本发明专利技术涉及真空泵设备，具体地说是一种真空泵用排气装置，包括外罩、排气管、传输管及进气法兰，其中排气管设置在外罩内，排气管的顶端由外罩穿出、与尾气处理装置相连接；所述传输管安装在外罩内，在外罩的外表面设有进气法兰，该进气法兰的一端与真空泵相连，另一端与外罩的内部连通；由进气法兰进入外罩内的气体经传输管、通过排气管排出至尾气处理装置。本发明专利技术使真空泵排出气体在外罩内迂回流动，先通过传输管后再由排气管3排出至尾气处理装置，使气体中含有的粉尘落到外罩底部，降低了排出气体中的粉尘含量，避免工艺制程中产生粉尘颗粒堵塞排气口，延长机组维护时间，降低了大抽速干泵机组噪音。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空泵设备，具体地说是一种真空泵用排气装置。
技术介绍
国产真空泵经过二十年的快速发展，其主要性能指标(如抽速、极限压力、能耗、零流量压缩比及压差等)均达到或接近国外先进水平。这种大抽速干式真空泵在国内尚无生产厂家，国外的产品结构复杂、价格又相当昂贵；与此形成对比的是随着国内光伏、医药、石化等行业的迅速发展，在恶劣环境下对大抽速干式真空泵的需求十分迫切。目前，国产的干泵机组抽速单一，满足大抽速的干泵机组种类少，且性能较差。此外，现有的真空泵在向外排气时，噪音大，粉尘堆积严重，向排气管排气时采用单向阀或橡胶球结构，由于气体中含有粉尘，直接排出时会堵塞排气管，导致维护周期短、能耗大。因此，真空获得设备行业发展滞后，已经影响了国内其它行业的发展。
技术实现思路
为了解决上述存在的问题，本专利技术的目的在于提供一种真空泵用排气装置。该排气装置利用气体的迂回流动及超大容量的排气桶可以减少排出气体的粉尘含量，降低机组噪音，缩短机组维护周期。本专利技术的另一目的在于提供一种能耗低、真空室真空度高的真空泵用排气装置。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的本专利技术包括外罩、排气管、传输管及进气法兰，其中排气管设置在外罩内，排气管的顶端由外罩穿出、与尾气处理装置相连接；所述传输管安装在外罩内，在外罩的外表面设有进气法兰，该进气法兰的一端与真空泵相连，另一端与外罩的内部连通；由进气法兰进入外罩内的气体经传输管、通过排气管排出至尾气处理装置。其中所述外罩内分别设有上支撑板及下支撑板，排气管及传输管分别安装在上、下支撑板上，其中上支撑板上开有多个透气孔；所述排气管的底端位于下支撑板的下方，所述传输管的顶端位于上支撑板的上方、底端位于下支撑板的下方；所述进气法兰与外罩内部连通的另一端位于上、下支撑板之间；所述进气法兰的一端通过真空管路与真空泵相连，在真空管路上并联有隔膜泵；所述排气管的顶端设有与隔膜泵相对应的截止阀，排气管通过所述截止阀与尾气处理装置相连接；所述外罩的底部开有粉尘清洁口，该粉尘清洁口通过无氧铜圈密封；所述进气法兰通过固定筋板固接在外罩上。本专利技术的优点与积极效果为I.本专利技术使真空泵排出气体在外罩内迂回流动，先通过传输管后再由排气管3排出至尾气处理装置，使气体中含有的粉尘落到外罩底部，降低了排出气体中的粉尘含量，避免工艺制程中产生粉尘颗粒堵塞排气口，延长机组维护时间，降低了大抽速干泵机组噪音。2.本专利技术在进气法兰与真空泵之间连接的真空管路上并联有隔膜泵，相应地在外 罩顶端的排气法兰上连接了截止阀，由于大抽速干泵机组能耗较大，一般为40KW/h，通过增加一个并联的排气口、引入前级隔膜泵，能够在正常工作状态时进入低能耗模式，有效减低能耗至6 8KW，降至原来的20%，并提高真空室真空度，具有巨大经济价值与社会价值。3.本专利技术在外罩内焊接了上、下支撑板，将外罩分成了上、中、下三个空间，上支撑板上开设了透气孔，增加了气体流动距离，使气体中的粉尘落到外罩底部。4.本专利技术的进气法兰通过固定筋板进行固定，与外罩焊接在一起，安装牢固。5.本专利技术的外罩底部开有粉尘清洁口，便于清洁外罩内的粉尘。附图说明图I为本专利技术真空泵机组的结构示意图；图2为本专利技术的结构示意 图3为图2的左视图；图4为图2中的A-A剖视图；其中1为排气法兰，2为上支撑板，3为排气管，4为传输管，5为外罩，6为下支撑板，7为固定筋板，8为进气法兰，9为粉尘清洁口，10为截止阀，11为真空管路，12为隔膜泵，A为排气装置，B为增压泵，C为大抽速干泵。