【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本申请的主题涉及化学分析物的气相浓度的定量,例如采用包括具有一种或多种参考气体的验证单元或者具有完全或部分真空的光谱分析系统。
技术介绍
痕量气体(trace gas)分析器可要求其产生的浓度测量值相对于例如分析器的性能的长期保真精度的周期性验证,所述分析器的性能与工厂校准或源于国家或国际标准局(例如包括但不限于国家标准和技术学会,National Institute of Standards andTechnology)的标准有关。用于现场测量验证的目前的可用方案通常包括采用渗透管装置或利用压缩气筒提供的参考样本进行的校准。可调谐激光器光源的频率稳定性对于定量的痕量气体吸收光谱学来说是很重要的。取决于工作波长,可调谐激光源,例如二极管激光器,通常可呈现每天几皮米量级(千兆赫兹量级)到每天皮米的分数量级的波长漂移。典型的痕量气体吸收带谱线宽度在某些示例中可以是纳米的分数量级到微米量级。因此,激光器光源的漂移可随着时间在痕量气体分析物的识别和量化中引入严重错误,特别是在具有吸收光谱可能与目标分析物的吸收特征相干的一种或多种背景化合物的气体中。基于渗透管的验证系统通常是昂贵且复杂的,并且通常需要非常精确地控制温度和气流速率,以及消除通过渗透管的温度梯度,从而提供精确的结果。渗透管装置的老化和污染可能会随着时间改变渗透率,从而导致验证测量读数的变化,以及潜在地随着时间出现验证错误。尽管可能相当昂贵,该问题可通过频繁替换渗透管装置来解决。在现场替换渗透管装置时,可出现进一步的挑战,因为可能难以使替换的渗透装置产生的痕量气体浓度与源于标准局的分析器校准相关联。基于 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.10.21 US 61/405,589;2011.02.14 US 13/026,921;1.一种分析系统,包括 验证单元,该验证单元放置为使得由光源产生的光在所述光从光源到探测器的传输过程中至少一次地通过该验证单元,该验证单元包含参考气体,所述参考气体包括已知量的分析物化合物,所述光源在包括所述分析物化合物的光谱吸收特征的波长范围内发射所述光;以及 控制器,用于执行仪器验证过程和样本分析过程,该仪器验证过程包括 接收第一光强度数据,该第一光强度数据量化在所述光至少一次通过验证单元中的参考气体和零气体中的每一个时在所述探测器接收的所述光的第一强度,所述零气体具有至少一个已知且可忽略的第一光吸收率特性,该第一光吸收率特性在所述波长范围内与所述分析物化合物的第二光吸收率特性重叠;以及 通过确定所述第一光强度数据未偏离存储的数据集合超过预定的阈值偏差,来验证所述分析系统的有效状态,所述存储的数据集合表示在所述分析系统上进行的先前的仪器验证过程中采集的至少一个先前的测量;以及 所述样本分析过程包括 接收第二光强度数据,所述第二光强度数据量化在所述光至少一次通过验证单元中的参考气体和样本气体中的每一个时在所述探测器接收的所述光的第二强度,所述样本气体包含未知浓度的分析物化合物,以及 通过校正所述第二光强度数据以考虑验证单元中的所述光的已知吸收率,来确定样本气体中的分析物化合物的浓度。2.根据权利要求I所述的装置,进一步包括具有分析体的样本测量单元,该分析体在所述样本分析过程中包含所述样本气体以及在所述仪器验证过程中包含所述零气体,所述样本测量单元被放置为使得所述光在从光源到探测器的传输过程中至少一次地通过所述样本测量单元中的所述分析体和所述验证单元中的所述参考气体中的每一个。3.根据权利要求2所述的装置,进一步包括由所述控制器激活的流切换装置,以在所述样本分析过程中使所述样本气体进入所述样本测量单元的分析体,并在所述仪器验证过程中使所述零气体进入所述样本测量单元的所述分析体。4.根据权利要求2至3中任意一项所述的装置,其中所述验证单元包括所述光通过的光透射光学表面,所述光透射光学表面形成所述验证单元的至少一部分。5.根据权利要求2至4中任意一项所述的装置,其中所述验证单元包括光反射光学表面,所述光照射在所述光反射光学表面上并至少部分反射,所述光反射光学表面形成所述验证单元的至少一部分。6.根据权利要求2至5中任意一项所述的装置,其中所述样本测量单元包括光反射光学表面,所述光照射在所述光反射光学表面上并至少部分反射,所述光反射光学表面形成所述样本测量单元的至少一部分。7.根据权利要求2至6中任意一项所述的装置,其中所述样本测量单元包括所述光通过的光透射光学表面,所述光透射光学表面形成所述样本测量单元的至少一部分。8.根据权利要求2至7中任意一项所述的装置,进一步包括集成光学单元,该集成光学单元包括所述验证单元和所述样本测量单元。9.根据权利要求8所述的装置,其中所述集成光学单元包括多路单元,该多路单元包括第一反射光学表面和第二反射光学表面,所述第一反射光学表面和第二反射光学表面均至少一次地反射所述光,以及其中所述验证单元包含在所述第一反射光学表面的至少一部分和位于所述第一反射光学表面和所述第二反射光学表面之间的透射光学表面和位于所述第一反射表面之前的光透射表面之间。10.根据权利要求8所述的装置,其中所述集成光学单元包括多路单元,所述多路单元包括第一反射光学表面和第二反射光学表面,所述第一反射光学表面和第二反射光学表面均至少一次地反射所述光,以及其中所述验证单元包含在所述第一反射光学表面的至少一部分以及位于所述第一反射表面之前的透射光学表面之前。