【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种基于PSD (Position and Sensing Devices)阵列的高速红外激光测量装置。能够实现对大口径高速变化的红外激光光束的波前分布信息、强度分布信息的高速多功能检测。能够克服常规检测方法对大口径高速变化的红外激光光束检测能力不足的问题。可用于红外激光光束的多功能检测和自适应光学的高速波前测量等领域。
技术介绍
由于红外激光器的结构设计缺陷或技术、物理问题的限制,使产生的红外激光光束质量下降。红外激光光束质量检测设备很多,主要有远场光斑测量仪、哈特曼波前传感器以及近场光强分布探测仪等,可以对激光光的远场光斑、波前相位、光强分布进行比较精确的测量。 以现有的哈特曼波前传感器为例,其结构示意图如图2所示,哈特曼波前传感器主要包括一级缩束系统6、微透镜阵列7,二级缩束系统8、CXD探测器9、数据存储10和数据处理计算机11等。其工作方式是先将大口径光束经一级缩束系统6缩束后,采用微透镜7或者其他分割元件对缩束后的被测光束进行离散分割采样,然后将各个子孔径内的远场子光斑经二次缩束系统8成像到CCD探测器9的靶面上,采集数据存储到数据存储设备10中,数据处理计算机11通过读取数据采集存储设备10中数据,通过计算各个子光斑质心位置复原出待测光束波前像差。随着红外激光技术的发展,对大口径红外激光光束质量的高速测量需求越来越大,哈特曼波前传感器在实际测量中无法很好满足这一测量要求,主要表现在以下几方面(I)当进行大口径红外激光光束质量测量时,为与红外CCD探测器靶面匹配,需要一套复杂而且庞大的多极缩束系统,系统调试困难,加工成本高,研制 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.基于PSD阵列的大口径高速红外激光测量装置,其特征在于包括聚焦透镜阵列(1)、红外PSD阵列(2)、多通道前级放大器(3)、数据采集存储器(4)和数据处理计算机(5);所述聚焦透镜阵列(I)采用由一系列口径为0. Olm-O. 02m的方形聚焦透镜拼接组成,可以直接对0. 3m - Im之间的红外激光光束进行分割聚焦,聚焦光斑直接成像到红外PSD阵列(2)上,红外PSD阵列(2)输出聚焦后的光斑阵列位置坐标信息和强度信息;所述信息经多通道前级放大器(3)信号放大后由数据采集存储器(4)高速存储,存储的数据经由数据处理计算机(5)处理计算,每个红外PSD探测器输出四个电流信号分别设为IA,IB, Ic, ID,则探测到的光斑质心坐标和光斑强度I为 用标准平行光定标红外PSD阵列各个子光斑的质心坐标xi(l,yi0作为测量基准,实测带像差的红外激光光束...
【专利技术属性】
技术研发人员:叶红卫,李新阳,鲜浩,李梅,王彩霞,王晓云,
申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所,
类型:发明
国别省市:
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