【技术实现步骤摘要】
本技术涉及ー种阀门，尤其是ー种真空微调阀。
技术介绍
高真空微调阀是用来向真空系统中充气，可精确调节进气流量，以控制和调节系统内的真空度。參照图2，现有技术中的高真空微调阀，又称针型阀，其阀芯部分为ー锥形针，靠螺杆传动来调节锥形针和孔的缝隙长度，改变阀座流导值。其通过向真空系统中充气并可精确调节进气流量，以控制和调节系统内的真空度。 由于其阀芯部分为针形结构，在エ艺上，有加工难的缺陷；在使用中有易断裂、易损坏、寿命不长、微调可靠性不强的缺陷。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术中的上述缺陷，提供一种エ艺性好、控制方便、微调性能可靠的高真空微调阀。本技术所述的高真空微调阀，包括阀体、阀芯杆以及连接气管，所述阀芯杆为圆柱形，所述阀芯杆的下端设有ー坡面。所述的阀芯杆，其坡面坡度为10至15度。所述阀体的内壁设有凹槽，所述凹槽内设有轴套，所述轴套上设有与所述连接气管联通的通气ロ。所述轴套外还设有密封圏。本技术所产生的有益效果为采用圆柱形的阀芯杆结构，并设有坡面，既具备可靠的微调效果，又增强了阀芯的強度，増加了微调阀的使用寿命。附图说明图I为本技术结构示意图；图2为现有技术中高真空微调阀(针型阀)。具体实施方式如图I所示，本技术为ー种高真空微调阀，包括阀体I、阀芯杆2、连接气管3以及底座4。其中，阀芯杆2设于阀体I内，两者通过螺钉固定配合。阀体I的内壁设有凹槽，其内设有轴套11，轴套11外还设有密封圈13，以确保其与阀芯杆2间的密封效果。在轴套11上设有与连接气管3联通的通气ロ 12。底座4设有通孔41，阀芯杆2为圆柱形并且底部设有ー坡面，该坡面的最佳实施坡度为10...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.高真空微调阀，包括阀体(I)、阀芯杆(2)以及连接气管(3)，其特征在干所述阀芯杆(2)为圆柱形，其下部设有ー坡面。2.根据权利要求I所述的高真空微调阀，其特征在于所述的阀芯杆(2)，其坡面坡度% 10至15度。3.根据权利要求I...
【专利技术属性】
技术研发人员：方保华，张前淞，
申请(专利权)人：上海磊航机械制造有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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