11.根据权利要求2至10中任意一项所述的装置,其中所述验证单元和所述样本测量单元中的至少一个包含在空心光学光导内,所述空心光学光导通过第一光透射光学元件密闭地密封第一端使得所述光进入所述空心光学光导,并通过第二光透射光 学元件密闭地密封相对的端使得所述光离开所述空心光学光导。12.根据权利要求2至11中任意一项所述的装置,其中所述验证单元和所述样本测量单元中的至少一个被集成到密闭的密封激光封装器上,所述光通过形成对所述密闭的密封激光封装器的密封的至少一个透射光学元件从该密闭的密封激光封装器传输。13.根据权利要求I至12中任意一项所述的装置,进一步包括确定所述验证单元中的温度的温度传感器和确定所述验证单元中的压力的压力传感器中的至少一个;以及其中由控制器执行的操作进一步包括 接收所述温度和所述压力的至少其中之一;以及 作为确定所述样本气体中的分析物的浓度的一部分,基于所述温度和所述压力中的一个或多个来调整所述验证单元中的所述光的所述已知吸收率。14.根据权利要求1、4、5、11和12中的任意一项所述的装置,其中所述光的路径在所述光源和所述探测器之间穿越时至少一次通过自由气体空间;以及其中所述流切换装置在样本分析模式期间使所述样本气体进入所述自由气体空间,在验证模式期间使所述零气体进入所述自由气体空间。15.根据权利要求14所述的装置,其中所述验证单元被集成到位于所述自由气体空间的第一侧的第一反射器,并且所述光的路径在所述光源和所述探测器之间穿越期间至少一次地从所述第一反射器和位于所述自由气体空间的相对侧的第二反射器中的每一个反射。16.根据权利要求I至15中任意一项所述的装置,进一步包括将所述验证单元中的温度保持在预设值的温度控制系统。17.根据权利要求I至16中任意一项所述的装置,其中所述验证单元包括预加载有所述参考气体的密封容器和所述参考气体通过的流通单元的其中之一。18.—种方法,包括 接收第一光强度数据,所述第一光强度数据量化来自光源的光至少一次地通过验证单元中的参考气体和零气体中的每一个之后,在探测器接收到的所述光的第一强度,所述参考气体包括已知量的分析物化合物,所述光源在包括所述分析物化合物的光谱吸收特征的波长范围内发射所述光,所述零气体在所述波长范围内具有至少一个已知且可忽略的第一光吸收率特性; 通过确定所述第一光强度数据未偏离存储的数据集合超过预定阈值偏差来验证包括所述光源和所述探测器的分析系统的有效状态,所述存储的数据集合表示在所述分析系统上进行的先前的仪器验证过程中采集的至少一个先前的测量; 接收第二光强度数据,该第二光强度数据量化来自光源的光至少一次地通过所述验证单元中的参考气体和包含未知浓度的分析物化合物的样本气体中的每一个之后,在探测器接收到的所述光的第二强度;以及 通过校正所述第二光强度数据以考虑所述验证单元中的所述光的已知吸收率来确定所述样本气体中的分析物化合物的浓度。19.根据权利要求18所述的方法,进一步包括 测量所述验证单元中的温度和所述验证单元中的压力中的一个或多个;以及 作为确定所述样本气体中的分析物的浓度的一部分,基于所述温度和所述压力中的一个或多个来调整所述验证单元中的所述光的吸收率。20.根据权利要求18至19中任意一项所述的方法,其中所述零气体包括惰性气体、氮气、氧气、空气、氢气、同核双原子气体、至少部分真空、碳氢化合物气体、碳氟化合物气体、氯碳化合物气体、一氧化碳气体、二氧化碳气体中的至少一种。21.根据权利要求18至20中任意一项所述的方法,进一步包括使所述零气体通过洗涤器和化学转炉中的至少其中之一,从而在将所述零气体引导到所述光的路径中之前,去除或减小所述零气体中的痕量分析物的浓度。22.一种包括机器指令的计算机可读介质,当所述机器指令被至少一个可编程处理器执行时,使所述至少一个可编程处理器执行以下操作 接收第一光强度数据,所述第一光强度数据量化来自光源的光至少一次地通过验证单元中的参考气体和零气体中的每一个之后,在探测器接收到的所述光的第一强度,所述参考气体包括已知量的分析物化合物,所述光源在包括所述分析物化合物的光谱吸收特征的波长范围内发射所述光,所述零气体在所述波长范围内具有至少一个已知且可忽略的第一光吸收率特性; 通过确定所述第一光强度数据未偏离存储的数据集合超过预定阈值偏差来验证包括所述光源和所述探测器的分析系统的有效状态,所述存储的数据集合表示在所述分析系统上进行的先前的仪器验证过程中采集的至少一个先前的测量; 接收第二光强度数据,该第二光强度数据量化来自光源的光至少一次地通过验证单元中的参考气体和包含未知浓度的分析物化合物的样本气体中的每一个之后,在探测器接收到的所述光的第二强度;以及 通过校正所述第二光强度数据以考虑所述验证单元中的所述光的已知吸收率来确定所述样本气体中的分析物化合物的浓度。23.一种装置,包括 验证单元,该验证单元放置为使得由光源产生的光在所述光从光源到探测器的传输过程中至少一次地通过该验证单元,该验证单元包含参考气体,所述参考气体包括已...
【专利技术属性】
技术研发人员:A·费蒂施,L·克勒,X·刘,M·施伦佩尔,K·B·赫布利,
申请(专利权)人:光学传感器公司,
类型:发明
国别省市:
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