旋涂装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种旋涂装置。该旋涂装置包括：密封舱；安装在密封舱内的平衡部件；模具夹具，其连接在平衡部件上面；用于驱动平衡部件和模具夹具的驱动电机；旋涂剂注入装置，其安装在密封舱的外表面上；真空装置，其用于对密封舱进行抽真空和解真空处理；以及平衡检测装置，其与旋涂装置外部电连接，用于检测整个旋涂装置的平衡。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示器制造领域，更具体地，本专利技术涉及一种旋涂装置，其用于在液晶显示器的导光板的蚀刻工艺中将例如感光胶等旋涂剂均匀涂覆在制造导光板的模具表面上。
技术介绍
在液晶显示器制造行业中，需要对液晶显示器中采用的导光板(Light GuidePlate)进行光学网点加工，从而对背光源实现导光作用。在现有技术中，在制造导光板时，需要对制造导光板的模具(或模仁)进行蚀刻。在进行蚀刻之前，需要对模具的表面进行例如感光胶等旋涂剂的涂覆处理。目前，对导光板的模具进行感光胶涂覆的方法大多采用人工丝印方法，S卩，对模具 上表面的丝格网进行感光胶涂覆。利用丝印方式加工出来的感光胶膜具有如下缺陷1)感光胶膜层较厚，厚度通常大于4um，并且厚度均匀度较差，通常，9点测试均齐度误差(9个点的测量值中的最小值与最大值的比值)为60%-80%;2)由于所述丝印方法大多为人工操作，所以很难保证成膜的一致性。由于丝印方法加工出来的感光胶膜存在上述缺陷，所以很难适应日益提高的精细蚀刻要求。在现有的涂覆感光胶的方法中，还可以采用旋涂工艺。但是，目前所采用的旋涂工艺大多用于对晶硅旋涂加工。一般情况下，进行旋涂的设备具有尺寸较小和负载较轻的缺陷。通常，旋涂加工的工件的尺寸小于200mm，并且负载小于200g。但是，即便是这样的旋涂装置，其设备成本也较高。因此，现有技术中的旋涂设备存在着加工产品规格范围小、负载轻、及成本高等缺陷。
技术实现思路
因此，为了克服上述缺陷，本专利技术的目的在于提供一种旋涂装置，其不仅能够为感光胶的成膜工艺提供宽广和精确的技术性能指标，而且可满足绝大部分制造导光板的注塑模具尺寸和重量需求。根据本专利技术的上述专利技术目的，提供一种旋涂装置。所述旋涂装置包括密封舱；平衡部件，其安装在所述密封舱内；模具夹具，其安装在所述平衡部件上面，用于装夹待涂覆旋涂剂的模具；驱动电机，其主轴与平衡部件相连接，用于驱动整个密封舱；旋涂剂注入装置，其安装在所述密封舱的外表面上；真空装置，其用于将所述密封舱进行抽真空和解真空处理；以及平衡检测装置，其与所述旋涂装置外部电连接，用于检测整个旋涂装置的平衡。在本专利技术中，优选地，所述驱动电机为大功率高精度主轴电机，所述驱动电机的主轴具有轴向贯穿的中心孔。所述平衡部件的中心下方具有轴套，所述轴套与所述驱动电机主轴的上端部相连接。所述驱动电机与所述平衡部件和所述模具夹具刚性连接。在本专利技术中，所述平衡部件构造成盘形，其具有从盘形中心向外辐射的多个辐条，所述多个辐条的相邻辐条之间为中空，并且在所述平衡部件的周边上具有一个或多个配重块。在本专利技术中，真空装置包括外真空泵，其通过管道与所述密封舱相连接，用于为所述密封舱提供负压；以及高压空气进气装置，其设置在所述密封舱的底部，用于对所述密封舱解真空处理优选地，所述真空装置还包括内真空泵，其通过管道与所述驱动电机主轴的中心孔相连接，用于为所述模具夹具提供负压。优选地，通过设置在所述电机主轴与所述轴套之间的动密封环和静密封环之间的相对滑动，以保证所述电机主轴与所述轴套之间的密封，进而保证所述密封舱的负压旋涂条件。在本专利技术中，所述模具夹具包括模仁夹具和薄板真空夹具，所述模仁夹具用于装 夹厚度大于3mm的模具，所述薄板真空夹具用于装夹厚度小于3mm的模具。在本专利技术中，所述薄板真空夹具包括第一真空板，其设置在所述平衡部件的上面，所述第一真空板具有多个轴向阵列通孔，并且所述第一真空板形成边缘部的厚度比中间部的厚度小的形状；第二真空板，其紧密地设置在所述第一真空板的下面，所述第二真空板的中间部上具有与所述平衡部件的轴套相连接的孔，并且所述第二真空板形成边缘部的厚度比中间部的厚度大的形状；以及真空密封垫，其周向地设置在所述第一真空板的边缘部和所述第二真空板的边缘部之间，其中，在所述第一真空板的中间部和所述第二真空板的中间部之间形成有间隙，所述间隙与所述驱动电机主轴的中心孔相连通。优选地，第一真空板上设置有定位板，用于对不同尺寸的薄板模具定位。优选地，在将所述薄板模具偏心地放置在所述薄板真空夹具上时，所述薄板真空夹具利用大气压力、旋转产生的向心力以及偏心自锁实现对薄板模具的装夹。在本专利技术中，所述模仁夹具包括放置在所述平衡部件上表面上的过渡板，所述模仁夹具利用多个紧固件将模仁模具直接安装在所述过渡板上。优选地，所述密封舱包括密封舱上盖和密封舱下盖。优选地，本专利技术的旋涂装置还设置有密封舱上盖举升装置。所述密封舱上盖举升装置与所述密封舱上盖的外表面相连接，用于举升所述密封舱上盖。