带有防打火装置的机台制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种带有防打火装置的机台，包括：加热块下方的导线位置；还包括：一防打火装置；所述的防打火装置安置在加热块下方的导线位置；所述的防打火装置包括：一底板；在所述的底板安置一由二块拼装的瓶装体；本实用新型专利技术的有益效果是：在加热块下方的导线位置加装合适大小的防打火装置，大大降低了机台由于加热导线的短路而导致的机台停机，提高了机台的产能利用率。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ー种用于娃片生产机台Novellus Cl,尤其涉及该机台的结构。
技术介绍
1C，即集成电路是采用半导体制作エ艺，在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶体管及电阻器、电容器等元器件，并按照多层布线或遂道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路。由于Novellus Cl机台会用来生长带弗的薄膜,腔体在反应过程中可能会使加热块导线短路的风险。针对以上特点，有必要设计ー种带有防打火装置的机台。
技术实现思路
本技术需要解决的技术问题是提供了一种带有防打火装置的机台，g在解决上述的问题。为了解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的本技术包括加热块下方的导线位置；还包括一防打火装置；所述的防打火装置安置在加热块下方的导线位置；所述的防打火装置包括一底板；在所述的底板安置一由ニ块拼装的瓶装体。与现有技术相比，本技术的有益效果是在加热块下方的导线位置加装合适大小的防打火装置，大大降低了机台由于加热导线的短路而导致的机台停机，提高了机台的产能利用率。附图说明图I是本技术结构示意图。图2是图I的底板结构示意图。具体实施方式以下结合附图与具体实施方式对本技术作进ー步详细描述由图I、图2可见本技术包括加热块下方的导线位置(图中未示)；还包括一防打火装置；所述的防打火装置安置在加热块下方的导线位置；所述的防打火装置包括一底板I ;在所述的底板I安置一由ニ块拼装的瓶装体2。所述的底板I是整块或者是两块可拼装的底板。(如图2所示)。本技术根据腔体加热块下方导线位置及空间大小设计合适大小的三块或者四块拼装防打火装置，以减少机台由于加热导线的断路，大大提高机台利用率和产能利用率。

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有防打火装置的机台，包括加热块下方的导线位置；其特征在于还包括一防打火装置；所述的防打火装置安置在加热块下方的导线位置；所述的防打火装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：周峰，张春，
申请(专利权)人：上海矽维电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：