滑锁送气系统技术方案

一种易于组装和/或安装的供气系统，该供气系统包括初始为柔性的夹紧系统，该夹紧系统使该供气系统能够适配于一气体部件。当该气体部件组装完成时，夹紧系统变为刚性，从而将该气体部件固定到支撑轨道。该滑锁送气系统使气体系统部件底部表面能够构成独立地用于入口密封与出口密封的密封平面。气体部件安装孔的侧向间隔在组装期间浮动，以减少不对准的可能性。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总体上涉及送气系统，且尤其涉及用于气体部件连接的系统。
技术介绍
送气系统用于分配制造半导体器件所用的气体。制造半导体器件所使用的气体常具有强的毒性或腐蚀性。许多这类材料以蒸汽形式被从液体源中抽取，且必须被加热以防止蒸汽泠凝而返回液态。这些系统要求高度的模块化和非常好的泄漏完整性，并且必须占据非常小的覆盖面积。达到这些要求的一般方法是通过表面安装系统来实现。 表面安装系统通常需要配件或档块(block)来将处理气体从一个部件的出口传送到该系统中的下一部件的入口。典型的系统是将两个歧管档块联接在一起，使这两个档块形成同时用于入口密封和出口密封的公共平面。如(从下文)将会领会的那样，这样可能对部件的紧密度公差产生要求，以便确保歧管档块的端ロ与气体部件的端ロ对准。现有的系统的制造是通过使用模板来构建合适的基底位置，将歧管基底向下安装到金属板。这样做非常耗时，并且因为这些系统可能非常庞大，例如通常具有16个单独的气体线路，所以一般由铝制造该下部金属板。虽然铝有助于保持较轻的重量，但是其还起到吸热的作用，从而吸走需要加热的部件的热量。虽然目前市场上有出售许多这种系统的变型产品，但是这种系统通常需要非常严格的加工公差，组装缓慢且/或困难，而且可能难以加热。此外，这种系统一般价格昂贵。
技术实现思路
本专利技术提供一种供气系统，这种系统容易组装和/或安装，并且这种系统包括初始可为柔性的夹紧系统，该夹紧系统使该供气系统能够适配于气体部件。当气体部件组装完成时，夹紧系统变为刚性，从而将气体部件固定到支撑轨道。该系统消除了对安装板的非常精确和耗时的布设的要求，以容许一般制造公差。该滑锁送气系统使气体系统部件底部表面能够构成独立地用于入口密封与出ロ密封的密封平面。而且，允许气体部件安装孔的侧向间隔在组装期间“浮动”，使得这些安装孔不必具有紧密度公差，并且減少了不对准(错位)的可能性，这样能够强化金属与金属的密封。根据本专利技术的ー个方案，ー种送气系统包括轨道，用干支撑至少ー个歧管档块(manifold block);第一歧管档块和第二歧管档块,姆个歧管档块均具有至少ー个用于连接到一气体部件的端ロ ；气体部件，该气体部件可固定到第一歧管档块和第二歧管档块，并具有一安装表面，该安装表面设有第一端ロ和第二端ロ，用以在固定到第一歧管档块和第二歧管档块时与该第一歧管档块和该第二歧管档块的相应端ロ连通；以及滑锁(slidelock)构件，用于将第一歧管档块和第二歧管档块固定到轨道。该滑锁构件被配置为用以使第一歧管档块和第二歧管档块在第一级预载荷作用下固定到该轨道，以将气体部件组装到上述歧管档块，以及用以在气体部件固定到这些歧管时，借助比第一级预载荷更大的第二级预载荷将第一歧管档块和第二歧管档块固定到轨道。滑锁构件也可起到隔离块(定位块，spacer block)的作用，以在第一歧管档块与第二歧管档块之间设置合适的、 近似的间隔。因此，滑锁构件可包括用以与轨道接合的滑锁夹部以及将歧管档块隔离的隔离块部。隔离块部可与滑锁夹部分开形成或与其一体形成。滑锁构件可包括ー组突出部，以与歧管档块中的一组对应的凹部配合，由此使滑锁构件与歧管档块连结。在一个实施例中，隔离块部在从滑锁夹的中心朝向任一(滑锁)夹端部的距离的大约1/3处以对称方式支撑滑锁夹部。在组装时，滑锁夹端部向下朝向轨道变形(挠曲)，直到该滑锁夹与轨道接合。