具体实施例方式下面结合附图对本专利技术作进一步详述。如图2 4所示，本专利技术包括外罩5、排气管3、传输管4、上支撑板2、下支撑板6及进气法兰8，其中外罩5内部中空，内部的径向截面为圆形；在外罩5内，由上至下依次设有上支撑板2及下支撑板6，上、下支撑板2、6均为圆盘状，其中上支撑板2上开有多个透气孔，上、下支撑板2、6的外圆周表面分别焊接在外罩5的内壁上，上、下支撑板2、6将外罩5的内部分成上、中、下三部分。排气管3位于外罩5内、焊接在上、下支撑板2、6上，排气管3的底端位于外罩5内的下部、下支撑板6的下方，排气管3的顶端由外罩5穿出并设有排气法兰1，排气管3的顶端通过排气法兰I与尾气处理装置相连接。传输管4位于外罩5内、焊接在上、下支撑板2、6上，传输管4的顶端位于外罩5内的上部、上支撑板2的上方，底端位于外罩5内的下部、下支撑板6的下方。在外罩5的外表面,上、下支撑板2、6之间设有进气法兰8，该进气法兰8通过固定筋板7焊接在外罩5上。进气法兰8的一端通过真空管路11与真空泵相连，另一端与外罩5内的中部连通；由进气法兰8进入外罩5内的气体经传输管4、通过排气管3排出至尾气处理装置。外罩5的底部开有粉尘清洁口 9，该粉尘清洁口 9通过无氧铜圈密封，该无氧铜圈耐热达到150°C以上。在进气法兰8与真空泵相连的真空管路11上并联有隔膜泵12，相应地，排气管3顶端的排气法兰I连接有截止阀10，排气管3通过所述截止阀10与尾气处理装置相连接。本专利技术的工作原理为如图I所示，本实施例的真空泵由增大抽速的增压泵B及大抽速干泵C组成，排气装置A上的进气法兰8通过真空管路11与大抽速干泵C相连，在真空管路11上并联隔膜泵12 ;排气装置A中的外罩5顶端的排气法兰I先连接截止阀10、然后再去尾气处理装置相连接。先将排气管3及传输管4的外表面与上、下支撑板2、6焊接在一起，再将上、下支撑板2、6的外圆周表面分别焊接在外罩5的内壁上，最后将外罩5焊接成封闭的空腔。真空泵排出的气体通过真空管路11由进气法兰8先进入外罩5内、两支撑板之间；然后，通过上支撑板2上的透气孔进入传输管4的顶端，再通过传输管4进入下支撑板6的下部空间；最后，通过排气管3、排气法兰I、截止阀10排出至尾气处理装置。当排气口的压力低于大气压时，工艺进行中无大量气体排出时，进入低能耗模式，此时截止阀10关闭，真空泵内的气体通过隔膜泵12排出，机组功率将降低至额定功率的20%，大大节约能耗的同时，工艺室真空度还能得到相应的提高。 本专利技术的排气装置使真空泵排出气体迂回排出至尾气处理装置，气体中的粉尘落在外罩5的下部空间，这些粉尘可通过外罩底部的粉尘清洁口 9进行清理。本专利技术适用于半导体、太阳能、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空泵用排气装置，其特征在于包括外罩(5)、排气管(3)、传输管(4)及进气法兰(8)，其中排气管(3)设置在外罩(5)内，排气管(3)的顶端由外罩(5)穿出、与尾气处理装置相连接；所述传输管(4)安装在外罩(5)内，在外罩(5)的外表面设有进气法兰(8)，该进气法兰(8)的一端与真空泵相连，另一端与外罩(5)的内部连通；由进气法兰(8)进入外罩(5)内的气体经传输管(4)、通过排气管(3)排出至尾气处理装置。2.按权利要求I所述的真空泵用排气装置，其特征在于所述外罩(5)内分别设有上支撑板⑵及下支撑板(6)，排气管(3)及传输管⑷分别安装在上、下支撑板(2、6)上，其中上支撑板(2)上开有多个透气孔。3.按权利要求2所述的真空泵用排气装置，其特征在于所述排气管(3)的底端位于下支撑板(6)的下...
【专利技术属性】
技术研发人员：张振厚，王光玉，秦柏林，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司，
类型：发明
国别省市：
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