【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种限位装置，具体涉及一种单晶炉翻板限位装置。
技术介绍
直拉硅单晶炉腔体分为上下两个部分，中间用翻板阀隔开。在拉晶过程中，翻板阀一直打开，上下腔体连同为一体，如遇到特殊状况，可将所拉晶体提升到上腔体中，将翻板关闭，隔开上下腔体，从上腔体中取出所拉晶体，下腔体的热场加热区域还处于高温化料状态，做好准备工作后，可以打开翻板阀继续拉晶。在拉晶过程中，如未出现特殊状况需关闭翻板阀时，翻板必须一直处于打开状态， 目前直拉式圆形阀体结构单晶炉，翻板打开后没有停靠空间，如果翻板未固定好而转动，碰到晶棒会造成严重的质量事故，甚至会发生安全事故，因此增加一个安全可靠的翻板限位装置是非常必要的。有些单晶炉翻板限位结构只是在翻板手柄上安装一个螺钉，阀轴端面增加螺钉孔，当翻板处于打开状态时，手动选入螺钉固定翻板，此结构操作复杂，需两人配合完成，假如螺钉旋入深度不够，有可能会造成翻板定位失效，产生事故。
技术实现思路
为了克服上述现有技术存在的缺点，本技术的目的在于提供一种单晶炉翻板限位装置，该装置在翻板打开后能够固定翻板位置，防止翻板在单晶炉工作中关闭。为达到上述目的，本技术采用以下技术方案一种单晶炉翻板限位装置，包括安装在阀体11上的定位板1，定位板I上有定位豁口 2，还包括摇手臂4，摇手柄3安装在摇手臂4的一端，摇手臂4的另一端与翻板连接轴12固定，在摇手柄3上安装有弹簧5，摇手臂4上设有定位台10，定位台10用于定位弹簧5的安装位置，在摇手柄3靠近定位豁口 2的一端还装有定位螺母6，定位螺母6用于固定弹簧5的位置，摇手柄3上远离定位豁口 2的一端设有第一凹台8和第...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉翻板限位装置，其特征在于包括安装在阀体(11)上的定位板(1)，定位板(I)上有定位豁口(2)，还包括摇手臂(4)，摇手柄(3)安装在摇手臂(4)的一端，摇手臂(4)的另一端与翻板连接轴(12)固定，在摇手柄(3)上安装有弹簧(5)，摇手臂(4)上设有定位台(10)，定位台(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：时刚，张灵鸽，
申请(专利权)人：西安创联新能源设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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