因为隔离块部在偏离中心的两个支点处支撑滑锁夹，所以在将边缘下压以与轨道接合时，滑锁夹的中心升高。这实质上等同于ー对在中心处引导的“简单支撑的”悬臂梁。按这种方式支撑的悬臂梁提供相对小的保持力。在本专利技术的情况下，其结果是，当将气体部件安装到歧管档块时，滑锁构件和气体歧管档块能够自调整它们的位置以跟随(顺应)气体部件的位置。当气体部件的组装完成时，气体部件向下朝向歧管档块的运动的最终增加量造成气体部件底部表面接触滑锁夹的升高的中心部，并将其压低与两个支点齐平或低于两个支点。现在，这个最終的滑锁夹位置实质上等同于ー对具有固定支撑的悬臂梁。按这种方式支撑的悬臂梁实质上需要与初始时相比两倍的力来维持变形的梁端部的位置。滑锁夹可具有中心部和从该中心部延伸以接合軌道的各个腿部，由此使至少ー个歧管档块夹持在滑锁构件与轨道之间。该中心部可包括在变形时使至少ー个腿部上的张カ増大的可变形部，由此使预载荷増大到第二级。滑锁夹可大体呈C形，并且滑锁夹的至少ー个远端可包括与轨道的表面连结的连结机构。滑锁夹和隔离块可形成为单一部件。轨道可包括位于沿侧向分隔开的歧管档块支撑表面之间的纵向延伸的通道以及设在该通道中用于向气体部件提供热量的加热元件。根据另一方案，一种模块化供气歧管系统包括轨道，用于支撑至少ー个歧管档块；歧管档块，具有至少ー个用于连接到一气体部件的端ロ ；以及滑锁构件，用于将歧管档块固定到軌道。该滑锁构件被配置为用以使歧管档块在第一级预载荷作用下固定到轨道，以便于将ー气体部件固定到歧管档块，以及用以当气体部件固定到歧管时，使歧管档块在大于第一级预载荷的第二级预载荷作用下固定到轨道。滑锁构件可包括滑锁夹和支撑滑锁构件的隔离块。隔离块可在两个支撑位置支撑滑锁夹的中心部。这些支撑位置可从该轨道的纵轴线分隔开。滑锁构件可具有中心部和从该中心部延伸的各个腿部，这些腿部用以与轨道接合，由此使至少ー个歧管档块夹持在滑锁构件与轨道之间。中心部可包括可变形部，该可变形部在变形时使至少ー个腿部的张カ増大，由此使预载荷増大到第二级。滑锁构件可与轨道或歧管档块中的至少ー者滑动接合，以允许在第一级预载荷作用下时它们之间具有相对运动。该系统还可包括隔离块。该隔离块被配置为用以使第一歧管档块和第二歧管档块在轨道上分隔开预定距离。该隔离块可包括凹部或突出部，该凹部或突出部用以与第一歧管档块和第二歧管档块中的至少ー者上的对应凹部或突出部配合，由此使隔离块与歧管档块连结。该隔离块可靠近滑锁构件的外边缘支撑该滑锁构件的中心部，以允许在气体部件附接到歧管档块时该中心部发生变形。该隔离块可以是可变形的，以允许在附接气体部件的过程中第一歧管档块与第二歧管档块之间具有相对运动。滑锁构件和隔离块可形成为单一部件。滑锁构件可大体呈C形，该滑锁构件的至少ー个远端可包括用以与轨道的表面连结的连结机构。轨道可包括位于沿侧向分隔开的歧管档块支撑表面之间的纵向延伸的通道以及设于该通道中为气体部件提供热量的加热条(heat strip)。根据另一方案，ー种用于将歧管档块固定到模块化供气歧管的滑锁构件包括中心隔离件部，其使第一歧管档块和第二歧管档块在轨道上分隔开；以及从中心隔离件部延伸的腿部，其适于与供气系统的轨道接合。滑锁构件被配置为用以使歧管档块在第一级预载荷作用下固定到轨道，以便于将气体部件固定到歧管档块，以及其中该滑 锁构件被配置为当气体部件固定到歧管时，使歧管档块在大于第一级预载荷的第二级预载荷作用下固定到轨道。中心隔离件部可包括与歧管档块连结的凹部或突出部。中心隔离件部可以是可变形的，以允许在附接气体部件的过程中第一歧管档块与第二歧管档块之间发生相对运动。滑锁构件可大体为C形形状，该滑锁构件的至少ー个远端包括在安装时与轨道的表面连结的连结机构。根据另一方案，一种组装送气系统的方法包括以下步骤利本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：丹尼尔·P·摩根，
申请(专利权)人：派克汉尼芬公司，
类型：发明
国别省市：