在基底上涂覆分离剂层的方法和装置制造方法及图纸

在一种将分离剂层涂覆到在真空室内移动或可移动的基底上的方法中，分离剂在配备有至少一个对准该基底的喷嘴的蒸发器室的内室中被蒸发，本方法规定，用于蒸发的液态分离剂被喷入该蒸发器室的内室中。在一种将分离剂层涂覆到在真空室内移动或可移动的基底上的装置中，真空室具有至少一个金属蒸发器，该装置具有蒸发器室，该蒸发器室配备有至少一个对准基底的喷嘴，其中分离剂能通过输送管路被送入该蒸发器室的内室。在这里，输送管路与喷入装置相连，用于蒸发的液态分离剂借助喷入装置可被喷入或者被喷入蒸发器室内室。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在真空室内移动的或可移动的基底上涂覆分离剂层的方 法和装置，其中分离剂将在配备有至少 一个对准基底的喷嘴的蒸发器室的 内室中被蒸发或者可被蒸发。
技术介绍
移动的或可移动的基底通常是带状基底，它将在涂覆设备的真空室中 被涂上金属涂层。在进行涂覆时，基底将经过金属涂覆装置，此时基底通 过辊从开巻滚筒退巻，巻到巻绕滚筒上。分离剂一般可能涉及酯、乙二醇、氟化碳氢化合物和碳氢化合物。优 选全氟聚醚油。基底在被称为空白区的区域内通过涂覆分离剂而具有屏蔽 层，从而在该区域不会涂上金属。同 一分离剂可以通过输送管路被送入用于分离剂的蒸发器室的内部。 蒸发器室配备有对准基底的喷嘴或喷嘴板，通过喷嘴或喷嘴板，蒸发器室 与真全室相连。为了产生空白区，分离剂在蒸发器室的内室中在低真空度下被蒸发， 并且在大多数情况下，分离剂就在涂覆基底之前借助喷嘴从蒸气状态开始 被涂覆到位于真空室内的基底上。人们对将分离剂涂覆至基底提出 一 个重要要求，即如此调整分离剂. 量，只是精确地蒸发能产生最佳屏蔽的油量，并且只有当需要涂覆分离剂 时，分离剂才会被蒸发。例如从欧洲专利申请公开号EP1035553A1中公开了 ，为了油的蒸发而 采用一个或多个可加热的块体，该块体被加热到高于油的沸点的温度。大 块的金属意味着，当基底速度变化时，无法做到或者无法足够迅速地做到 通过改变待蒸发分离剂的温度来追踪控制油量。为了在基底涂覆的开始和结束阶段内防止不必要的分离剂进入并污 染真空室，众所周知地釆用了阀门，可以借助阀门来阻挡分离剂蒸气被送往喷嘴板。不过由于一般必须设有均压孔，所以分离剂蒸气可以在其它地 点进入真空室并且污染真空室。在当前的分离剂蒸发器中，大量的分离剂在液槽中被加热，只有小部 分的分离剂在设备的涂覆过程中被蒸发，未蒸发的部分将会继续使用，直 至难挥发成分和分解产物无法继续使用并且必须清理蒸发器。在此不利的 是，在分离剂的使用期限内，分离剂性能因难挥发成分以及分解产物的淤 积而緩慢且不可控制地改变。另外，出现了必须排除的分离剂残液，这导 致浪费并且可能危害环境。
技术实现思路
因此，本专利技术的任务是提供将分离剂层涂覆到在真空室内移动的或可 移动的基底上的装置和方法，借此来改进现有技术。为此，本专利技术提供一种将分离剂层涂覆到在真空室内移动或可移动的 基底上的方法，其中该分离剂在配备有至少 一个对准该基底的喷嘴的蒸发 器室的内室中被蒸发，其特征在于，用于蒸发的液态分离剂被喷入该蒸发 器室的内室中。本方法规定，用于蒸发的液态分离剂被喷入蒸发器室的内室中。与现 有技术不同，在本专利技术的方法中，分离剂不是借助金属块和/或从液槽等中 被蒸发出来的，而是在将预定量的分离剂喷入蒸发器室的内室期间或者就 在上述喷入后被蒸发的。金属块的热惰性问题原则上得到解决。此外，由 于省掉了分离剂液槽，所以解决了由緩慢蒸馏导致的分离剂性能改变的问 题。此外，由于分离剂不会因抛弃残液而浪费掉，所以节约了成本。根据本专利技术的一个优选实施例，被喷入的分离剂的量对应于在基底的 预定速度下的、在基底上的分离剂预定层厚，从而避免了不必要的分离剂 蒸发，而且尽量减少或至少减少分离剂蒸发进入真空室。这种喷入也允许 无延迟或缩短延迟地开始和/或结束分离剂的涂覆或基底屏蔽层的涂覆，这 是因为只有少量分离剂被送入蒸发器室的内室，这样少的分离剂将相当迅 速地蒸发。无延迟或缩短延迟的开始和/或结束形成屏蔽层防止了输送件例 如辊带走分离剂，由此防止了薄膜质量的随后降低。