【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及ー种控温冷头装置，尤其是ー种使用液氮循环作为冷头降温方式的装置。
技术介绍
冷头一般是作为低温捕集器用于捕集真空室中的污染，主要放置在真空室中或油扩散泵的泵ロ，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。所以低温控制是冷头技术的ー项关键技木。目前市面上常见的冷头，大都是传统的氦压缩机搭冷头的结构。而目前大規模使用的国产氦压缩机的性能不是很稳定性，在温控技术上存在一定的风险，而国外进ロ的氦 压缩机价格比较高昂，使用和维护的费用都比较贵，所以从性价比上来看，用氦压缩机来实现冷头的降温功能的可行性越来越小。所以，目前亟需ー种既能够稳定控温，性价比又高的装置。
技术实现思路
专利技术目的针对现有技术的不足，我们经过长期的实践摸索，创造了ー种液氮冷头控温装置。技术方案为了实现上述专利技术目的，本专利技术所采用的技术方案为ー种液氮冷头控温装置，包括冷头、液氮罐、液氮进口和液氮出口，在液氮罐的上端设有隔稳屏蔽层，所述隔稳屏蔽层和液氮罐之间设有ー组加热组件。所述的加热组件为电加热丝，采用温控仪通过PID自动方式控制温度。液氮罐采用双层屏蔽罩，由镜面不锈钢板制作而成。有益效果本专利技术与现有技术相比，其有益效果是1、使用循环液氮的液位高度来实现温度控制，效果明显且易于操作；2、运用液氮来实现温控的性价比较高，大幅度节约了成本；3、电加热器采用PID方式控制，可控性较高。附图说明附图为本专利技术一种液氮冷头控温装置的结构示意图。具体实施例方式下面结合附图，通过ー个最佳实施例，对本技术方案进行详细说明，但是本专利技术的保护范围不局限于所述实施例。如图所示，...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：戴建新，
申请(专利权)人：常熟市虞华真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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