一种用于检测IGZO-TFT驱动特性的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出一种用于检测IGZO-TFT驱动特性的装置。该用于检测IGZO-TFT驱动特性的装置包括IGZO-TFT驱动单元以及阵列制备所用到的掩模板，数个微胶囊电泳显示单元；该掩模板包含三个功能区，分别为：对准标记区、单个器件区、阵列区域。通过该检测装置，不但能够对阵列TFT晶体管进行驱动性能的检测，而且对单一TFT晶体管也能够实现逐个检测；同时，也可以根据需要对阵列数量进行设定，并且TFT阵列在单像素静态驱动时，能够实现驱动显示功能。另外，采用对准标记区能够加快检测工作的效率和准确性。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：王彬，
申请(专利权)人：广东中显科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：