按照本专利技术的、将用 于蒸发的分离剂喷入内室的做法还能更好地或者说甚至无延迟地在移动 的或可移动的基底的速度发生变化时调整分离剂的涂覆量，借此获得稳定 的产品质量。根据本专利技术的另一个实施例，分离剂通过输送管路从储槽中被送出。 特别优选的是，该储槽处于大气压，这是因为借此通过非常简单的方式就 能实现储槽的填充，无需特殊的填充装置。送至蒸发器室的输送有利地在高于大气压的压力下进行，这是为了借 助压差来加速蒸发分离剂从蒸发器室内室中通过喷嘴或多个喷嘴被输送 至基底的过程。分离剂量的可控输送最好借助泵来完成，尤其优选通过容积型泵。根据本专利技术的又一个实施例，进行分离剂的闪蒸，在这里，分离剂就 在被喷入蒸发器室的内室后完全蒸发。尤其在蒸发过程中，在蒸发器室中 没有液态分离剂或者只有很少的液态分离剂。为了保证快速彻底地蒸发喷入的分离剂，蒸发器室室壁的至少 一部分 被保持在明显高于真空下的分离剂沸点的温度。优选稳定的上述室壁温 度，这是为了能简单地控制分离剂的蒸发。还有利的是，接触液态分离剂或气态分离剂的其它部分被加热到高于分离剂沸点的温度，如100。C。优选也将喷嘴加热到这样的温度。如此筒化在喷入时的送入内室的分离剂的快速彻底蒸发，即分离剂被 喷向蒸发室内室中的被加热的蒸发器表面。特别优选以下措施，蒸发器表 面将与室壁无关地被加热，这是因为蒸发器表面的热惰性小于室壁的热惰 性，进而能获得更快速的温度变化。蒸发的油量将通过喷入的油量来调整。 有利的是，蒸发器板被独立加热，这是因为整个炉子被加热到升高温度如200 C会导致变形和安全问题。就像在本专利技术的另一个实施例中那样，如果喷入借助超压阀进行，则 在输送管路中可以相对大气压保持一个(例如)低的超压，它防止了在输 送管路中的分离剂气体析出。超压阀最好是可加热的或者将被加热。此夕卜， 超压阀必须具有最低l巴的背压，为了使油在室一旦被抽真空时不会经过 泵被压入室中。在本专利技术的另 一个实施例中，喷嘴的内室侧开口借助迷宫式挡板相对 分离剂被喷入的区域被遮挡，这是为了将均匀的蒸气送入喷嘴并使飞賊物 不会賊到薄膜上。在根据本专利技术的、将分离剂层涂覆到在真空室内移动的或可移动的基 底上的装置中，真空室具有至少一个金属蒸发器，上述装置具有蒸发器室， 蒸发器室配备有至少 一个对准基底的喷嘴，分离剂能通过输送管路被送入蒸发器室的内室，其特征是，输送管路与喷入装置相连，用于蒸发的液态 分离剂借助喷入装置可被喷入或者被喷入蒸发器室内室。附图说明与如权利要求书所给出的组合方式无关地，本专利技术的其它特征、实施例和优点将从以下结合附图的实施例说明中得到，其中图1以非常示意的方式表示根据本专利技术的、将分离剂层涂覆到在真空 室内移动或可移动的基底上的装置。具体实施例方式图1所示的蒸发器室11具有内室12,该内室包括相应的但在图中未 用附图标记表示的室壁并且配备有喷嘴60，该喷嘴对准一条移动的带状基 底80。喷嘴60具有内室侧开口，通过该内室内侧开口，蒸发的或者说蒸 气状分离剂将被喷向基底80区域。基底80将通过设置在一台未准确示出 的、配备有金属蒸发器的涂覆设备的真空室内的辊70来运送，在这里， 辊70的转动方向用箭头表示。最好进行铝的涂覆，但这不是唯一的。在蒸发器室11的内室12中设有蒸发器板15，该蒸发器板可以通过一 个例如4昔助电压源90净皮加热的加热器100 ^皮加热。另外，内室12的室壁 可以被加热。就位置而言，喷嘴60最好布置在蒸发器板15的上方。蒸发器室11通过输送管路20与分离剂储槽IO相连，分离剂可以涉 及酯、乙二醇、氟化碳氢化合物和碳氢化合物。优选全氟聚醚油。储槽10 中的分离剂可以处于大气压。为了将分离剂送入蒸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种将分离剂层涂覆到在真空室内移动或可移动的基底上的方法，其中该分离剂在配备有至少一个对准该基底的喷嘴的蒸发器室的内室中被蒸发，其特征在于，用于蒸发的液态分离剂被喷入该蒸发器室的内室中。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：S库珀，
申请(专利权)人：莱博德光学有限责任公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]