的风扇工作不正常的情况下向晶圆盒载入晶圆。因此，当风机过滤器机组出现故障或者停运时，能够例如在外延或者硅锗沉积等工艺过程中防止工艺缺陷。<第二实施例>在从晶圆盒1卸载晶圆之前，检测风机过滤器机组中的风扇3的工作状态；在风机过滤器机组中的风扇3工作正常的情况下，从晶圆盒1卸载晶圆；否则，在风机过滤器机组中的风扇3工作不正常的情况下，不从晶圆盒1卸载晶圆。优选地，在风机过滤器机组中的风扇3工作不正常的情况下，可发出警报信号。根据本专利技术实施例，通过将风机过滤器机组的风扇的工作状态（正常工作或出现故障）与晶圆盒中晶圆卸载操作互锁起来，可以有效地防止在风机过滤器机组的风扇工作不正常的情况下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种风机过滤器机组控制设备，其特征在于包括：线圈、光耦和继电器；其中，所述线圈两端分别连接至风机过滤器机组的风扇的两端；所述风扇的两端施加了用于驱动所述风扇工作的驱动电压；其中，在所述线圈中不存在电流的情况下，所述继电器断开；并且，在所述风扇工作正常从而所述线圈中存在电流的情况下，所述继电器和光耦接通。2.根据权利要求1所述的风机过滤器机组控制设备，其特征在于，在所述风机接通的情况下，所述继电器和光耦输出启动信号。3.根据权利要求2所述的风机过滤器机组控制设备，其特征在于，所述启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作，或者启动信号用于启动从晶圆盒卸载晶圆的操作，或者启动信号用于启动向晶圆盒载入晶圆的操作以及从晶圆盒卸载晶圆的操作。4.根据权利要求1至3之一所述的风机过滤器机组控制设备，其特征在于，所述驱动电压等于24V。5.一种风机过滤器机组控制设备，其特征在于包括：线圈、光耦和继电器；其中，所述线圈两端分别连接至风机过滤器机组的风扇的两端；所述风扇的两端施加了用于驱动所述风扇工...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅荣颢，黄锦才，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：