【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传感器制作领域，特别是一种表面波NO2气体传感器敏感薄膜的制备方法。
技术介绍
声表面波(SAW)是一种沿弹性基体表面传播的声波，由于声表面波在介质表面进行换能和传播，所以信息的注入、提取、处理都可方便地实现。声表面波传感器问世于上世纪70年代，它是传感器的后起之秀。声表面波气体传感器的基本原理是通过声表面波器件表面所覆盖的敏感膜对待侧气体的吸附引起声表面波传感器速度的变化，从而改变声表面波振荡器的振荡频率，以此来实现对气体的监控和 测量。与其他类型的传感器相比，声表面波气体传感器有很多优良的特性，具有体积小、重量轻、精度高、分辨率高、抗干扰能力强、灵敏度高、有效检测范围线性好等特点，可以利用集成电路中的平面制作工艺，能够实现微型化和集成化，适于低成本、大批量生产。敏感膜是SAW气体传感器最直接的敏感部分，一般不同种类的化学气体需要使用各种不同材料的薄膜。较好选择性的敏感薄膜能在混合气体中只吸附待测气体，屏蔽其他气体。可见对气体的选择性吸附是对敏感薄膜的最基本要求。薄膜对气体的选择性也决定了 SAW气体传感器的选择性，敏感膜的选择直接决定了传感器的好坏。目前制约声表面波NO2气体传感器性能的主要瓶颈就是气体敏感膜的制备及性能，主要体现在敏感膜对气体的灵敏度及选择性不尽人意，同时要求敏感膜对NO2气体具有强的吸附、解吸附特性，而且对气体响应时间和回复时间要短。
技术实现思路
(一 )要解决的技术问题有鉴于此，本专利技术的主要目的在于提供一种表面波NO2气体传感器敏感薄膜的制备方法。( 二 )技术方案为达到上述目的，本专利技术提供了一种表面波NO2...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种表面波NO2气体传感器敏感薄膜的制备方法,其特征在于,该方法是在表面波延迟线的传播路径或声表面波谐振器上沉积非金属碲，形成敏感薄膜。2.根据权利要求I所述的表面波NO2气体传感器敏感薄膜的制备方法，其特征在于，所述敏感薄膜以非金属碲为敏感膜材料。3.根据权利要求I所述的表面波NO2气体传感器敏感薄膜的制备方法，其特征在于，所述敏感薄膜的厚度随声表面波...
【专利技术属性】
技术研发人员：李冬梅，刘明，谢常青，霍宗亮，张满红，龙世兵，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：
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