【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种清洁静电卡盘的方法，包括： 将该静电卡盘的陶瓷表面浸入介电流体； 将该静电卡盘的陶瓷表面与导电表面隔开，从而该介电流体填充该静电卡盘的陶瓷表面和该导电表面之间的间隙；以及 使该介电流体经受超声波振荡而同时向该静电卡盘施加电压。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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