单片硅麦克风制造技术

技术编号:7761336 阅读:205 留言:0更新日期:2012-09-14 07:05
本发明专利技术涉及一种单片硅麦克风,一个单片硅麦克风包括一个第一背板,一个第二背板以及位于第一背板和第二背板间的隔板;第一背板由一个带多穿孔的硅基板支撑。第二背板系在一个穿孔板上,穿孔板支撑在硅基板的上方。单片硅麦克风有集成的信号调节电路。信号调节电路与第一背板、第二背板及隔板间电连接。隔板与第一背板、隔板与第二背板间的信号送入信号调节电路中,并分别进行放大。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:王云龙
申请(专利权)人:美国通用微机电系统公司
类型:发明
国别省市:

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