优选地，所述密封舱上盖和所述密封舱下盖均具有周向地向外凸出的法兰，以利用多个紧固件将所述密封舱上盖的法兰和所述密封舱下盖的法兰连接在一起，从而使所述密封舱上盖和所述密封舱下盖接合。优选地，沿着所述密封舱上盖内侧顶面周向地设置有向下延伸的加强板，所述加强板形成一端与所述密封舱上盖的内侧顶面相连接，另一端向下延伸并在端部形成向内弯曲的凹槽，以存储回收的残留的旋涂剂与现有技术相比，本专利技术存在着下述特点及优点。I)在本专利技术中，所采用的驱动电机为大功率高精度主轴电机。因此，通过提供本专利技术旋涂装置，可以为大尺寸重载模具进行例如感光胶的旋涂剂旋涂处理。2)本专利技术所采用的大功率高精度主轴电机可以确保旋涂的加速性和速度控制精度，保证各次成膜参数的一致性。同时在平衡检测装置测速测震的基础上，通过调整平衡部件上的配重块，从而不仅保证了整个旋涂装置的平衡，实现了一体化装置的平衡，进而保证了例如感光胶膜的质量，而且确保了驱动电机主轴的使用寿命，实现了装置高速重载稳定运行。3)由于本专利技术的驱动电机与平衡部件和模具夹具刚性连接，所以避免了例如采用弹簧等部件的柔性环节的吸储释放能量给装置转动带来加速度和速度的变化，从而保证了例如感光胶的旋涂剂膜的质量。4)通过设置在所述电机主轴与所述轴套之间的动密封环和静密封环之间的相对滑动，以保证所述电机主轴与所述轴套之间的密封，进而保证所述密封舱的负压旋涂条件。5)本专利技术通过采用密封舱和负压旋涂技术，可以减少高速旋转时气体湍流对感光胶膜质量的影响，并且减少了空气中的异物的数量，提高了感光胶膜面质量。6)本专利技术所提供的旋涂装置具有操作安全可靠的性能，不仅可以保证感光胶成膜的重复精度，而且提高了感光胶膜表面质量。采用本专利技术的旋涂装置能够旋涂尺寸为17英 寸(43. 18cm)、重量为50kg的模具。应当理解的是，对于专利技术，无论前面的概述还是下面的详细说明都是范例和说明性的，旨在对所主张的本专利技术提供说明，而非对本专利技术的保护范围进行限制。附图说明附图提供对本专利技术更进一步的理解，并入并组成本申请的一部分。本专利技术的具体实施例与说明书一起用以阐明本专利技术的结构特点。在附图中图I是安装在架台上的本专利技术实施例的旋涂装置的示意图。图2是本专利技术实施例的旋涂装置的密封舱的截面图。图3是本专利技术实施例的旋涂装置的密封舱的截面立体图。图4是本专利技术实施例的旋涂装置的局部视图，其示出了模仁模具放置在与驱动电机主轴相连接的平衡部件上的视图。图5是本专利技术实施例的旋涂装置的薄板真空夹具的截面结构图。图6是本专利技术实施例的旋涂装置的薄板真空夹具的截面立体结构图。图7是本专利技术实施例的旋涂装置的密封舱上盖举升装置的立体图。图8是本专利技术实施例的旋涂本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋涂装置，包括 密封舱； 平衡部件，其安装在所述密封舱内； 模具夹具，其安装在所述平衡部件上面，用于装夹待涂覆旋涂剂的模具； 驱动电机，其主轴与平衡部件相连接，用于驱动整个密封舱； 旋涂剂注入装置，其安装在所述密封舱的外表面上； 真空装置，其用于将所述密封舱进行抽真空和解真空处理；以及 平衡检测装置，其与所述旋涂装置外部电连接，用于检测整个旋涂装置的平衡。2.根据权利要求I所述的旋涂装置，其中，所述驱动电机为大功率高精度主轴电机，所述驱动电机的主轴具有轴向贯穿的中心孔。3.根据权利要求I所述的旋涂装置，所述平衡部件的中心下方具有轴套，所述轴套与所述驱动电机主轴的上端部相连接。4.根据权利要求I所述的旋涂装置，其中，所述驱动电机与所述平衡部件和所述模具夹具刚性连接。5.根据权利要求I所述的旋涂装置，其中，所述平衡部件构造成盘形，其具有从盘形中心向外辐射的多个辐条，所述多个辐条的相邻辐条之间为中空，并且在所述平衡部件的周边上具有ー个或多个配重块。6.根据权利要求I所述的旋涂装置，其中，所述真空装置包括 外真空泵，其通过管道与所述密封舱相连接，用于为所述密封舱提供负压；以及 高压空气进气装置，其设置在所述密封舱的底部，用于对所述密封舱解真空处理7.根据权利要求2所述的旋涂装置，其中，所述真空装置还包括内真空泵，其通过管道与所述驱动电机主轴的中心孔相连接，用于为所述模具夹具提供负压。8.根据权利要求3所述的旋涂装置，其中，通过设置在所述电机主轴与所述轴套之间的动密封环和静密封环之间的相对滑动，以保证所述电机主轴与所述轴套之间的密封，进而保证所述密封舱的负压旋涂条件。9.根据权利要求I所述的旋涂装置，其中，所述模具夹具包括模仁夹具和薄板真空夹具，所述模仁夹具用于装夹厚度大于3mm的模具，所述薄板真空夹具用于装夹厚度小于3mm的模具。10.根据权利要求9所述的旋涂装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵长春，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，苏州京东方茶谷电子有限公司，
类型：发明
国别省市：